不良晶粒自动剔除设备制造技术

本实用新型专利技术公开一种不良晶粒自动剔除设备，属于半导体元器件生产装置技术领域，包括滚轴电机和从动转轴，滚轴电机和从动转轴之间设有传送皮带，传送皮带水平方向设置，滚轴电机的端部连接有调速器，传送皮带的上方设有一分离器，分离器包括安装支架，安装支架的下方联接有磁铁，磁铁大小与传送皮带宽度相同，分离器的下方设有一不良品收集盒，不良品收集盒的位置与分离器的位置相对应；本设备结构简单、能够满足改善不良晶粒剔除速率，同时改善人员失误造成的损失降低生产成本，解决了现有技术中出现的问题。

Automatic Elimination Equipment for Bad Grain

The utility model discloses an automatic defective grain removal device, which belongs to the technical field of semiconductor component production devices, including a roller motor and a driven shaft, a conveyor belt is arranged between the roller motor and the driven shaft, a conveyor belt is horizontally arranged, the end of the roller motor is connected with a governor, and a separator is arranged above the conveyor belt, and the separator includes an installation bracket. The lower part of the mounting bracket is connected with a magnet, whose size is the same as the width of the conveyor belt, and the lower part of the separator is provided with a bad product collection box. The location of the bad product collection box corresponds to the position of the separator. The equipment has simple structure and can meet the needs of improving the rate of bad grain removal, improving the loss caused by personnel errors, reducing production costs and solving the problems existing in the technology. The problem.

