无掩膜光刻机控制系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种无掩膜光刻机控制系统，包括：电源主控电路、工控机、IO控制板、服务器电源控制电路及第一服务器；电源主控电路分别与供电电源及工控机连接，用于控制工控机启动或关机；工控机与IO控制板通信连接，IO控制板与第一服务器连接，工控机用于通过向IO控制板发送控制指令，控制第一服务器启动；电源主控电路与服务器电源控制电路连接，服务器电源控制电路连接第一服务器，电源主控电路还用于通过服务器电源控制电路控制第一服务器关机。本实用新型专利技术将无掩膜光刻机内工控机与若干服务器的启动或关机进行联动控制，无需对工控机及各服务器进行一一控制启动或关机，简化控制过程，提高工业生产效率。

Maskless lithography machine control system

The utility model relates to a maskless lithography control system, which comprises a power supply main control circuit, an industrial control computer, an IO control board, a server power control circuit and a first server; a power supply main control circuit is connected with a power supply and an industrial control computer respectively to control the start or shutdown of an industrial control computer; an industrial control computer communicates with an IO control board; an IO control board is connected with a first server; and an industrial control computer is connected with an industrial control board. It is used to control the start of the first server by sending control instructions to the IO control board; the main power control circuit is connected with the power control circuit of the server; the power control circuit of the server is connected with the first server; and the main power control circuit is also used to control the shutdown of the first server through the power control circuit of the server. The utility model links the industrial control computer in the maskless lithography machine with the startup or shutdown of several servers to control the startup or shutdown of the industrial control computer and the servers without the need to control the startup or shutdown of the industrial control computer and the servers, simplifies the control process and improves the industrial production efficiency.

【技术实现步骤摘要】
无掩膜光刻机控制系统
本技术涉及光刻机领域，特别是涉及一种无掩膜光刻机控制系统。
技术介绍
无掩膜光刻机是一种不采用光刻掩膜版的光刻机，而是利用激光直接成像系统(LaserDirectImage,LDI)将印刷线路板(PCB)图形直接曝光在涂有感光材料的线路板上，具有分辨率高、成本较低、效率高等优点。由于需要将实时产生的图像数据发送至LDI系统，以及对成像制程进行控制，无掩膜光刻机一般包含有工控机以及若干组服务器，因此控制过程比较复杂，在工业化的生产中不够高效。
技术实现思路
基于此，有必要提供一种无掩膜光刻机的控制系统，能够简化控制过程，实现高效地工业化生产。一种无掩膜光刻机控制系统，包括：电源主控电路、工控机、IO控制板、服务器电源控制电路及第一服务器；电源主控电路分别与供电电源及工控机连接，用于控制工控机启动或关机；工控机与IO控制板通信连接，IO控制板与第一服务器连接，工控机用于通过向IO控制板发送控制指令，控制第一服务器启动；电源主控电路与服务器电源控制电路连接，服务器电源控制电路连接第一服务器，电源主控电路还用于通过服务器电源控制电路控制第一服务器关机。在其中一个实施例中，电源主本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种无掩膜光刻机控制系统，其特征在于，包括：电源主控电路、工控机、IO控制板、服务器电源控制电路及第一服务器；所述电源主控电路分别与供电电源及所述工控机连接，用于控制所述工控机启动或关机；所述工控机与所述IO控制板通信连接，所述IO控制板与所述第一服务器连接，所述工控机用于通过向所述IO控制板发送控制指令，控制所述第一服务器启动；所述电源主控电路与所述服务器电源控制电路连接，所述服务器电源控制电路连接所述第一服务器，所述电源主控电路还用于通过所述服务器电源控制电路控制所述第一服务器关机。

【技术特征摘要】
1.一种无掩膜光刻机控制系统，其特征在于，包括：电源主控电路、工控机、IO控制板、服务器电源控制电路及第一服务器；所述电源主控电路分别与供电电源及所述工控机连接，用于控制所述工控机启动或关机；所述工控机与所述IO控制板通信连接，所述IO控制板与所述第一服务器连接，所述工控机用于通过向所述IO控制板发送控制指令，控制所述第一服务器启动；所述电源主控电路与所述服务器电源控制电路连接，所述服务器电源控制电路连接所述第一服务器，所述电源主控电路还用于通过所述服务器电源控制电路控制所述第一服务器关机。2.根据权利要求1所述的无掩膜光刻机控制系统，其特征在于，所述电源主控电路包括工控机启动控制模块及关机控制模块；所述工控机启动控制模块与所述工控机的ATX电源控制端连接，用于控制所述工控机启动；所述工控机启动控制模块与所述关机控制模块并联；所述关机控制模块与所述工控机的ATX电源控制端连接，用于控制所述工控机关机；所述关机控制模块还与所述服务器电源控制电路连接，所述服务器电源控制电路与所述第一服务器的ATX电源控制端连接，用于配合所述关机控制模块控制所述第一服务器关机。3.根据权利要求2所述的无掩膜光刻机控制系统，其特征在于，所述电源主控电路还包括反馈模块；所述反馈模块分别与所述工控机的ATX电源输出端、所述第一服务器的ATX电源输出端、所述工控机启动控制模块及所述关机控制模块连接，所述反馈模块用于配合所述工控机启动控制模块在所述工控机启动后使所述关机控制模块保持断开。4.根据权利要求3所述的无掩膜光刻机控制系统，其特征在于，所述工控机启动控制模块包括接触器KM1、继电器KA1及启动按钮开关SB1；所述启动按钮开关SB1的第一端连接所述工控机的ATX电源控制端，第二端连接所述继电器KA1常开触点K12的第二端；所述启动按钮开关SB1的第一端还连接所述供电电源的正极,第二端还与所述接触器KM1的线圈第一端连接，所述接触器KM1的线圈第二端用于连接所述供电电源的负极；所述接触器KM1的常开触点KM11的第一端连接所述继电器KA1的常开触点K11的第一端，第二端连接所述接触器KM1的线圈第一端及所述继电器KA1的线圈第一端；所述继电器KA1线圈的第二端接所述供电电源的负极；所述继电器KA1的常开触点K11的第二端连接所述供电电源的正极；所述继电器KA1的常开触点K12的第一端连接所述工控机的ATX电源控制端，第二端接地。5.根据权利要求4所述的无掩膜光刻机控制系统，其特征在于，所述关机控制模块包括关机按钮开关SB2；所述关机按钮开关SB2的第一端连接所述工控机的ATX电源控制端，第二端接地；所述关机按钮开关SB2还接入所述服务...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶权，向正西，
申请(专利权)人：中山新诺科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44