接触式探针及探针单元制造技术

本发明专利技术的接触式探针是能够沿轴线方向伸缩的导电性接触式探针，其包括：第一接触部件，其与一方接触对象接触；第二接触部件，其与另一方接触对象接触，并且能够收纳第一接触部件的至少一部分；以及弹簧部件，其以各端部将第一接触部件与第二接触部件伸缩自如地连结，其中，弹簧部件卷绕成螺旋状，至少由第二接触部件保持的端部的外周的直径比其它部分的直径大。

Contact probe and probe unit

The contact probe of the invention is a conductive contact probe capable of stretching along the axis direction, which includes: a first contact part which contacts with a contact object of one party; a second contact part which contacts with a contact object of the other party and can receive at least a part of the first contact part; and a spring part which extends the first contact part and the second contact part at each end The spring part is coiled in a spiral shape, and the diameter of the outer circumference of the end maintained by the second contact part is larger than that of the other parts.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】接触式探针及探针单元
本专利技术涉及用于半导体集成电路和液晶面板等检测对象的导通状态检查或动作特性检查的接触式探针及探针单元。
技术介绍
以往，在进行半导体集成电路和液晶面板等检测对象的导通状态检查或动作特性检查时，为了实现检查对象与输出检查用信号的信号处理装置之间的电气连接，使用收纳有多个接触式探针的探针单元。对于探针单元，随着近年来的半导体集成电路和液晶面板的高集成化、微细化的发展，通过使接触式探针间的间距狭小，能够适用到高集成化、微细化的检查对象的技术也有日益进步。作为上述的接触式探针，如下的接触式探针众所周知，其包括：管部件、从管部件进退自如地伸出的柱塞、以及设于管部件内部而对柱塞施压的弹簧部件(例如参见专利文献1)。在专利文献1中，通过对管部件的柱塞伸出侧端部铆紧，来防止柱塞的脱落。专利文献1：日本专利第5083430号公报
技术实现思路
然而，专利文献1所公开的现有的接触式探针，如果为了实现接触式探针的小型化而使管部件的直径细小，则管部件的强度会降低。管部件的强度降低则无法使端部铆紧，因此存在无法获得细径的接触式探针的问题。本专利技术是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供在使用管部件的结构中可实现细径化的接触式探针以及探针单元。为了解决上述问题而达成目的，本专利技术的接触式探针是能够沿轴线方向伸缩的导电性接触式探针，其包括：第一接触部件，其与一方接触对象接触；第二接触部件，其与另一方接触对象接触，并且能够收纳上述第一接触部件的至少一部分；以及弹簧部件，其以各端部将上述第一接触部件与上述第二接触部件伸缩自如地连结，其中，上述弹簧部件卷绕成螺旋状，至少由述第二接触部件保持的端部的外周的直径比其它部分的直径大。此外，本专利技术的接触式探针，在上述专利技术中，上述第一接触部件包括：第一前端部，其与上述一方接触对象接触；第一凸缘部，其设置于上述第一前端部的基端；以及凸台部，其嵌合于上述弹簧部件而与该弹簧部件连结，上述第二接触部件包括：第二前端部，其与上述另一方接触对象接触；筒状部，其呈内周直径固定的筒状而从上述第二前端部延伸，且收纳上述弹簧部件的至少一部分；以及第二凸缘部，其设置在上述筒状部的外周上。此外，本专利技术的接触式探针，在上述专利技术中，自然状态的上述弹簧部件的上述轴线方向的长度比上述筒状部的轴线方向的长度小。此外，本专利技术的接触式探针，在上述专利技术中，自然状态的上述弹簧部件的上述轴线方向的长度比上述筒状部的轴线方向的长度大。此外，本专利技术的接触式探针，在上述专利技术中，还包括：套筒，其供上述第一凸缘部嵌合，上述套筒的外表面与上述筒状部能够滑动地接触。此外，本专利技术的接触式探针，在上述专利技术中，上述弹簧部件包括：稀疏卷绕部，其以预设的间隔卷绕，其内周与上述第一接触部件接触；以及紧密卷绕部，其从上述稀疏卷绕部延伸设置，其外周与上述筒状部接触，其中，上述紧密卷绕部的直径比上述稀疏卷绕部的直径大。