卡盘工作台制造技术

提供卡盘工作台。在销卡盘工作台中，在不容易发生热变形的材质上形成不会在车削加工中剥离的镀层。在对板状工件(W)的下表面(Wb)进行吸引保持而利用刀具工具(64)对上表面(Wa)进行车削加工的加工装置(1)中使用的卡盘工作台(30)具有：外周环状壁(300)，其利用环状的上表面(300a)对板状工件下表面的外周部分进行支承；吸引凹部(301)，其形成于外周环状壁(300)的内侧，具有比外周环状壁的上表面低的底面(301b)；吸引口(301c)，其形成于吸引凹部(301)的底面，与吸引源(36)连通；以及支承销(304)，其在底面(301b)上避开吸引口而等间隔地竖立设置有多个，支承销的上表面(304a)与外周环状壁(300)的上表面(300a)为同一高度，在外周环状壁的侧面(300c、300d)和上表面(300a)上以及支承销(304)的侧面(304c)和上表面(304a)上形成有镀层(M)。

Chuck table

Provide chuck table. In the pin chuck table, the coating which will not be peeled off in the turning process is formed on the material which is not prone to thermal deformation. The chuck table (30) used in the processing device (1) for attracting and maintaining the lower surface (WB) of the plate-shaped workpiece (W) and turning the upper surface (WA) with the tool tool (64) has an outer annular wall (300), which supports the outer peripheral part of the lower surface of the plate-shaped workpiece with the annular upper surface (300A); an attractive concave part (301), which is formed on the inner side of the outer annular wall (300), has There is a bottom surface (301B) lower than the upper surface of the outer ring wall, an suction opening (301c) formed on the bottom surface of the suction cavity (301) and communicated with the suction source (36), and a support pin (304), which is arranged on the bottom surface (301B) to avoid the suction opening and is equispaced vertically, and the upper surface (304a) of the support pin is the same height as the upper surface (300A) of the outer ring wall, and on the side surface of the outer ring wall Coating (m) is formed on (300C, 300D) and upper surface (300A) as well as on side (304c) and upper surface (304a) of support pin (304).

