集成电路制程异常的定位装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种集成电路制程异常的定位装置，包括：输入数据类型以及产品预设的编号信息；显示与被输入所述编号信息的所述产品相关的制程量测信息，并从所述若干制程量测信息中选择目标制程量测信息，所述目标制程量测信息与输入的所述数据类型相符合；显示所选择的所述制程量测信息，并将所述制程量测信息中处于预设阈值范围之外的量测数据进行标记，实现对所述集成电路制程异常的定位。本实用新型专利技术实施例的技术方案通过系统收集量测结果，利用图表将监测结果进行纵向比较，并与目标值进行比较，实现监测集成电路制程的健康程度。

Positioning Device for IC Process Abnormality

【技术实现步骤摘要】
集成电路制程异常的定位装置
本技术涉及测试机
，具体而言，涉及一种集成电路制程异常的定位装置。
技术介绍
目前，随着集成电路技术节点的不断减小以及互连布线密度急剧增加,通过先进量测技术对其实现过程控制尤为重要，量测结果的变化反映制程的健康状况，传统量测结果分析手段采用人工方式，效率低，不能应对大量量测结果的分析，并且不易操作。需要说明的是，在上述
技术介绍
部分公开的信息仅用于加强对本技术的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
技术实现思路
本技术实施例的目的在于提供一种集成电路制程异常的定位方法以及一种测试机控制装置，进而至少在一定程度上克服由于相关技术的限制和缺陷而导致的制程健康状况效率低、无法进行大量量测结果分析以及操作难度大等一个或者多个问题。本技术实施例的其他特性和优点将通过下面的详细描述变得显然，或部分地通过本技术的实践而习得。根据本技术实施例的第一方面，提供一种集成电路制程异常的定位方法，包括：输入数据类型以及产品预设的编号信息；显示与被输入所述编号信息的所述产品相关的若干制程量测信息，并从若干所述制程量测信息中选择目标制程量测信息，所述目标制程量测信息与输入的所述数据类型相符合；显示所选择的所述制程量测信息，并将所述制程量测信息中处于预设阈值范围之外的量测数据进行标记，实现对所述集成电路制程异常的定位。在本技术的一个实施例中，上述数据类型包括：线上量测数据，缺陷测试数据，电性测试数据，晶圆测试数据以及封装测试数据。在本技术的一个实施例中，上述方法还包括：从制程信息存储系统中获取所述制程量测信息。在本技术的一个实施例中，上述显示与被输入所述编号信息的所述产品相关的若干制程量测信息，并从若干所述制程量测信息中选择目标制程量测信息，包括：根据输入的所述编号信息显示相关制程信息，所述制程信息包括：制程站点信息和制程量测信息；在选择所述制程站点信息时显示与所述制程站点相关的制程量测信息，从中选择需要查看的部分所述制程量测信息作为所述目标制程信息。在本技术的一个实施例中，上述显示所选择的所述制程量测信息，并将所述制程量测信息中处于预设阈值范围之外的量测数据进行标记，实现对所述集成电路制程异常的定位，包括：根据所选择的所述数据类型，将预设时间段内的各个量测数据输出；将超出所述预设阈值范围的上限值的量测数据进行标记，和/或将低于所述预设阈值范围的下限值的量测数据进行标记。根据本技术实施例的第二方面，提供一种集成电路制程异常的定位装置，包括：信息输入模块，用于输入数据类型以及产品预设的编号信息；制程选择模块，用于显示与被输入所述编号信息的所述产品相关的若干制程量测信息，并从若干所述制程量测信息中选择目标制程量测信息，所述目标制程量测信息与输入的所述数据类型相符合；显示标记模块，用于显示所选择的所述制程量测信息，并将所述制程量测信息中处于预设阈值范围之外的量测数据进行标记，实现对所述集成电路制程异常的定位。在本技术的一个实施例中，上述信息输入模块中所述数据类型包括：线上量测数据，缺陷测试数据，电性测试数据，晶圆测试数据以及封装测试数据。在本技术的一个实施例中，上述装置还连接至制程信息存储系统，所述制程信息存储系统中存储有与所述产品的相关所述制程量测信息。在本技术的一个实施例中，上述制程选择模块连接至所述制程信息存储系统，并根据被输入的所述编号信息的产品显示相关的制程信息，所述制程信息包括：制程站点信息和制程量测信息；在选择所述制程站点信息时显示与所述制程站点相关的制程量测信息，从中选择需要查看的部分所述制程量测信息。在本技术的一个实施例中，上述显示标记模块连接至所述制程信息存储系统，具体用于：根据所选择的所述数据类型，将预设时间段内的各个量测数据输出；将超出所述预设阈值范围的上限值的量测数据进行标记，和/或将低于所述预设阈值范围的下限值的量测数据进行标记。