【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆搬运防水设备，具体是一种防水型晶圆搬运机械手。
技术介绍
1、晶圆搬运机械手是一种用于半导体制造过程中的自动化设备，用于搬运和处理脆弱而重要的晶圆。晶圆是半导体芯片制造的基础材料，需要在各个制造步骤中进行搬运和处理，因此需要特殊设计和精确操作的机械手来完成这些任务。
2、公开号为cn218385170u的专利公开了一种用于搬运晶圆的机械手臂，该专利通过旋转晶圆实现便捷高效地将晶圆表面液体去除的目的，避免药液对工艺的影响和对设备的损坏。而且，还可以通过旋转机构和夹持机构的配合，实现方便可靠地夹取及放开晶圆，由此提高了晶圆生产的效率。
3、但是，该专利的夹持机构处没有进行防水控制，使得该专利在长期潮湿的使用环境下水汽容易进入设备内部并造成设备损坏，存在改善的余地；因此，公开号为cn212840048u的专利公开了一种防水防尘波纹管补偿器，该专利对波纹管结构进行改进，与现有的波纹管补偿器相比较，本技术通过设计能够提高波纹管补偿器的整体密封性、经济性以及实用性。
4、通过将引用文件2与引用文...
【技术保护点】
1.一种防水型晶圆搬运机械手，其特征在于,包括机械手，所述机械手包括机械臂（1）、防水增高筒（2）、翻转机构（3）和晶圆夹持手（4），所述机械臂（1）、防水增高筒（2）、翻转机构（3）和晶圆夹持手（4）配合运动并供晶圆夹持搬运；
2.根据权利要求1所述的一种防水型晶圆搬运机械手，其特征在于，在死防水分部中，包括机械臂盖板（5）以及设置在翻转机构（3）内部的重力防水结构（6），所述重力防水结构（6）包括一组圆环以及一对卡接头，所述卡接头将两组部件对接紧固，所述圆环嵌设在卡接头内部并胀紧。
3.根据权利要求1所述的一种防水型晶圆搬运机械手，其特征在...
【技术特征摘要】
1.一种防水型晶圆搬运机械手，其特征在于,包括机械手，所述机械手包括机械臂（1）、防水增高筒（2）、翻转机构（3）和晶圆夹持手（4），所述机械臂（1）、防水增高筒（2）、翻转机构（3）和晶圆夹持手（4）配合运动并供晶圆夹持搬运；
2.根据权利要求1所述的一种防水型晶圆搬运机械手，其特征在于，在死防水分部中，包括机械臂盖板（5）以及设置在翻转机构（3）内部的重力防水结构（6），所述重力防水结构（6）包括一组圆环以及一对卡接头，所述卡接头将两组部件对接紧固，所述圆环嵌设在卡接头内部并胀紧。
3.根据权利要求1所述的一种防水型晶圆搬运机械手，其特征在于，在死防水分部中，还包括设置在翻转机构（3）两侧的盖板密封圈（31）以及翻转机构（3）底部的底板密封圈（32），所述盖板密封圈（31）和底板密封圈（32）均与翻转机构（3）螺接，且盖板密封圈（31）、底板密封圈（32）分别与翻转机构（3）接触但不螺接的部分由硅胶制成。
4.根据权利要求3所述的一种防水型晶圆搬运机械手，其特征在于，在死防水分部中，所述盖板密封圈（31）的一侧固定连接有外卡筒（34），所述翻转机构（3）的内部开设有内沉孔（33），所述外卡筒（34）与内沉孔（33）相适配。
5.根据权利要求1所述的一种防水型晶圆搬运机械手，其特征在于，在死防水分部中，所述机械臂盖板（5）的内部开设有预警槽（51），所述预警槽（51）的内部均匀排布有若干个湿度传感器（52）。...
【专利技术属性】
技术研发人员：李庆达，刘冬梅，王强，王勇，
申请(专利权)人：北京锐洁机器人科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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