【技术实现步骤摘要】
卡盘工作台
本专利技术涉及对板状工件进行保持的卡盘工作台。
技术介绍
在利用刀具工具对板状工件进行车削加工的加工装置中所用的卡盘工作台例如包含：外周环状保持部，其形成在外周侧；吸引凹部，其形成于该外周环状保持部的内侧，与吸引单元连通；以及多个支承销，它们形成于该吸引凹部内(例如，参照专利文献1)。这样构成的卡盘工作台通过多个支承销对板状工件进行支承，由于支承销的支承面积较小，因而不会在该支承销与板状工件之间夹入灰尘等异物，能够平坦地保持板状工件。专利文献1：日本特开2005-333067号公报卡盘工作台由于经年变化而产生机械变形，支承销的上表面的高度细微地变位。因此，通过刀具工具对卡盘工作台的上表面(外周环状保持部的上表面和各支承销的上表面)进行车削而使支承销的高度一致。这里，为了容易利用刀具工具对支承销的上表面进行车削，在支承销的上表面上形成有厚度为200μm左右的镍等的镀层。定期地按照每次数μm对该镀层进行车削而使支承销的高度一致。在这样利用刀具工具对镀层进行车削时，存在如下的问题：对镀层施加力，镀层会被剥离。另外，为了形成厚度为200μm的镀层，适合进行电镀，但能够进行电镀的材质容易发生热变形。因此，当卡盘工作台的各部由能够进行电镀的材质形成时，存在如下的问题：由于在刀具车削时所产生的加工热，支承销等发生热变形，无法使所保持的板状工件成为均匀的厚度。由此，存在如下的课题，在销卡盘工作台中，在不容易发生热变形的材质上形成不会在车削加工中剥离的镀层。专利技术内容本专利技术的目的在于提供对板状工件进行保持的卡盘工作台，在不容易发生热变形的材质上形成不会在车削加工中剥离的镀层。用于解决上述课题的本专利技术是卡盘工作台，其用在对板状工件的下表面进行吸引保持而利用刀具工具对板状工件的上表面进行车削加工的加工装置中，其中，该卡盘工作台具有：外周环状壁，其利用环状的上表面对该板状工件的下表面的外周部分进行支承；吸引凹部，其形成于该外周环状壁的内侧，具有比该外周环状壁的上表面低的底面；吸引口，其形成于该吸引凹部的该底面上，与吸引源连通；以及支承销，其在该底面上避开该吸引口而等间隔地竖立设置有多个，该支承销的上表面与该外周环状壁的上表面为同一高度，在该外周环状壁的侧面和上表面上以及该支承销的侧面和上表面上形成有镀层。优选所述外周环状壁、所述吸引凹部以及所述支承销由精细陶瓷构成，所述镀层利用化学镀镍形成。优选所述支承销以圆锥台或棱锥台的方式从所述底面竖立设置，该圆锥台或棱锥台具有所述上表面。对于本专利技术的卡盘工作台，外周环状壁的上表面和支承销的上表面为同一高度，在外周环状壁的侧面和上表面上以及支承销的侧面和上表面上形成有镀层，因此在利用刀具工具对镀层进行车削加工时，镀层不容易被剥离。另外，卡盘工作台的外周环状壁、吸引凹部以及支承销由精细陶瓷构成，镀层利用化学镀镍形成，从而卡盘工作台不容易因车削加工时的加工热而发生热变形，因此能够将所保持的板状工件车削加工成均匀的厚度。支承销以圆锥台或棱锥台的方式从吸引凹部的底面竖立设置，该圆锥台或棱锥台具有所述上表面，从而支承销的上表面与侧面(斜面)之间的角度为钝角，因此能够更加不容易剥离镀层。附图说明图1是示出配设有本专利技术的卡盘工作台的加工装置的一例的立体图。图2是示出卡盘工作台和Y轴方向移动单元的一例的立体图。图3是示出车削单元的一例的立体图。图4是示出支承销为圆柱形状的卡盘工作台的一例的剖视图。图5是示出支承销为圆锥台形状或棱锥台形状的卡盘工作台的其他例的剖视图。图6是示出化学镀镍装置的一例的说明图。图7是示出对卡盘工作台的镀层进行车削加工而形成平坦的保持面的状态的剖视图。图8是说明对卡盘工作台的平坦的保持面上所保持的板状工件实施车削加工的状态的剖视图。标号说明W：板状工件；Wa：板状工件的上表面；Wb：板状工件的下表面；1：加工装置；10：基座；11：柱；19：输入单元；14：Y轴移动单元；17：厚度测量单元；18：支承桥；330：机器人；331：第一盒；332：第二盒；333a：暂放工作台；333b：对位单元；334：清洗单元；335：第一搬送单元；336：第二搬送单元；30：卡盘工作台；300：外周环状壁；301：吸引凹部；301c：吸引口；302：圆柱状的支承销；304：圆锥台或棱锥台的支承销；34：旋转单元；36：吸引源；5：加工进给单元；6：刀具车削单元；64：刀具工具。具体实施方式图1所示的加工装置1是通过具有刀具工具64的刀具车削单元6对本专利技术的卡盘工作台30上所保持的板状工件W进行车削加工的装置。加工装置1的基座10上的前方(-Y方向侧)作为相对于卡盘工作台30进行板状工件W的装卸的区域，基座10上的后方(+Y方向侧)作为通过刀具车削单元6进行卡盘工作台30上所保持的板状工件W的车削加工的区域。图1所示的板状工件W例如是以硅为母材的外形为圆形的半导体晶片，但并不限于此。并且，板状工件W的上表面Wa作为车削加工的被加工面。板状工件W的下表面Wb被粘贴未图示的保护带而被保护。在加工装置1的基座10的前方侧配设有用于供操作者输入加工条件等的输入单元19。另外，在基座10上的前方侧配置有：第一盒331，其对车削加工前的板状工件W进行收纳；以及第二盒332，其对车削加工完成的板状工件W进行收纳。在第一盒331与第二盒332之间配设有机器人330，该机器人330将车削加工前的板状工件W从第一盒331中搬出，并且将车削加工完成的板状工件W搬入至第二盒332中。在机器人330的可动区域设置有供加工前的板状工件W暂放的暂放工作台333a，在暂放工作台333a上配设有对位单元333b。对位单元333b利用缩径的对位销将从第一盒331中搬出且载置于暂放工作台333a的板状工件W对位(定心)于规定的位置。在机器人330的可动区域中配设有对车削加工完成的板状工件W进行清洗的清洗单元334。清洗单元334例如是单片式的旋转清洗装置。在对位单元333b的附近配设有第一搬送单元335，在清洗单元334的附近配设有第二搬送单元336。第一搬送单元335将载置于暂放工作台333a且进行了定心的车削加工前的板状工件W搬送至卡盘工作台30，第二搬送单元336将卡盘工作台30所保持的车削加工完成的板状工件W搬送至清洗单元334。如图2所示，卡盘工作台30的周围被能够与卡盘工作台30一起移动的罩39围绕，并且卡盘工作台30能够通过配设于卡盘工作台30的下方的旋转单元34而绕Z轴方向的轴心旋转。如图1、图2所示，在卡盘工作台30、罩39以及与罩39连结的波纹罩39a的下方配设有使卡盘工作台30在Y轴方向上移动的Y轴移动单元14。图2所示的Y轴移动单元14具有：滚珠丝杠140，其具有Y轴方向的轴心；一对导轨141，它们配设成与滚珠丝杠140平行；电动机142，其与滚珠丝杠140连结，使本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种卡盘工作台，其用在对板状工件的下表面进行吸引保持而利用刀具工具对板状工件的上表面进行车削加工的加工装置中，其中，/n该卡盘工作台具有：/n外周环状壁，其利用环状的上表面对该板状工件的下表面的外周部分进行支承；/n吸引凹部，其形成于该外周环状壁的内侧，具有比该外周环状壁的上表面低的底面；/n吸引口，其形成于该吸引凹部的该底面上，与吸引源连通；以及/n支承销，其在该底面上避开该吸引口而等间隔地竖立设置有多个，该支承销的上表面与该外周环状壁的上表面为同一高度，/n在该外周环状壁的侧面和上表面上以及该支承销的侧面和上表面上形成有镀层。/n

【技术特征摘要】
20180525 JP 2018-1004211.一种卡盘工作台，其用在对板状工件的下表面进行吸引保持而利用刀具工具对板状工件的上表面进行车削加工的加工装置中，其中，
该卡盘工作台具有：
外周环状壁，其利用环状的上表面对该板状工件的下表面的外周部分进行支承；
吸引凹部，其形成于该外周环状壁的内侧，具有比该外周环状壁的上表面低的底面；
吸引口，其形成于该吸引凹部的该底面上，与吸引源连通；以及
支承销，其在该底面...

【专利技术属性】
技术研发人员：森俊，波冈伸一，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：日本;JP