根据本技术实施例的第三方面，提供了一种计算机可读介质，其上存储有计算机程序，所述程序被处理器执行时实现如上述实施例中第三方面所述的集成电路制程异常的定位方法。根据本技术实施例的第四方面，提供了一种电子设备，包括：一个或多个处理器；存储装置，用于存储一个或多个程序，当所述一个或多个程序被所述一个或多个处理器执行时，使得所述一个或多个处理器实现如上述实施例中第三方面所述的集成电路制程异常的定位方法。本技术实施例提供的技术方案可以包括以下有益效果：本技术的一些实施例所提供的技术方案中，当集成电路制程出现异常后，确定出所述集成电路制程中产出损失率最大的目标因子；查找与所述目标因子相关的监测条目，并获得所述监测条目下的监测结果；将所述监测结果中处于预设阈值范围之外的制程参数进行标记，实现对所述集成电路制程异常的定位。本技术实施例的技术方案通过系统收集量测结果，利用图表将监测结果进行纵向比较，并与目标值进行比较，实现监测集成电路制程的健康程度。应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本技术。附图说明此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本技术的实施例，并与说明书一起用于解释本技术的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：图1示意性示出了根据本技术的一个实施例的集成电路制程异常的定位方法的流程图；图2示意性示出了根据本技术的一个实施例的集成电路制程出现异常后的工作流程图；图3示意性示出了根据本技术的一个实施例的产出损失率最大的BIN类型的示意图；图4示意性示出了根据本技术的一个实施例的制程参数列表的示意图；图5示意性示出了根据本技术的一个实施例的在InlineStep的制程参数列表选择制程参数的示意图；图6示意性示出了根据本技术的一个实施例的在InlineParam的参数列表选择参数的示意图；图7示意性示出了根据本技术的一个实施例的输出参数的示意图；图8示意性示出了根据本技术的一个实施例的对超出正常工作区间范围的参数进行标记的示意图；图9示意性示出了根据本技术的一个实施例的集成电路制程异常定位装置的框图；图10示出了适于用来实现本技术实施例的电子设备的计算机系统的结构示意图。具体实施方式现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的范例；相反，提供这些实施方式使得本技术将更加全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。此外，所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本技术的实施例的充分理解。然而，本领域技术人员将意识到，可以实践本技术的技术方案而没有特定细节中的一个或更多，或者可以采用其它的方法、组元、装置、步骤等。在其它情况下，不详细示出或描述公知方法、装置、实现或者操作以避免模糊本技术的各方面。附图中所示的方框图仅仅是功能实体，不一定必须与物理上独本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种集成电路制程异常的定位装置，其特征在于，包括：信息输入模块，用于输入数据类型以及产品预设的编号信息；制程选择模块，用于显示与被输入所述编号信息的所述产品相关的若干制程量测信息，并从若干所述制程量测信息中选择目标制程量测信息，所述目标制程量测信息与输入的所述数据类型相符合；显示标记模块，用于显示所选择的所述制程量测信息，并将所述制程量测信息中处于预设阈值范围之外的量测数据进行标记，实现对所述集成电路制程异常的定位。

【技术特征摘要】
1.一种集成电路制程异常的定位装置，其特征在于，包括：信息输入模块，用于输入数据类型以及产品预设的编号信息；制程选择模块，用于显示与被输入所述编号信息的所述产品相关的若干制程量测信息，并从若干所述制程量测信息中选择目标制程量测信息，所述目标制程量测信息与输入的所述数据类型相符合；显示标记模块，用于显示所选择的所述制程量测信息，并将所述制程量测信息中处于预设阈值范围之外的量测数据进行标记，实现对所述集成电路制程异常的定位。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述信息输入模块中所述数据类型包括：线上量测数据，缺陷测试数据，电性测试数据，晶圆测试数据以及封装测试数据。3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：闫晓东，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34