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本实用新型公开一种用于半导体制程工艺的烤箱装置；包括带有烘烤功能的烤箱本体，该所述的烤箱本体的两侧内壁均设置有上下间隔均匀的若干组横向挂杆；两侧的横向挂杆均对称设置，而每一组横向挂杆则均包括有若干个纵向间隔均匀的单个横向挂杆组成；而两侧相对...
该专利属于上海旻艾半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海旻艾半导体有限公司授权不得商用。

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