下载散热装置及光刻机的技术资料

文档序号:40103387

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本发明公开了一种散热装置,其包括:支撑座、水冷机构、风冷机构和换热盘,所述支撑座设置有支撑面;所述水冷机构包括蓄水仓和第一循环管组,所述第一循环管组延伸至所述支撑面处并能够对所述支撑面进行降温,所述水冷机构包括鼓风机和第二循环管组,所述第二...
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