【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光科，特别涉及一种投影镜调节机构及光刻机。
技术介绍
1、众所周知，在光刻系统的运行过程中，激光需要通过投影用的透镜进行折射，才能够实现对激光路径的规划及光照效果的调节。为了适应不同的光刻动作需求，透镜通常会具有角度调节功能，并可以通过其对透镜的朝向角度及对光线的接收和折射角度进行调整。然而，针对透镜的角度调节的机构，通常具有操作繁琐和调节不够准确的问题，难以在不同的维度方向上对透镜进行调整。
技术实现思路
1、本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提出一种投影镜调节机构，能够方便、准确地对透镜进行多维度的调节。
2、本专利技术还提出一种具有上述投影镜调节机构的光刻机。
3、根据本专利技术的第一方面实施例的投影镜调节机构，包括：镜架、连接座和安装座，镜架安装有透镜；所述镜架活动连接于所述连接座，所述连接座上设置有第一转向结构和第一锁定结构，所述镜架通过所述第一转向结构与所述连接座相互连接，所述镜架能够相对于所述连接座沿第一周向旋转，所述第一锁定结构用于固定所述镜架与所述连接座；所述连接座活动连接于所述安装座，所述安装座上设置有第二转向结构和第二锁定结构，所述连接座通过所述第二转向结构与所述安装座相互连接，所述连接座能够相对于所述安装座沿第二周向旋转，所述第一周向和所述第二周向相互交错并使得所述镜架能够相对于所述安装座沿不同维度进行转动，所述第二锁定结构用于固定所述连接座与所述安装座。
4、根据本专利技术
5、因此，通过第一锁定结构和第二锁定结构的分别运作，便可以直接、有效地达到对透镜沿不同维度进行朝向角度调节的效果，从而得以方便、准确地对透镜进行多维度的调节，进而提升光刻系统的调节便利性和全面性。
6、根据本专利技术的一些实施例，所述第二转向结构包括底座和第三转向结构，所述底座通过所述第三转向结构连接于所述安装座并能够沿第三周向转动或固定；所述第一周向、所述第二周向和所述第三周向相互交错并使得所述镜架能够相对于所述安装座沿三个不同维度进行转动。
7、根据本专利技术的一些实施例，所述第三转向结构包括安装于所述安装座的连接钉，所述连接钉穿过所述安装座并与所述底座连接；所述连接钉能够带动所述底座相对于所述安装座旋转，所述连接钉螺旋伸入于所述底座并能够配合所述底座夹紧固定所述安装座。
8、根据本专利技术的一些实施例，所述第二转向结构包括可转动地连接于所述安装座的球罩，所述球罩的外周设置有连接端，所述连接座通过所述第一转向结构连接于所述连接端，所述第二锁定结构包括设置于所述球罩外周的垫圈组，所述垫圈组包围并夹紧所述球罩。
9、根据本专利技术的一些实施例，所述垫圈组包括均套于所述球罩外周的第一垫圈和第二垫圈，所述第一垫圈和所述第二垫圈分别位于所述球罩的两侧；所述安装座设置有调节结构，所述调节结构能够带动所述第二垫圈运动靠近所述球罩的中部并夹紧所述球罩或运动远离所述球罩的中部并放松所述球罩。
10、根据本专利技术的一些实施例，所述调节结构包括螺杆和涡轮，所述涡轮位于所述第二垫圈背离所述第一垫圈的一侧；所述螺杆与所述涡轮螺纹连接并能够带动所述涡轮位移，所述涡轮运动时能够顶推所述第二垫圈并使得其夹紧所述球罩的中部。
11、根据本专利技术的一些实施例，所述球罩内设置有摆动件，所述摆动件可转动地连接于所述安装座并与所述球罩连接，所述摆动件连接有能够赋予其复位趋势的复位扭簧。
12、根据本专利技术的一些实施例，所述复位扭簧为两个且分别连接于所述摆动件的两侧，两个所述复位扭簧能够分别对所述摆动件施加反向的弹性复位力。
13、根据本专利技术的一些实施例，所述第一转向结构包括连接轴，所述连接座通过所述连接轴与所述安装座连接，所述连接座可转动地套于所述连接轴的外周；所述第一锁定结构包括旋钮，所述旋钮螺纹连接于所述连接轴的外周并能够配合所述连接座夹紧所述镜架。
14、根据本专利技术第二方面实施例的光刻机，包括根据本专利技术上述第一方面实施例的投影镜调节机构。
15、根据本专利技术实施例的光刻机，至少具有如下有益效果：需要沿第一周向对透镜的朝向角度进行调节时，可以解除第一锁定结构对连接座和镜架之间的锁定效果，并使得镜架可以相对于连接座进行第一周向上的转动，并得以沿该维度通过第一转向结构进行透镜朝向角度的调整。需要沿第二周向对透镜的朝向角度进行调节时，可以解除第二锁定结构对安装座和连接座之间的锁定效果，并使得连接座可以相对于镜架进行第二周向上的转动，并得以沿该维度通过第二转向结构进行透镜朝向角度的调整。
16、因此，通过第一锁定结构和第二锁定结构的分别运作，便可以直接、有效地达到对透镜沿不同维度进行朝向角度调节的效果，从而得以方便、准确地对透镜进行多维度的调节，进而提升光刻系统的调节便利性和全面性。
17、本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。
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1.一种投影镜调节机构，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的投影镜调节机构，其特征在于：
3.如权利要求2所述的投影镜调节机构，其特征在于：
4.如权利要求1所述的投影镜调节机构，其特征在于：
5.如权利要求4所述的投影镜调节机构，其特征在于：
6.如权利要求5所述的投影镜调节机构，其特征在于：
7.如权利要求4所述的投影镜调节机构，其特征在于：
8.如权利要求7所述的投影镜调节机构，其特征在于：
9.如权利要求1所述的投影镜调节机构，其特征在于：
10.一种光刻机，其特征在于，包括权利要求1至9任一项所述的投影镜调节机构。
【技术特征摘要】
1.一种投影镜调节机构，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的投影镜调节机构，其特征在于：
3.如权利要求2所述的投影镜调节机构，其特征在于：
4.如权利要求1所述的投影镜调节机构，其特征在于：
5.如权利要求4所述的投影镜调节机构，其特征在于：
6.如权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈锡媛，零萍，陈超，徐照，林垂真，
申请(专利权)人：中山新诺科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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