此外，本专利技术的接触式探针，在上述专利技术中，上述第一接触部件包括：第一前端部，其与上述一方接触对象接触；第一筒状部，其呈筒状而从上述第一前端部延伸；以及第一凸缘部，其设置在上述第一筒状部的外周上，上述第二接触部件包括：第二前端部，其与上述另一方接触对象接触；第二筒状部，其呈内周直径固定的筒状而从上述第二前端部延伸；以及第二凸缘部，其设置在上述第二筒状部的外周上，其中，上述弹簧部件位于由上述第一筒状部和第二筒状部形成的中空空间。此外，本专利技术的接触式探针，在上述专利技术中，上述弹簧部件包括：第一紧密卷绕部，其外周与上述第一筒状部接触；稀疏卷绕部，其从上述第一紧密卷绕部延伸设置，且以预设的间隔卷绕；以及第二紧密卷绕部，其设置于上述稀疏卷绕部的与上述第一紧密卷绕部侧相反侧的端部，其外周与上述第二筒状部接触，其中，上述第一紧密卷绕部的直径比上述第二紧密卷绕部的直径小，上述稀疏卷绕部的直径比上述第一紧密卷绕部的直径小。此外，本专利技术的接触式探针，在上述专利技术中，上述第一凸缘部的与相连于上述第一接触部的一侧相反侧的端部呈斜面状。此外，本专利技术的探针单元包括接触式探针和探针座，其中，上述接触式探针是能够沿轴线方向伸缩的导电性接触式探针，其包括：第一接触部件，其与一方接触对象接触；第二接触部件，其与另一方接触对象接触，并且能够收纳上述第一接触部件的至少一部分；以及弹簧部件，上述弹簧部件卷绕成螺旋状，至少由述第二接触部件保持的端部的外周的直径比其它部分的直径大，并且在各端部伸缩自如地将上述第一接触部件与上述第二接触部件连结，上述探针座形成有多个保持孔，该多个保持孔分别保持多个上述接触式探针。此外，本专利技术的探针单元，在上述专利技术中，上述第一接触部件包括凸缘部，该凸缘部具有该第一接触部件中最大的直径，在上述接触式探针保持于上述探针座的状态下，上述凸缘部的至少一部分位于上述第二接触部件的内部。此外，本专利技术的探针单元，在上述专利技术中，上述第一接触部件具有凸缘部，该凸缘部具有该第一接触部件中最大的直径，在上述接触式探针保持于上述探针座的状态下，上述凸缘部位于上述第二接触部件的外部。此外，本专利技术的探针单元，在上述专利技术中，上述探针座是由一块板件形成的。此外，本专利技术的探针单元，在上述专利技术中，上述第二接触部件包括：前端部，其与上述另一方接触对象接触；筒状部，其呈内周直径固定的筒状而从上述前端部延伸；以及凸缘部，其设置在上述筒状部的外周上，其中，上述筒状部形成有缝隙，该缝隙从该筒状部的与上述前端部侧相反侧的端部延伸。本专利技术的接触式探针产生在使用管部件的结构中可实现细径化的效果。附图说明图1是表示本专利技术实施方式1涉及的探针单元的结构的立体图。图2是表示本专利技术实施方式1涉及的探针单元的主要部分的结构的部分截面图。图3是表示本专利技术实施方式1涉及的接触式探针的结构的部分截面图。图4A是用于说明本专利技术实施方式1涉及的接触式探针的收缩方式的图。图4B是用于说明本专利技术实施方式1涉及的接触式探针的收缩方式的图。图5是表示本专利技术实施方式1的变形例1涉及的接触式探针的主要部分的结构的截面图。图6是表示本专利技术实施方式1的变形例2涉及的探针单元的主要部分的结构的部分截面图。图7是表示本专利技术实施方式1的变形例2涉及的接触式探针的结构的部分截面图。图8是表示本专利技术实施方式1的变形例3涉及的探针单元的主要部分的结构的部分截面图。图9是表示本专利技术实施方式1的变形例4涉及的探针单元的主要部分的结构的部分截面图。图10是表示本专利技术实施方式1的变形例5涉及的探针单元的主要部分的结构的部分截面图。图11是表示本专利技术实施方式1的变形例6涉及的接触式探针的结构的部分截面图。图12是表示本专利技术实施方式1的变形例7涉及的接触式探针的结构的部分截面图。图13是表示本专利技术实施方式2涉及的探针单元的主要部分的结构的部分截面图。具体实施方式下面，结合附图对用于实施本专利技术的方式进行详细说明。另外本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种接触式探针，其是能够沿轴线方向伸缩的导电性接触式探针，其特征在于，包括：/n第一接触部件，其与一方接触对象接触；/n第二接触部件，其与另一方接触对象接触，并且能够收纳所述第一接触部件的至少一部分；以及/n弹簧部件，其以各端部将所述第一接触部件与所述第二接触部件伸缩自如地连结，其中，/n所述弹簧部件卷绕成螺旋状，至少由所述第二接触部件保持的端部的外周的直径比其它部分的直径大。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170330 JP 2017-0692721.一种接触式探针，其是能够沿轴线方向伸缩的导电性接触式探针，其特征在于，包括：
第一接触部件，其与一方接触对象接触；
第二接触部件，其与另一方接触对象接触，并且能够收纳所述第一接触部件的至少一部分；以及
弹簧部件，其以各端部将所述第一接触部件与所述第二接触部件伸缩自如地连结，其中，
所述弹簧部件卷绕成螺旋状，至少由所述第二接触部件保持的端部的外周的直径比其它部分的直径大。


