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本实用新型涉及一种无掩膜光刻机控制系统，包括：电源主控电路、工控机、IO控制板、服务器电源控制电路及第一服务器；电源主控电路分别与供电电源及工控机连接，用于控制工控机启动或关机；工控机与IO控制板通信连接，IO控制板与第一服务器连接，工控机...
该专利属于中山新诺科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中山新诺科技股份有限公司授权不得商用。

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