一种双臂夹持洁净机械手制造技术

本实用新型专利技术实施例公开了一种双臂夹持洁净机械手，包括机械手主体，所述机械手主体顶部设置有两个机械臂，两个所述的机械臂上下依次设置，所述机械臂包括用于夹持晶圆的手指组件和与所述手指组件相连并驱动所述手指组件运作的腕部组件，所述腕部组件包括中空的密封外壳，所述密封外壳内设置有夹持传感器、松持传感器和检片传感器，所述手指组件包括固定手指和运动手指，所述固定手指和运动手指上设置有由聚醚醚酮制成的夹持垫，所述机械手主体上设置有防水组件，所述防水组件包括遮水盘和接水盘，所述遮水盘固定在所述机械手主体顶部，所述接水盘设置于所述手指组件的正下方，能够提高工作效率，增强防水性能提高工件搬运过程中的稳定性。

A clean manipulator with two arms

【技术实现步骤摘要】
一种双臂夹持洁净机械手
本技术实施例涉及半导体制造
，具体涉及一种双臂夹持洁净机械手。
技术介绍
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。在半导体行业晶圆的清洗工艺中，常常采用机械手夹持晶圆，由于机械手应用于微水环境，而现有技术中机械手的防水性能差，不适用于多水的环境，其次现市场洁净机械手多以单臂为主，机械手的工作效率低，最后市场机械手搬运多以吸附、托举为主，在工件搬运过程中的稳固性和定位精度方面稍有欠缺。
技术实现思路
为此，本技术实施例提供一种双臂夹持洁净机械手，采用双臂协同作业方式，增加防水结构和夹持结构，以解决现有技术中由于单臂作业而导致的工作效率低、由于无防水结构而导致的防水效果差、以及由于吸附、托举等方式搬运工件而导致工件搬运过程中稳固性和定位精度差的问题。为了实现上述目的，本技术实施例提供如下技术方案：一种双臂夹持洁净机械手，包括机械手主体，所述机械手主体顶部设置有两个机械臂，两个所述的机械臂上下依次设置，所述机械臂包括用于夹持晶圆的手指组件和与所述手指组件相连并驱动所述手指组件运作的腕部组件；所述腕部组件包括中空的密封外壳，所述密封外壳内设置有夹持传感器、松持传感器和检片传感器，所述手指组件包括固定手指和运动手指，所述固定手指和运动手指上设置有由聚醚醚酮制成的夹持垫；所述机械手主体上设置有防水组件，所述防水组件包括遮水盘和接水盘，所述遮水盘固定在所述机械手主体顶部，所述接水盘设置于所述手指组件的正下方。进一步地，所述接水盘上设置有导流槽和泄流孔，所述导流槽与泄流孔连通，所述泄流孔位于遮水盘正上方。进一步地，所述防水组件还包括设置于所述密封外壳边缘的台阶状的防水槽和设置于所述密封外壳底部的若干排水孔，所述防水槽内设置有防水硅胶垫。进一步地，所述防水组件还包括设置于所述密封外壳下端边缘、设置于所述遮水盘下端边缘以及设置于所述接水盘下端边缘的防水裙边。进一步地，所述防水裙边向外倾斜。本技术实施例具有如下优点：本技术中的机械手采用双臂协同作业，提高了机械手的工作效率，采用防水结构，增强机械手的防水性能，使之适用于多水环境，同时采用夹持结构，提高工件搬运过程中的稳定性，同时能够保证定位精度。附图说明为了更清楚地说明本技术的实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是示例性的，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图引伸获得其它的实施附图。本说明书所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
得能涵盖的范围内。图1为本技术实施例的整体结构示意图；图2为本技术实施例机械臂的结构示意图；图3为本技术实施例腕部组件的结构示意图。图中：1-机械手主体；2-机械臂；3-手指组件；4-腕部组件；5-遮水盘；6-接水盘；7-防水裙边；301-固定手指；302-运动手指；303-夹持垫；401-密封外壳；402-夹持传感器；403-松持传感器；404-检片传感器；405-防水槽；406-排水孔；407-防水硅胶垫；601-导流槽；602-泄流孔。具体实施方式以下由特定的具体实施例说明本技术的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点及功效，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。如图1和图2所示，本技术提供了一种双臂夹持洁净机械手，包括机械手主体1，机械手主体1顶部设置有两个机械臂2，两个机械臂2上下依次设置，机械臂2包括用于夹持晶圆的手指组件3和与手指组件3相连并驱动手指组件3运作的腕部组件4，本实施方式中，机械手主体1带动腕部组件4和手指组件3伸入晶盒内，夹持晶圆，由于采用双臂协同作业，本实施方式中机械手的工作效率高。