【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光刻，特别涉及一种散热装置及光刻机。
技术介绍
1、众所周知，在光刻机的工作过程中，需要通过运动系统带动掩膜版进行运动，从而通过掩膜版的运动路径达到激光对光敏胶的成型蚀刻效果。运动系统在工作的过程中，将会产生较大的热耗。目前，主要通过对运动系统进行吹风来散去其积聚的热量，然而，这样的散热方式具有效率低下的问题。
技术实现思路
1、本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提出一种散热装置，能够高效地进行散热作业。
2、本专利技术还提出一种具有上述散热装置的光刻机。
3、根据本专利技术的第一方面实施例的散热装置，包括：支撑座、水冷机构、风冷机构和换热盘，所述支撑座设置有支撑面；水冷机构设置于所述支撑座，所述水冷机构包括蓄水仓和第一循环管组，所述第一循环管组延伸至所述支撑面处并能够对所述支撑面进行降温；风冷机构设置于所述支撑座，所述水冷机构包括鼓风机和第二循环管组，所述第二循环管组延伸至所述支撑面处并能够对所述支撑面进行降温；换热盘设置于所述支撑面处，所述第一循环管组和所述第二循环管组均与所述换热盘连接；所述换热盘能够带动所述第一循环管组和所述第二循环管组所传递而来的冷媒流体相对于所述支撑面进行涡旋流动。
4、根据本专利技术实施例的散热装置，至少具有如下有益效果：支撑座可以通过支撑面对运动系统进行支撑。需要对运动系统进行散热时，水冷机构和风冷机构可以一并启动，并分别通过第一循环管组和第二循环管组对换热盘输送冷媒
5、第一循环管组和第二循环管组传递至换热盘处的冷媒流体，均会在换热盘上进行涡旋流动。涡旋流动的冷媒流体不仅使得冷媒流体和换热盘之间的接触面积大幅增加，并且也可以有效地提升换热盘处热量的流动速度，因此可以极大程度地提升散热效率，并确保运动系统处的热量可以得到及时地排出。
6、根据本专利技术的一些实施例，所述水冷机构包括设置于所述支撑座内的第一换热器，所述蓄水仓、所述第一换热器和所述换热盘依次通过所述第一循环管组连接。
7、根据本专利技术的一些实施例，所述风冷机构包括设置于所述支撑座内的风道，所述风道具有连通至所述支撑座外的通风口，所述第一换热器的至少部分位于所述风道内。
8、根据本专利技术的一些实施例，所述风冷机构包括压缩机和第二换热器，所述鼓风机、所述压缩机、所述第二换热器和所述换热盘依次通过所述第二循环管组连接。
9、根据本专利技术的一些实施例，所述支撑座内设置有风道，所述风道具有延伸至所述支撑座之外的通风口，所述支撑面处设置有与所述风道连通的出风口；所述换热盘位于所述风道的一端，所述第二循环管组分别连接至所述风道的两端。
10、根据本专利技术的一些实施例，所述换热盘上设置有风扇，所述风扇能够带动所述风道内的气流穿过所述水冷机构及所述换热盘并朝向所述支撑面流动。
11、根据本专利技术的一些实施例，所述换热盘设置有涡旋流道，所述风扇位于所述涡旋流道的中心；所述水冷机构和所述换热盘分别覆盖于所述涡旋流道的两侧并使得所述风道内的风流能且仅能沿所述涡旋流道的涡旋方向流动。
12、根据本专利技术的一些实施例，所述换热盘设置有水冷管，所述水冷管相对于所述换热盘往复卷曲，所述水冷管与所述第一循环管组连接并使得所述第一循环管组内的冷媒流体能够通过所述水冷管涡旋流动于所述换热盘处。
13、根据本专利技术的一些实施例，所述换热盘设置有多个导热垫，所述导热垫与所述支撑面接触并将所述换热盘和所述支撑面之间隔出间距。
14、根据本专利技术第二方面实施例的光刻机，包括根据本专利技术上述第一方面实施例的散热装置。
15、根据本专利技术实施例的光刻机，至少具有如下有益效果：支撑座可以通过支撑面对运动系统进行支撑。需要对运动系统进行散热时，水冷机构和风冷机构可以一并启动，并分别通过第一循环管组和第二循环管组对换热盘输送冷媒流体。换热盘可以通过冷媒流体对支撑面进行降温，从而可以快速散去与支撑面接触的运动系统的热量。
16、第一循环管组和第二循环管组传递至换热盘处的冷媒流体，均会在换热盘上进行涡旋流动。涡旋流动的冷媒流体不仅使得冷媒流体和换热盘之间的接触面积大幅增加，并且也可以有效地提升换热盘处热量的流动速度，因此可以极大程度地提升散热效率，并确保运动系统处的热量可以得到及时地排出。
17、本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。
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1.一种散热装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的散热装置，其特征在于：
3.如权利要求2所述的散热装置，其特征在于：
4.如权利要求1所述的散热装置，其特征在于：
5.如权利要求4所述的散热装置，其特征在于：
6.如权利要求5所述的散热装置，其特征在于：
7.如权利要求6所述的散热装置，其特征在于：
8.如权利要求1所述的散热装置，其特征在于：
9.如权利要求1所述的散热装置，其特征在于：
10.一种光刻机，其特征在于，包括权利要求1至9任一项所述的散热装置。
【技术特征摘要】
1.一种散热装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的散热装置，其特征在于：
3.如权利要求2所述的散热装置，其特征在于：
4.如权利要求1所述的散热装置，其特征在于：
5.如权利要求4所述的散热装置，其特征在于：
6.如权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：零萍，陈锡媛，陈超，徐照，涂先勤，
申请(专利权)人：中山新诺科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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