【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光刻，特别涉及一种散热装置及光刻机。
技术介绍
1、众所周知，在光刻机的工作过程中，需要通过运动系统带动掩膜版进行运动，从而通过掩膜版的运动路径达到激光对光敏胶的成型蚀刻效果。运动系统在工作的过程中，将会产生较大的热耗。目前，主要通过对运动系统进行吹风来散去其积聚的热量，然而，这样的散热方式具有效率低下的问题。
技术实现思路
1、本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提出一种散热装置，能够高效地进行散热作业。
2、本专利技术还提出一种具有上述散热装置的光刻机。
3、根据本专利技术的第一方面实施例的散热装置，包括：支撑座、水冷机构、风冷机构和换热盘，所述支撑座设置有支撑面；水冷机构设置于所述支撑座，所述水冷机构包括蓄水仓和第一循环管组，所述第一循环管组延伸至所述支撑面处并能够对所述支撑面进行降温；风冷机构设置于所述支撑座，所述水冷机构包括鼓风机和第二循环管组，所述第二循环管组延伸至所述支撑面处并能够对所述支撑面进行降温；换热...
【技术保护点】
1.一种散热装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的散热装置，其特征在于：
3.如权利要求2所述的散热装置，其特征在于：
4.如权利要求1所述的散热装置，其特征在于：
5.如权利要求4所述的散热装置，其特征在于：
6.如权利要求5所述的散热装置，其特征在于：
7.如权利要求6所述的散热装置，其特征在于：
8.如权利要求1所述的散热装置，其特征在于：
9.如权利要求1所述的散热装置，其特征在于：
10.一种光刻机，其特征在于，包括权利要求1至9任一项所述的散热装置。
【技术特征摘要】
1.一种散热装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的散热装置，其特征在于：
3.如权利要求2所述的散热装置，其特征在于：
4.如权利要求1所述的散热装置，其特征在于：
5.如权利要求4所述的散热装置，其特征在于：
6.如权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：零萍，陈锡媛，陈超，徐照，涂先勤，
申请(专利权)人：中山新诺科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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