表面具凸纹结构薄膜的曲面基板及其制造方法技术

本发明专利技术涉及曲面基板制造技术领域，具体公开了一种表面具凸纹结构薄膜的曲面基板的制作方法，包含：形成一光阻层于一曲面基板上；以激光直写影像方式于该光阻层进行曝光、固化，以形成至少一图案；及对该光阻层进行显影，以去除未被曝光的该光阻层的部分而使该曲面基板形成具有该至少一图案的该光阻层。本发明专利技术还提供一种使表面具凸纹结构薄膜的曲面基板，其是根据本发明专利技术的表面具凸纹结构薄膜的曲面基板的制作方法所制作。本发明专利技术提供的表面具凸纹结构薄膜的曲面基板及其制作方法，运用激光直写影像技术(Laser Direct Imaging,LDI)与光阻制程，来解决过去运用光阻制程需要光罩的问题，实现无须光罩、制程简单、解析度高、低成本的特殊技术功效。

Curved surface substrate of convex structure film on surface and its manufacturing method

【技术实现步骤摘要】
表面具凸纹结构薄膜的曲面基板及其制造方法
本专利技术涉及曲面基板制造
，特别涉及表面具凸纹结构薄膜的曲面基板及其制造方法。
技术介绍
目前，智慧型装置如智慧型手机、智慧型手表、智慧型医疗器材等，都搭配有大屏幕让使用者观看屏幕上的资讯。这些具有大屏幕的装置，除了功能强大外，逐渐都走向个性化、美观的造型设计，包括外观、形状、色彩等。这些都必须透过令人激赏的外壳设计与制造来实现。而目前，曲面化的外壳造型，特别吸引人，也逐渐成为智慧型装置的未来潮流。目前，对于智慧型装置的曲面化外壳的图案制作，有以下几种工法：第一种工法：转印技术。透过预先制作的平面图样，再转印到目标的曲面。此种工法的加工成本低，但加工速度慢、材料成本高，且线路解析度差。第二种工法：喷墨+激光雕刻。通过喷墨方法将颜料喷至目标的曲面，再通过激光雕刻的方式将图案刻出。此种工法加工成本高且加工速度慢，设备成本也很高，材料成本也高，优点是，线路解析度高，可达20um(微米)。第三种工法：如中国专利CN205318085U运用了曲面型光罩来进行曝光、显影制程，以实现曲面化外壳的图案制本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种表面具凸纹结构薄膜的曲面基板的制作方法，其特征在于，包含：/n形成一光阻层于一曲面基板上；/n以激光直写影像方式于该光阻层进行曝光、固化，以形成至少一图案；及/n对该光阻层进行显影，以去除未被曝光的该光阻层的部分而使该曲面基板形成具有该至少一图案的该光阻层。/n

【技术特征摘要】
1.一种表面具凸纹结构薄膜的曲面基板的制作方法，其特征在于，包含：
形成一光阻层于一曲面基板上；
以激光直写影像方式于该光阻层进行曝光、固化，以形成至少一图案；及
对该光阻层进行显影，以去除未被曝光的该光阻层的部分而使该曲面基板形成具有该至少一图案的该光阻层。


2.如权利要求1所述的表面具凸纹结构薄膜的曲面基板的制作方法，其特征在于，还包括：
于具有该至少一图案的该光阻层上形成一保护膜。


3.如权利要求2所述的表面具凸纹结构薄膜的曲面基板的制作方法，其特征在于，该保护膜为：一碳化硅薄膜层、一氮化硼薄膜层、一氧化硅薄膜层、一氧化铝薄膜层或一氧化锆薄膜层。


4.如权利要求1所述的表面具凸纹结构薄膜的曲面基板的制作方法，其特征在于，该曲面基板选自下列基板之一：一玻璃曲面基板、一蓝宝石曲面基板、一陶瓷曲面基板、一塑胶曲面基板与一高分子复合材料曲面基板。


5.如权利要求1所述的表面具凸纹结构薄膜的曲面基板的制作方法，其特征在于，该曲面基板选自下列基板之一：一透明玻璃曲面基板、一透明蓝宝石曲面基板、一透明陶瓷曲面基板、一透明塑胶曲面基板与一透明高分子复合材料曲面基板。


6.如权利要求1所述的表面具凸纹结构薄膜的曲面基板的制作方法，其特征在于，该图案的解析度介于0.1-100微米之间。


7.如权利要求1所述的表面具凸纹结构薄膜的曲面基板的制作方法，其特征在于，该图案的解析度介于0.5-100微米之间。


8.如权利要求1所述的表面具凸纹结构薄膜的曲面基板的制作方法，其特征在于，该图案的解析度介于1-100微米之间。


9.如权利要求1所述的表面具凸纹结构薄膜的曲面基板的制作方法，其特征在于，该至少一图案的厚度介于0.1-100微米之间。


10.如权利要求1所述的表面具凸纹结构薄膜的曲面基板的制作方法，其特征在于，该激光直写影像方式的激光源选自：激光二极体、固态激光、气体激光、准分子激光、飞秒激...

【专利技术属性】
技术研发人员：翁沛喜，许铭案，
申请(专利权)人：许铭案，翁沛喜，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71