专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
中山新诺科技股份有限公司
>
投影镜调节机构及光刻机制造技术
>技术资料下载
下载投影镜调节机构及光刻机的技术资料
文档序号:40550435
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种投影镜调节机构及光刻机,其包括:镜架、连接座和安装座;所述连接座上设置有第一转向结构和第一锁定结构,所述镜架能够相对于所述连接座沿第一周向旋转;所述安装座上设置有第二转向结构和第二锁定结构,所述连接座能够相对于所述安装座沿第...
该专利属于中山新诺科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中山新诺科技股份有限公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。