【技术实现步骤摘要】
蓝宝石晶圆游离磨料研磨设备
本技术涉及蓝宝石加工设备
，特别涉及一种蓝宝石晶圆研磨盘及研磨装置。
技术介绍
蓝宝石单晶，具有硬度高、透光性好、耐磨性高、化学稳定性好、热传导性、电磁绝缘性、力学特性优良等特点，被广泛地当做窗口和蓝宝石晶圆材料应用于国防工业尖端科技研究及民用领域。蓝宝石脆性大，是典型的难加工材料，目前，蓝宝石晶圆的制备主要包括切片、平整和抛光等工序。在平整加工中主要是通过游离磨料研磨去除线切过程中所产生的切痕，并获得较为平整的表面，为后续抛光提供一个良好基础。但在对蓝宝石晶圆进行平坦化加工过程中，造成晶圆边缘区域过度研磨，形成晶圆塌边，降低晶圆研磨的平整度。
技术实现思路
本技术的技术人经过研究发现：在蓝宝石晶圆双面游离磨料研磨过程中，由于上盘和下盘之间不平行，导致蓝宝石晶圆在研磨后出现塌边的现象。有鉴于此，本技术旨在提出一种蓝宝石晶圆游离磨料研磨设备，该蓝宝石晶圆游离磨料研磨设备通过在上盘和下盘之间设置多个锥齿轮，利用多个锥齿轮保持上盘和下盘平行设置，以解决上盘和下盘之间不平行导致蓝宝石晶圆在研磨后出现塌边的问题。为达到上述目的，本技术的技术方案是这样实现的：一种蓝宝石晶圆游离磨料研磨设备，包括：上盘、下盘、内齿轮、外齿圈、游星轮、至少三个锥齿轮、锥齿轮电机和锥齿轮进给组件，所述上盘、所述下盘、所述内齿轮和所述外齿圈同轴线设置，内齿圈设置在所述上盘和所述下盘之间，所述外齿圈固定在所述下盘的上表面，所述游星轮同时与所述内齿轮和...
【技术保护点】
1.一种蓝宝石晶圆游离磨料研磨设备，其特征在于，包括：上盘(1)、下盘(2)、内齿轮(3)、外齿圈(4)、游星轮(5)、至少三个锥齿轮(6)、锥齿轮电机(10)和锥齿轮进给组件，/n所述上盘(1)、所述下盘(2)、所述内齿轮(3)和所述外齿圈(4)同轴线设置，/n内齿圈设置在所述上盘(1)和所述下盘(2)之间，所述外齿圈(4)固定在所述下盘(2)的上表面，所述游星轮(5)同时与所述内齿轮(3)和所述外齿圈(4)啮合，/n所述上盘(1)的下表面和所述下盘(2)的上表面的外周设有锥齿圈(13)，多个所述锥齿轮(6)间隔设置，并同时与所述锥齿圈(13)啮合，所述锥齿轮电机(10)与任意一个所述锥齿轮(6)连接，/n所述锥齿轮进给组件包括齿轮座(7)和进给机构(8)，所述锥齿轮(6)与所述齿轮座(7)转动连接，所述齿轮座(7)与所述进给机构(8)配合，以使得所述进给机构(8)带动所述锥齿轮(6)沿所述上盘(1)的径向运动。/n
【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石晶圆游离磨料研磨设备，其特征在于，包括：上盘(1)、下盘(2)、内齿轮(3)、外齿圈(4)、游星轮(5)、至少三个锥齿轮(6)、锥齿轮电机(10)和锥齿轮进给组件，
所述上盘(1)、所述下盘(2)、所述内齿轮(3)和所述外齿圈(4)同轴线设置，
内齿圈设置在所述上盘(1)和所述下盘(2)之间，所述外齿圈(4)固定在所述下盘(2)的上表面，所述游星轮(5)同时与所述内齿轮(3)和所述外齿圈(4)啮合，
所述上盘(1)的下表面和所述下盘(2)的上表面的外周设有锥齿圈(13)，多个所述锥齿轮(6)间隔设置，并同时与所述锥齿圈(13)啮合，所述锥齿轮电机(10)与任意一个所述锥齿轮(6)连接，
所述锥齿轮进给组件包括齿轮座(7)和进给机构(8)，所述锥齿轮(6)与所述齿轮座(7)转动连接，所述齿轮座(7)与所述进给机构(8)配合，以使得所述进给机构(8)带动所述锥齿轮(6)沿所述上盘(1)的径向运动。
2.根据权利要求1所述的蓝宝石晶圆游离磨料研磨设备，其特征在于，所述进给机构(8)包括驱动环(81)、多个驱动块(82)和壳体(83)，
所述壳体(83)为环形，且一端沿径向方向间隔设置有多个滑动槽(831)，另一端设有环形槽(832)，所述环形槽(832)与所述滑动槽(831)连通，
所述驱动环(81)的一端设有螺旋形槽(811)，且可转动地安装在所述环形槽(832)内，
所述驱动块(82)的一端设有凸块(821)，另一端与所述齿轮座(7)固定连接，所述驱动块(82)与所述滑动槽(831)滑动连接，所述凸块(821)与所述螺旋形槽(811)滑动连接，以使得所述驱动环(81)转动时，带动所述驱动块(82)沿所述驱动环(81)的径向运动。
3.根据权利要求2所述的蓝宝石晶圆游离磨料研磨设备，其特征在于，所述进给机构(8)还包括驱动齿轮(84)，所述驱动环(81)的另一端设有驱动齿...
【专利技术属性】
技术研发人员：郁炜，孙韬，尹涛，朱秋琴，雷冬阁，
申请(专利权)人：衢州学院，
类型：新型
国别省市：浙江;33
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