如图3所示，在实施方式中，腕部组件4包括中空的密封外壳401，密封外壳401内设置有夹持传感器402、松持传感器403和检片传感器404，手指组件3包括固定手指301和运动手指302，固定手指301和运动手指302上设置有由聚醚醚酮制成的夹持垫303，在本实施方式中，对晶圆的夹持共有三种状态，分别为夹持状态、松持状态和检片状态，上述三种状态分别对应着夹持传感器402、松持传感器403和检片传感器404，当处于上述的其中一种状态时，对应的传感器触发，机械手控制器会反馈相对应的信号给上位系统，上位系统根据机械手的反馈信号，采取相应的动作，驱动运动手指302向固定手指302移动，实现对晶圆的夹持、松持和检片，通过设置该种夹持结构，增强了工件的稳固性，提升定位精度。如图1和图2所示，在实施方式中，机械手主体1上设置有防水组件，防水组件包括遮水盘5和接水盘6，遮水盘5固定在机械手主体1顶部，接水盘6设置于手指组件3的正下方，接水盘6上设置有导流槽601和泄流孔602，导流槽601与泄流孔602连通，泄流孔602位于遮水盘5正上方，采用接水盘6能够对晶圆上的水进行收集导流，采用遮水盘5可以对机械手主体1进行遮挡，防止接水盘6导出的水直接流淌到机械手主体1上。如图1和图2所示，在实施方式中，防水组件还包括设置于密封外壳401边缘的台阶状的防水槽405和设置于密封外壳401底部的若干排水孔406，防水槽405内设置有防水硅胶垫407，可以保证密封外壳401的密封性，保护内部零部件，内部采用排水结构，而通过设置排水孔406，可以在密封外壳401防水无效的情况下，及时排水，同时，密封外壳401下端边缘、遮水盘5下端边缘以及接水盘6下端边缘的均设置有防水裙边7，水流流至密封外壳401、遮水盘5以及接水盘6的边缘是，会沿着防水裙边7流动，防水裙边7向外倾斜，可以防止水沿着防水裙边7的内面流动，从而避免密封外壳401、遮水盘5以及接水盘6的底面与水接触，从而实现防水保护。虽然，上文中已经用一般性说明及具体实施例对本技术作了详尽的描述，但在本技术基础上，可以对之作一些修改或改进，这对本领域技术人员而言是显而易见的。因此，在不偏离本技术精神的基础上所做的这些修改或改进，均属于本技术要求保护的范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种双臂夹持洁净机械手，其特征在于：包括机械手主体(1)，所述机械手主体(1)顶部设置有两个机械臂(2)，两个所述的机械臂(2)上下依次设置，所述机械臂(2)包括用于夹持晶圆的手指组件(3)和与所述手指组件(3)相连并驱动所述手指组件(3)运作的腕部组件(4)；/n所述腕部组件(4)包括中空的密封外壳(401)，所述密封外壳(401)内设置有夹持传感器(402)、松持传感器(403)和检片传感器(404)，所述手指组件(3)包括固定手指(301)和运动手指(302)，所述固定手指(301)和运动手指(302)上设置有由聚醚醚酮制成的夹持垫(303)；/n所述机械手主体(1)上设置有防水组件，所述防水组件包括遮水盘(5)和接水盘(6)，所述遮水盘(5)固定在所述机械手主体(1)顶部，所述接水盘(6)设置于所述手指组件(3)的正下方。/n

【技术特征摘要】
1.一种双臂夹持洁净机械手，其特征在于：包括机械手主体(1)，所述机械手主体(1)顶部设置有两个机械臂(2)，两个所述的机械臂(2)上下依次设置，所述机械臂(2)包括用于夹持晶圆的手指组件(3)和与所述手指组件(3)相连并驱动所述手指组件(3)运作的腕部组件(4)；
所述腕部组件(4)包括中空的密封外壳(401)，所述密封外壳(401)内设置有夹持传感器(402)、松持传感器(403)和检片传感器(404)，所述手指组件(3)包括固定手指(301)和运动手指(302)，所述固定手指(301)和运动手指(302)上设置有由聚醚醚酮制成的夹持垫(303)；
所述机械手主体(1)上设置有防水组件，所述防水组件包括遮水盘(5)和接水盘(6)，所述遮水盘(5)固定在所述机械手主体(1)顶部，所述接水盘(6)设置于所述手指组件(3)的正下方。


2.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：尹诚诚，徐贺，周卫国，刘冬梅，王强，
申请(专利权)人：北京锐洁机器人科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11