The utility model provides a wafer processing device, which can prolong the opening time and/or closing time of the valve mechanism which can not adjust the speed of the original switching gate by delaying the control device, so as to improve the problem of sediment spalling on the inner wall of the cavity caused by too fast switching of the gate on the cavity, reduce the generation of micro-dust particles on the surface of the wafer, and thereby improve the production. The technical scheme of the utility model is applicable to all kinds of wafer processing machines where the valve mechanism of the original factory can not control the switching speed of the gates connected by the valve mechanism, that is, the chamber includes not only the reaction chamber, but also the conveyor chamber, the cooling chamber, the cleaning chamber and the drying chamber.
【技术实现步骤摘要】
晶圆处理设备
本技术涉及半导体生产制造
,特别涉及一种晶圆处理设备。
技术介绍
随着器件关键尺寸的缩小,对晶圆表面玷污的控制变得越来越关键。如果在生产过程中引入了微尘颗粒等污染源,就可能引起电路的开路或断路,因而在半导体工艺制造中,如何避免在工艺制造中的污染是必须要关注的问题。随着生产中晶圆处理设备自动化程度的提高,人员与产品的交互变少,防止生产中带来微尘颗粒的重点已更多地放到了晶圆处理设备所产生的微尘颗粒上面,例如设备腔室内壁(包括载片台等表面)上积累的沉积物随着该设备的持续使用时间或使用次数的增加而变厚,当累积的沉积物厚到一定程度时,会受外力或自身重力影响而脱落产生微尘颗粒,这些微尘颗粒掉落在晶圆表面可能使元件失效。为此,在生产过程中,常需要对晶圆处理设备的腔室内壁及其他部件进行清洁,去除积累的沉积物,以防止因其脱落而导致的晶圆玷污。但高频率地进行腔室清理又会导致产能降低和设备使用寿命变短的问题。此外,在各种晶圆处理设备中,薄膜沉积设备的微尘颗粒污染问题是关注的重点之一,请参考图1A和图1B,这类机台通常包括腔体(chamber)11以及用于控制所述腔体11与外界通断的闸门12,所述闸门12的开启和关闭受控于一阀机构20(例如是直进式开闭动作的阀机构gatevalve),且该阀机构20的原厂开、关闸门11的速度不可调,即阀机构20使得闸门12的原厂开关速度不可调。在进行薄膜气相沉积工艺时,会通过阀机构20打开闸门11,将晶圆30装入腔体中的载片台10上,再通过阀机构20关闭闸门11以关断腔体与外界的连结,形成真空腔体,之后,利用能量系统(未图示) ...
【技术保护点】
1.一种晶圆处理设备,其特征在于,包括:用于放置晶圆的腔体,所述腔体的侧壁上设有能够被开启和被关闭的闸门;设置在所述腔体一侧上且原厂开关闸门的速度不可调的阀机构,所述阀机构包括气缸、设置在所述气缸内的阀膜、与所述阀膜连接的气动连杆以及与所述气缸连通的多个通气口,所述气动连杆连接所述闸门,用于开启和关闭所述闸门;以及,设置在所述阀机构的至少一个所述通气口处的延迟控制装置,所述延迟控制装置用于控制所述通气口的进气或出气的快慢,以延长所述阀机构开启所述闸门的开启时间和/或延长所述阀机构关闭所述闸门的关闭时间。
【技术特征摘要】
1.一种晶圆处理设备,其特征在于,包括:用于放置晶圆的腔体,所述腔体的侧壁上设有能够被开启和被关闭的闸门;设置在所述腔体一侧上且原厂开关闸门的速度不可调的阀机构,所述阀机构包括气缸、设置在所述气缸内的阀膜、与所述阀膜连接的气动连杆以及与所述气缸连通的多个通气口,所述气动连杆连接所述闸门,用于开启和关闭所述闸门;以及,设置在所述阀机构的至少一个所述通气口处的延迟控制装置,所述延迟控制装置用于控制所述通气口的进气或出气的快慢,以延长所述阀机构开启所述闸门的开启时间和/或延长所述阀机构关闭所述闸门的关闭时间。2.如权利要求1所述的晶圆处理设备,其特征在于,所述延迟控制装置为开关速度可调的机械阀,所述机械阀为针型阀、截止阀、闸阀、旋塞阀、球阀或蝶阀。3.如权利要求1所述的晶圆处理设备,其特征在于,所述延迟控制装置为电磁阀或具有传...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘曦光,
申请(专利权)人:长鑫存储技术有限公司,
类型:新型
国别省市:安徽,34
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