2.根据权利要求1所述的接触式探针，其特征在于：
所述第一接触部件包括：
第一前端部，其与所述一方接触对象接触；
第一凸缘部，其设置于所述第一前端部的基端；以及
凸台部，其嵌合于所述弹簧部件而与该弹簧部件连结，
所述第二接触部件包括：
第二前端部，其与所述另一方接触对象接触；
筒状部，其呈内周直径固定的筒状而从所述第二前端部延伸，且收纳所述弹簧部件的至少一部分；以及
第二凸缘部，其设置在所述筒状部的外周上。


3.根据权利要求2所述的接触式探针，其特征在于：
自然状态的所述弹簧部件的所述轴线方向的长度比所述筒状部的轴线方向的长度小。


4.根据权利要求2所述的接触式探针，其特征在于：
自然状态的所述弹簧部件的所述轴线方向的长度比所述筒状部的轴线方向的长度大。


5.根据权利要求2所述的接触式探针，其特征在于，还包括：
套筒，其供所述第一凸缘部嵌合，所述套筒的外表面与所述筒状部能够滑动地接触。


6.根据权利要求2～5中任一项所述的接触式探针，其特征在于：
所述弹簧部件包括：
稀疏卷绕部，其以预设的间隔卷绕，其内周与所述第一接触部件接触；以及
紧密卷绕部，其从所述稀疏卷绕部延伸设置，其外周与所述筒状部接触，其中，
所述紧密卷绕部的直径比所述稀疏卷绕部的直径大。


7.根据权利要求1所述的接触式探针，其特征在于：
所述第一接触部件包括：
第一前端部，其与所述一方接触对象接触；
第一筒状部，其呈筒状而从所述第一前端部延伸；以及
第一凸缘部，其设置在所述第一筒状部的外周上，
所述第二接触部件包括：
第二前端部，其与所述另一方接触对象接触；
第二筒状部，其呈内周直径固定的筒状而从所述第二前端部延伸；以及
第二凸缘部，其设置在所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：相马一也，坂口司，
申请(专利权)人：日本发条株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP