探针座及探针单元制造技术

本发明专利技术的探针座，用于保持多个接触式探针，该多个接触式探针在长度方向的一端部侧与接触对象的各个电极接触，该探针座由一块板件构成，并且形成有多个保持孔，该保持孔贯通该探针座，用于分别保持多个接触式探针，保持孔包括：第一孔部，其设置于贯通方向的一端，沿着贯通方向延伸；大径部，其与第一孔部相连，沿着贯通方向延伸，且比第一孔部的直径大；以及第二孔部，其设置于贯通方向的另一端，与大径部相连，沿着贯通方向延伸，且比大径部的直径小。

Probe base and probe unit

The probe seat of the invention is used to maintain a plurality of contact probes, the plurality of contact probes are in contact with each electrode of the contact object at one end side of the length direction, the probe seat is composed of a plate, and a plurality of holding holes are formed, the holding holes run through the probe seat, and are used to respectively maintain a plurality of contact probes, the holding holes include: the first hole part, which is arranged at the penetration One end of the direction extends along the through direction; the large diameter part, which is connected with the first hole part, extends along the through direction, and is larger than the diameter of the first hole part; and the second hole part, which is set at the other end of the through direction, is connected with the large diameter part, and extends along the through direction, and is smaller than the diameter of the large diameter part.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】探针座及探针单元
本专利技术涉及探针座及探针单元。
技术介绍
以往，在进行半导体集成电路和液晶面板等检测对象的导通状态检查或动作特性检查时，为了实现检查对象与输出检查用信号的信号处理装置之间的电气连接，使用具备多个接触式探针和用于收纳多个接触式探针的探针座的探针单元(例如参见专利文献1)。专利文献1所示的现有的探针座是将两块板件层叠起来而形成的。各板件上分别形成有可以收纳接触式探针的一部分的孔，通过使各板件上的孔连通，能够形成用于收纳各接触式探针的保持孔。该保持孔呈其两端的直径缩小的阶梯形状。在探针单元中，通过使接触式探针卡止于保持孔的阶梯部，来防止接触式探针从探针座脱落。另外，在装配探针单元时，或者在为了探针电特性的维持和稳定化而交换接触式探针时，需要将接触式探针配设在探针座内。专利文献1所公开的探针单元，例如在交换接触式探针时如下进行装配：在将接触式探针配置于一个板件的孔后，一边将接触式探针插入到另一个板件的孔，一边用另一个板件盖上一个板件。专利文献1：日本特开2016－075709号公报
技术实现思路
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【技术保护点】
1. 一种探针座，用于保持多个接触式探针，该多个接触式探针在长度方向的一端部侧与接触对象的各个电极接触，所述探针座的特征在于：/n由一块板件构成，并且/n形成有多个保持孔，该保持孔贯通该探针座，用于分别保持所述多个接触式探针，/n所述保持孔包括：/n第一孔部，其设置于贯通方向的一端，沿着所述贯通方向延伸；/n大径部，其与所述第一孔部相连，沿着所述贯通方向延伸，且比所述第一孔部的直径大；以及/n第二孔部，其设置于所述贯通方向的另一端，与所述大径部相连，沿着所述贯通方向延伸，且比所述大径部的直径小。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170330 JP 2017-0692711.一种探针座，用于保持多个接触式探针，该多个接触式探针在长度方向的一端部侧与接触对象的各个电极接触，所述探针座的特征在于：
由一块板件构成，并且
形成有多个保持孔，该保持孔贯通该探针座，用于分别保持所述多个接触式探针，
所述保持孔包括：
第一孔部，其设置于贯通方向的一端，沿着所述贯通方向延伸；
大径部，其与所述第一孔部相连，沿着所述贯通方向延伸，且比所述第一孔部的直径大；以及
第二孔部，其设置于所述贯通方向的另一端，与所述大径部相连，沿着所述贯通方向延伸，且比所述大径部的直径小。


2.根据权利要求1所述的探针座，其特征在于：
所述第一孔部的直径为D1，所述大径部的直径为D2，所述第二孔部的直径为D3，满足D1=D3、0.50≤D1/D2≤0.95的关系。


3.根据权利要求1所述的探针座，其特征在于：
所述第一孔部的直径为D1，所述大径部的直径为D2，所述第二孔部的直径为D3，满足D1/D3<1、0.50≤D1/D2≤0.95、0.5≤D3/D2≤0.95的关系。


4.根据权利要求1至3中任一项所述的探针座，其特征在于：
其是使用具有0.5GPa以上20GPa以下的弯曲弹性模量的绝缘性材料来形成的。

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【专利技术属性】
技术研发人员：坂口司，相马一也，
申请(专利权)人：日本发条株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP