本技术提供了一种用于SMIF Port的到位传感器安装结构，涉及集成电路制造设备技术领域，解决了现有技术中存在的SMIF Port没有设置到位传感器，存在晶圆损坏的风险的技术问题。该用于SMIF Port的到位传感器安装结构包括SMIF...

本发明提供了一种晶圆传输机械手及晶圆传输方法，其中晶圆传输机械手包括机械手本体、ARM横梁、上手臂和下手臂，机械手本体包括本体底座、Z轴中段和Z轴上段，Z轴上段与Z轴中段之间可伸缩连接，Z轴中段与本体底座之间可伸缩连接；Z轴上段与ARM...

本发明涉及料盒领域，提供一种自动导正的方片料盒。自动导正的方片料盒包括料盒组件，料盒组件包括料盒本体，料盒本体中设置有沿着料盒本体的高度方向排布且沿着料盒本体的宽度方向延伸的支撑块，支撑块用于支撑方片，在料盒本体的底部设置有至少三个腰型...

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种半导体玻璃方片归正装置，包括支撑组件和定位组件，支撑组件适于承托玻璃方片，定位组件包括驱动器、连接板和定位块，定位块设置于支撑组件的上方，驱动器设置于支撑组件的下方，两个定位块适于沿玻璃方片的对角线...

本发明涉及同步带领域，提供一种双同步带张紧调节装置及双同步带传动系统。双同步带张紧调节装置包括底座；基板，连接于所述底座，所述基板上可活动地设置有压板组件，所述压板组件之间形成有可供双同步带穿过的过孔；水平调节件，可活动地连接于所述底座...

本发明公开了一种防水型晶圆搬运机械手，包括机械手，所述机械手包括机械臂、防水增高筒、翻转机构和晶圆夹持手，所述机械臂、防水增高筒、翻转机构和晶圆夹持手配合运动并供晶圆夹持搬运；防水部，所述防水部包括死防水分部和活防水分部；以及预警部，所...

本发明提供了一种晶圆边缘吸附装置及其吸附控制方法，包括：支撑盘、连接件以及支撑座；所述支撑盘的一侧通过所述连接件与所述支撑座连接，另一侧表面的边缘设有多个吸嘴；所述支撑盘内部设有气道；所述支撑座上设有电磁阀；所述气道通过气管连通所述吸嘴...

本技术公开了一种外置微水环境真空吸附控制盒，涉及半导体技术领域。该外置微水环境真空吸附控制盒包括安装板，安装板上设置有控制盒本体和真空水滴过滤器，控制盒本体内部设置有换向电磁阀、真空发生器、压力表，控制盒本体的一侧开设有正压接入口。本技...

本发明提供了一种夹持型末端执行器，包括夹持固定部以及夹持移动部，所述夹持固定部的一端设有两个固定夹持头，所述夹持移动部的一端设有两个移动夹持头，还包括动力源以及移动组件；所述夹持固定部的中部设有固定部中间件；所述固定部中间件的一侧设有中...

本发明涉及一种多层晶圆解键合装置，包括底座和定位牵引臂；所述底座顶面设有放置盘；所述放置盘中央可转动设置定位转盘；所述放置盘顶面沿所述定位转盘圆心方向设有多个定位滑轨；所述定位滑轨可滑动设置定位座，用于放置待解键合晶圆；所述定位牵引臂一...

本发明公开了一种多尺寸晶圆装载平台，具体涉及晶圆多尺寸装载设备技术领域。该平台包括装载晶圆且可拆装的晶圆载台与晶圆盒、以及运输晶圆的机械手，晶圆盒设置有四种型号、并分别通过晶圆载台上所设置的四种定位块与晶圆载台配合连接，所述晶圆载台的一...

本发明提供了一种装载晶圆的石墨圆盘定位装置，包括：装置本体

本发明提供了一种装载晶圆的石墨圆盘定位机构，包括石墨圆盘托盘

本发明涉及半导体制造设备领域，尤其涉及一种转运晶圆的机械手指及手指连接件；该机械手指包括手指本体，还包括至少一个用于检测晶圆是否存在叠片漏片的扫片元件，所述扫片元件可拆卸连接于手指本体的手指前端，所述手指本体上还开设有用于方便拆装扫片元...

本申请公开了一种重复定位精度检测工装，以解决现有技术工作区域有限、无法实现多个方位的移动的问题。本申请采用连接板与竖直设置的支杆滑动连接，能够基于支杆沿竖直方向(Z方向)移动并锁定；水平(XY平面)设置的延长板与连接板固定连接，延长板设...

本申请公开了一种用于错位零件连接的螺纹接头，以解决现有技术难以简便地将两个偏心设置的零件刚性固定连接的问题。本申请中，公头的上部用于与甲零件螺纹连接，母头的下部用于与乙零件螺纹连接；公头的下部相对于公头的上部偏心设置，公头的下部柱面开设...

本实用新型提供了一种多尺寸兼容晶圆扫描装置及晶圆装载设备，涉及集成电路制造设备技术领域，解决了现有技术中存在的不能自动调整传感器间距，难以高效兼容不同尺寸晶圆的技术问题。该多尺寸兼容晶圆扫描装置及晶圆装载设备包括双动子直线电机和检测件，...

本实用新型提供了一种多尺寸兼容晶圆扫描装置及晶圆装载设备，涉及集成电路制造设备技术领域，解决了现有技术中存在的不能自动调整传感器间距，难以高效兼容不同尺寸晶圆的技术问题。该多尺寸兼容晶圆扫描装置包括双动子直线电机、电动执行器、第二滑动组...

本实用新型涉及一种自动检测晶圆复位的载台，其包括安装板、晶圆盒、复位驱动装置以及一对复位推动件；所述复位驱动装置用于驱动一对复位推动件做镜像往复运动；所述复位驱动装置包括主动驱动机构和从动驱动机构；一对复位推动件包括第一复位推动件和第二...

本实用新型涉及晶圆立替机，其包括底板以及设置在所述底板上的第一转运工位、第二转运工位和第三转运工位；所述第一转运工位至少设置有第一托举气缸，所述第一托举气缸的输出轴上设置第一托举板，晶圆能够夹持放置在所述第一托举板的晶圆槽中；所述第三转...