【技术实现步骤摘要】
不良晶粒自动剔除设备
本技术涉及一种不良晶粒自动剔除设备，属于半导体元器件生产装置

技术介绍
半导体晶片的生产过程需要在点测完成后进行划切裂片将不良品晶粒剔除，对使用磁性墨水(含磁性物质微粒，如氧化铁)点测后材料需要进行剔除不良品，因其容易出现遗漏且污染良品晶粒现象，其人员精力不集中，使用粘附工具简陋是影响晶粒产量的主要因素，其缺点如下：现有的操作全部由人力完成，增加人员操作成本；人员变动大，影响生产效率；这是现有技术的不足之处。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种不良晶粒自动剔除设备，将带有磁性墨水的不良晶粒从良品中分离出来，能够满足改善不良晶粒剔除速率，同时改善人员失误造成的损失降低生产成本，解决了现有技术中出现的问题。本技术所述的不良晶粒自动剔除设备，包括滚轴电机和从动转轴，滚轴电机和从动转轴之间设有传送皮带，传送皮带水平方向设置，滚轴电机的端部连接有调速器，传送皮带的上方设有一分离器，分离器包括安装支架，安装支架的下方联接有磁铁，磁铁大小与传送皮带宽度相同，分离器的下方设有一不良品收集盒，不良品收集盒的位置与分离器的位置相对应。裂开后的晶粒放置于传送皮带靠近从动转轴的位置处，晶粒不可堆叠，调整调速器使滚轴电机按照调速器调整大小转动，经过分离器时带有磁性墨水的不良品被磁铁，磁铁最大磁能积:160-150KJ/m3，不良品被磁铁吸附至分离器表面，晶粒材料转至滚轴电机时将良品晶粒收回关闭滚轴电机，来回推动不良品收集盒使不良品落入不良品收集盒中，将不良品收集盒中的不良品单独放置清理操作设备。所述的不良品收集盒包括凹槽，凹槽下方的外侧设有档板盒,档板盒的内侧设有毛刷，凹槽与分离器的大小相配，不良品收集盒通过凹槽与分离器可拆卸式联接；通过凹槽与分离器可拆卸式联接，可以方便的通过毛刷将分离器表面的不良品刷至不良品收集盒中，不良品被档板盒挡住落入不良品收集盒中。所述的不良品收集盒的下方设有不良品输送带，不良品输送带的下方设有不良品输送架；当完成不良品收集后，将不良品收集盒拆卸下来，放置在不良品输送带上进行输送。所述的毛刷位于不良品收集盒中间位置占不良品收集盒容积的1/3，方便来回进行清扫。所述的磁铁为钐钴磁铁，磁铁的大小与传送皮的宽度相同且磁铁与传送皮带之间的高度差不超过10cm，完全吸附每个角落的晶粒。所述的调速器可调速范围为5cm/r-15cm/r，根据不良品数量调整吸附速度。所述的从动转轴的直径≤20cm，传送皮带总长度≤200cm，方便操作人员监管。本技术与现有技术相比，具有如下有益效果：本技术所述的不良晶粒自动剔除设备，将带有磁性墨水的不良晶粒从良品中分离出来，能够满足改善不良晶粒剔除速率，同时改善人员失误造成的损失降低生产成本，结构简单，操作方便，提高了生产效率，解决了现有技术中出现的问题。附图说明图1为本技术实施例的结构示意图；图2为本技术实施例中不良品收集盒的结构示意图；图3为本技术实施例中滚轴电机的电路连接框图；图中：1、传送皮带；2、从动转轴；3、磁铁；4、不良品输送带；5、不良品输送架；6、调速器；7、不良品收集盒；8、滚轴电机；9、分离器；10、凹槽；11、档板盒；12、毛刷。具体实施方式下面结合附图和实施例对本技术作进一步的说明：实施例1：如图1-3所示，本技术所述的不良晶粒自动剔除设备，包括滚轴电机8和从动转轴2，滚轴电机8和从动转轴2之间设有传送皮带1，传送皮带1水平方向设置，滚轴电机8的端部连接有调速器6，传送皮带1的上方设有一分离器9，分离器9包括安装支架，安装支架的下方联接有磁铁3，磁铁3大小与传送皮带1宽度相同，分离器9的下方设有一不良品收集盒7，不良品收集盒7的位置与分离器9的位置相对应。为了进一步说明上述实施例，不良品收集盒7包括凹槽10，凹槽10下方的外侧设有档板盒11,档板盒11的内侧设有毛刷12，凹槽10与分离器9的大小相配，不良品收集盒7通过凹槽10与分离器9可拆卸式联接。为了进一步说明上述实施例，不良品收集盒7的下方设有不良品输送带4，不良品输送带4的下方设有不良品输送架5。为了进一步说明上述实施例，毛刷12位于不良品收集盒7中间位置占不良品收集盒7容积的1/3，方便来回进行清扫。为了进一步说明上述实施例，磁铁3为钐钴磁铁，磁铁3的大小与传送皮带1的宽度相同且磁铁3与传送皮带1之间的高度差不超过10cm。为了进一步说明上述实施例，调速器6可调速范围为5cm/r-15cm/r。为了进一步说明上述实施例，从动转轴2的直径≤20cm，传送皮带1总长度≤200cm。本实施例的工作原理为：裂开后的晶粒放置于传送皮带1靠近从动转轴2的位置处，晶粒不可堆叠，调整调速器6使滚轴电机8按照调速器6调整大小转动，经过分离器9时带有磁性墨水的不良品被磁铁3吸附，磁铁3最大磁能积:160-150KJ/m3，不良品被磁铁3吸附至分离器9表面，晶粒材料转至滚轴电机8时将良品晶粒收回关闭滚轴电机8，来回推动不良品收集盒7使不良品落入不良品收集盒7中，通过凹槽10与分离器9可拆卸式联接，可以方便的通过毛刷12将分离器9表面的不良品刷至不良品收集盒7中，不良品被档板盒11挡住落入盒中；将不良品收集盒7中的不良品单独放置清理操作设备；当完成不良品收集后，将不良品收集盒7拆卸下来，放置在不良品输送带4上进行输送。采用以上结合附图描述的本技术的实施例的不良晶粒自动剔除设备，结构简单、能够满足改善不良晶粒剔除速率，同时改善人员失误造成的损失降低生产成本，解决了现有技术中出现的问题。但本技术不局限于所描述的实施方式，在不脱离本技术的原理和精神的情况下这些对实施方式进行的变化、修改、替换和变形仍落入本技术的保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种不良晶粒自动剔除设备，其特征在于：包括滚轴电机(8)和从动转轴(2)，滚轴电机(8)和从动转轴(2)之间设有传送皮带(1)，传送皮带(1)水平方向设置，滚轴电机(8)的端部连接有调速器(6)，传送皮带(1)的上方设有一分离器(9)，分离器(9)包括安装支架，安装支架的下方联接有磁铁(3)，磁铁(3)大小与传送皮带(1)宽度相同，分离器(9)的下方设有一不良品收集盒(7)，不良品收集盒(7)的位置与分离器(9)的位置相对应。

【技术特征摘要】
1.一种不良晶粒自动剔除设备，其特征在于：包括滚轴电机(8)和从动转轴(2)，滚轴电机(8)和从动转轴(2)之间设有传送皮带(1)，传送皮带(1)水平方向设置，滚轴电机(8)的端部连接有调速器(6)，传送皮带(1)的上方设有一分离器(9)，分离器(9)包括安装支架，安装支架的下方联接有磁铁(3)，磁铁(3)大小与传送皮带(1)宽度相同，分离器(9)的下方设有一不良品收集盒(7)，不良品收集盒(7)的位置与分离器(9)的位置相对应。2.根据权利要求1所述的不良晶粒自动剔除设备，其特征在于：所述的不良品收集盒(7)包括凹槽(10)，凹槽(10)下方的外侧设有档板盒(11),档板盒(11)的内侧设有毛刷(12)，凹槽(10)与分离器(9)的大小相配，不良品收集盒(7)通过凹槽(10)与分离器(9)可...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐明星，张朝奇，马齐营，
申请(专利权)人：山东芯诺电子科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：山东,37