下载投影镜调节机构及光刻机的技术资料

文档序号:40550435

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本发明公开了一种投影镜调节机构及光刻机,其包括:镜架、连接座和安装座;所述连接座上设置有第一转向结构和第一锁定结构,所述镜架能够相对于所述连接座沿第一周向旋转;所述安装座上设置有第二转向结构和第二锁定结构,所述连接座能够相对于所述安装座沿第...
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