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本实用新型实施例公开了一种双臂夹持洁净机械手，包括机械手主体，所述机械手主体顶部设置有两个机械臂，两个所述的机械臂上下依次设置，所述机械臂包括用于夹持晶圆的手指组件和与所述手指组件相连并驱动所述手指组件运作的腕部组件，所述腕部组件包括中空的...
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