【技术实现步骤摘要】
本公开涉及半导体，尤其涉及一种流体输送系统。
技术介绍
1、在半导体制程工艺中，需要向制程腔室中输送用于刻蚀、清洗的化学品，化学品一般为气态或者液态，通常使用泵提供传输动力。
2、目前，当泵出现损伤时，泵内的化学品容易进入泵的驱动通道，导致化学品腐蚀与驱动通道连接的控制器件(比如电磁阀)，导致成本增加并且污染环境。
技术实现思路
1、以下是对本公开详细描述的主题的概述。本概述并非是为了限制权利要求的保护范围。
2、本公开实施例提供了一种流体输送系统，所述流体输送系统包括：
3、泵送装置，所述泵送装置包括输送流体腔、驱动流体腔以及设置于所述输送流体腔和所述驱动流体腔之间的分隔部，所述分隔部用于在所述驱动流体腔内的驱动流体的作用下运动，以改变所述输送流体腔的容积；
4、驱动流体输送通道，与所述驱动流体腔相连，用于向所述驱动流体腔提供驱动流体；
5、单向器件，设置于所述驱动流体输送通道，所述单向器件配置为使得流体由所述驱动流体输送通道向所述驱动流体腔单向导通；
6、驱动流体排出通道，与所述驱动流体腔相连，用于将所述驱动流体腔内的驱动流体排出。
7、在一些实施例中，所述输送流体腔的两端均设置有所述驱动流体腔，每个所述驱动流体腔均对应连接一个所述驱动流体输送通道；
8、所述流体输送系统还包括控制器件和总供气通道，所述控制器件用于控制所述总供气通道分别与两个所述驱动流体输送通道的通断状态。
<...【技术保护点】
1.一种流体输送系统，其特征在于，所述流体输送系统包括：
2.根据权利要求1所述的流体输送系统，其特征在于，所述输送流体腔的两端均设置有所述驱动流体腔，每个所述驱动流体腔均对应连接一个所述驱动流体输送通道；
3.根据权利要求2所述的流体输送系统，其特征在于，所述控制器件包括三位三通电磁阀，所述三位三通电磁阀的输入端与所述总供气通道连接，所述三位三通电磁阀的两个输出端分别连接两个所述驱动流体输送通道。
4.根据权利要求1所述的流体输送系统，其特征在于，所述驱动流体排出通道与所述驱动流体输送通道连接，且连接位置位于所述单向器件与所述驱动流体腔之间。
5.根据权利要求4所述的流体输送系统，其特征在于，所述驱动流体排出通道与所述驱动流体输送通道之间通过切换器件连接，所述切换器件用于在第一连通状态和第二连通状态之间切换；
6.根据权利要求5所述的流体输送系统，其特征在于，所述流体输送系统还包括：
7.根据权利要求6所述的流体输送系统，其特征在于，所述压力检测器件设置于所述切换器件中。
8.根据权利要求7所述
9.根据权利要求5所述的流体输送系统，其特征在于，所述单向器件与所述切换器件集成于一体设置。
10.根据权利要求1所述的流体输送系统，其特征在于，所述流体输送系统还包括：
11.根据权利要求10所述的流体输送系统，其特征在于，所述排气箱内设置有液位检测器件，用于检测所述排气箱内的液位。
12.根据权利要求11所述的流体输送系统，其特征在于，所述流体输送系统还包括与所述排气箱连接的排液通道，所述排液通道上设置有开关器件；
13.根据权利要求12所述的流体输送系统，其特征在于，所述排液通道与所述排气箱的底面连接。
14.根据权利要求12所述的流体输送系统，其特征在于，所述排液通道连接厂务酸排管路。
15.根据权利要求1至14任一项所述的流体输送系统，其特征在于，所述泵送装置包括波纹管，所述波纹管的内腔构成所述输送流体腔。
...【技术特征摘要】
1.一种流体输送系统，其特征在于，所述流体输送系统包括：
2.根据权利要求1所述的流体输送系统，其特征在于，所述输送流体腔的两端均设置有所述驱动流体腔，每个所述驱动流体腔均对应连接一个所述驱动流体输送通道；
3.根据权利要求2所述的流体输送系统，其特征在于，所述控制器件包括三位三通电磁阀，所述三位三通电磁阀的输入端与所述总供气通道连接，所述三位三通电磁阀的两个输出端分别连接两个所述驱动流体输送通道。
4.根据权利要求1所述的流体输送系统，其特征在于，所述驱动流体排出通道与所述驱动流体输送通道连接，且连接位置位于所述单向器件与所述驱动流体腔之间。
5.根据权利要求4所述的流体输送系统，其特征在于，所述驱动流体排出通道与所述驱动流体输送通道之间通过切换器件连接，所述切换器件用于在第一连通状态和第二连通状态之间切换；
6.根据权利要求5所述的流体输送系统，其特征在于，所述流体输送系统还包括：
7.根据权利要求6所述的流体输送系统，其特征在于，所述压力检测器件设置于所述切换器件中。
8.根据权利要求7所述的流体输送系统，其特征在于，所述切换器件包括第一分支通道、...
【专利技术属性】
技术研发人员：张锋，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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