【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及信息处理装置、信息处理方法、存储介质、曝光装置、曝光方法和物品制造方法。
技术介绍
1、作为半导体设备的制造工艺(光刻工艺)中使用的装置之一，已知通过利用来自投影光学系统的光扫描基板来曝光基板上的多个压射区域(shot region)中的每一个的曝光装置。在曝光装置中，在每个压射区域的曝光处理中，在用光照射之前执行基板的表面位置的测量(聚焦/倾斜测量)的同时，基于测量结果来执行关于基板的高度和姿势中的至少一个的控制(聚焦/倾斜控制)。
2、在基板上的每个压射区域的曝光处理完成之后，曝光装置的用户有时检查每个压射区域的曝光精度是否满足期望的精度。如果存在曝光精度不满足期望的精度的压射区域，则确认其原因(理由)对于对后续的基板精确地执行曝光处理是重要的。日本专利公开no.2006-165122公开了一种在每个压射区域的曝光处理期间图形化表示基板的表面位置的控制误差(误差z)和姿势的控制误差(误差倾斜(x)、误差倾斜(y))的技术。
3、曝光精度的降低有时是由基板上的压射区域的布局以及曝光处理期间的基板上的控制误差引起的。例如，如果在基板上的多个压射区域之间布局具有高度差，则在多个压射区域之间基板的驱动量有时增加，导致基板中的控制残差的增加。日本专利公开no.2006-165122中公开的方法不允许曝光装置的用户确认曝光精度的降低的原因是压射区域的布局。
技术实现思路
1、本专利技术例如提供了有利于允许曝光装置的用户确认曝光精度的降低的原因的技术。<...
【技术保护点】
1.一种信息处理装置，所述信息处理装置包括生成器，所述生成器被配置为生成用于使显示单元将以下中的任一个作为显示信息显示的图像信息：
2.根据权利要求1所述的信息处理装置，其中，
3.根据权利要求1所述的信息处理装置，其中，
4.根据权利要求1所述的信息处理装置，其中，
5.根据权利要求1所述的信息处理装置，其中，所述生成器被配置为生成用于使所述显示单元对于基板上的压射区域的各个位置显示表示所述显示信息的分布的图像信息。
6.根据权利要求1所述的信息处理装置，其中，所述生成器被配置为生成通过颜色浓度、颜色类型和数值中的至少一个指示所述显示信息以便使得用户能够对于基板上的压射区域的各个位置视觉地识别所述显示信息的图像信息。
7.根据权利要求1所述的信息处理装置，其中，在已对多个基板中的每一个执行曝光处理的情况下，所述生成器被配置为生成用于使所述显示单元对于压射区域的各个位置显示关于所述多个基板的所述显示信息的代表值的图像信息。
8.根据权利要求1所述的信息处理装置，其中，在已对多个基板中的每一个执行曝
9.根据权利要求1至8中任一项所述的信息处理装置，还包括被配置为从所述曝光装置获得信息的获得器，
10.根据权利要求1至8中任一项所述的信息处理装置，还包括被配置为从所述曝光装置获得信息的获得器，
11.根据权利要求1至8中任一项所述的信息处理装置，其中，所述生成器被配置为生成用于使所述显示单元在将所述显示信息划分成多个方向分量时显示所述显示信息的图像信息。
12.根据权利要求1至8中任一项所述的信息处理装置，其中，所述生成器被配置为生成用于使所述显示单元对于压射区域的各个位置显示所述显示信息以便使得用户能够选择是否要对于压射区域的各个位置应用用于减小所述差异的校正值的图像信息。
13.根据权利要求12所述的信息处理装置，还包括：
14.根据权利要求1至8中任一项所述的信息处理装置，其中，所述生成器被配置为在用于减小所述差异的校正值被应用到后续的基板的情况下，预测所述后续的基板上的每个压射区域的曝光处理的开始时间的残差，并且生成用于使所述显示单元显示所述残差的预测结果以便使得用户能够选择是否要对于压射区域的各个位置应用校正值的图像信息。
15.根据权利要求1至8中任一项所述的信息处理装置，其中，所述曝光装置是被配置为在扫描基板的同时执行曝光处理的扫描曝光装置，以及被配置为在所述第二压射区域的曝光处理中测量所述第二压射区域的表面位置并且同时基于所述表面位置的测量结果来控制所述第二压射区域的位置和倾斜中的至少一个。
16.根据权利要求1至8中任一项所述的信息处理装置，其中，所述信息处理装置与所述曝光装置可通信地连接。
17.根据权利要求1至8中任一项所述的信息处理装置，其中，所述信息处理装置与所述曝光装置一体地形成为所述曝光装置的构成元件。
18.根据权利要求1至8中任一项所述的信息处理装置，其中，所述生成器被配置为生成用于使所述显示单元同时显示所述显示信息和曝光处理的关于曝光精度的检查结果的图像信息。
19.根据权利要求1至8中任一项所述的信息处理装置，其中，所述显示信息是基于由位于所述信息处理装置外部的检查装置获得的检查结果的信息。
20.一种处理曝光装置的信息的信息处理方法，所述曝光装置对基板上的多个压射区域中的每一个执行曝光处理，所述方法包括：
21.一种存储程序的非暂态计算机可读存储介质，所述程序用于使计算机执行根据权利要求20所述的信息处理方法。
22.一种对基板上的多个曝光区域中的每一个执行曝光处理的曝光装置，所述曝光装置包括：
23.一种对基板上的多个压射区域中的每一个执行曝光处理的曝光方法，所述方法包括：
24.一种物品制造方法，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种信息处理装置，所述信息处理装置包括生成器，所述生成器被配置为生成用于使显示单元将以下中的任一个作为显示信息显示的图像信息：
2.根据权利要求1所述的信息处理装置，其中，
3.根据权利要求1所述的信息处理装置，其中，
4.根据权利要求1所述的信息处理装置，其中，
5.根据权利要求1所述的信息处理装置，其中，所述生成器被配置为生成用于使所述显示单元对于基板上的压射区域的各个位置显示表示所述显示信息的分布的图像信息。
6.根据权利要求1所述的信息处理装置，其中，所述生成器被配置为生成通过颜色浓度、颜色类型和数值中的至少一个指示所述显示信息以便使得用户能够对于基板上的压射区域的各个位置视觉地识别所述显示信息的图像信息。
7.根据权利要求1所述的信息处理装置，其中，在已对多个基板中的每一个执行曝光处理的情况下，所述生成器被配置为生成用于使所述显示单元对于压射区域的各个位置显示关于所述多个基板的所述显示信息的代表值的图像信息。
8.根据权利要求1所述的信息处理装置，其中，在已对多个基板中的每一个执行曝光处理的情况下，所述生成器被配置为生成用于使所述显示单元对于压射区域的各个位置显示指示关于所述多个基板的所述显示信息的离散度的统计信息的图像信息。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的信息处理装置，还包括被配置为从所述曝光装置获得信息的获得器，
10.根据权利要求1至8中任一项所述的信息处理装置，还包括被配置为从所述曝光装置获得信息的获得器，
11.根据权利要求1至8中任一项所述的信息处理装置，其中，所述生成器被配置为生成用于使所述显示单元在将所述显示信息划分成多个方向分量时显示所述显示信息的图像信息。
12.根据权利要求1至8中任一项所述的信息处理装置，其中，所述生成器被配置为生成用于使所述显示单元对于压射区域的各个位置显示所述显示信息以便使得用户能够选择是否要对于压射区域的各个位置应用用于减小所述差异的校正...
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