光刻机的操作台制造技术

提供了一种用于光刻机的操作台，其包括可取下地集成入所述光刻机中的操作台框架，其中所述操作台的组件设在所述操作台框架之中。所述操作台包括对外接口单元，所述对外接口单元供所述操作台所含有之组件与所述光刻机进行连通。本实用新型专利技术的操作台采用模块化设计，在一体式设计的基础上结合分离式设计的优点，在保证操作台高集成度的同时，提高了其装拆、维护、接线的灵活性，降低了操作台在维护中对整个光刻机的影响。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光刻领域，尤其涉及光刻机的操作台。
技术介绍
目前，在光刻机制造领域，操作台的机械设计存在以下两种方式分离式设计和一 体式设计。如图1所示，分离式设计将操作台与光刻机整机脱离，并将操作台独立。图1所示 的光刻机包括显示屏a;按钮界面b;UPS c ；鼠标、键盘d;工作站。而操作台包括显示屏f; 按钮界面g;鼠标、键盘h;UPS i ；工作站j。该方式的优点在于操作台移动灵活，设计独立， 与整机的耦合因素较少。操作台通过线缆与整机连接。该方式的缺点在于操作台的集成度 不高，需要独立的空间来放置，导致整个光刻机对空间的要求变大。一体式设计将操作台与光刻机结合在一起，操作台作为整机面板的一部分。该方 式的优点在于操作台集成度提高，不需要额外的放置空间，降低了光刻机对空间的要求。其 缺点在于装拆、维护、接线不够方便，在进行操作台维护时影响整个光刻机的运行。用于整机的维护接口及操作按钮暴露在外表面上。该设计方式的优点在于操作方 便。缺点在于容易引起误操作，由于维护接口和操作按钮风格、形状不统一，会影响整机的 美观度。此外，在光刻机中，有多个视频源需要输出。视频源的类型有两种一种为本文档来自技高网...

【技术保护点】
１．一种用于光刻机的操作台，其特征在于，包括可取下地集成入所述光刻机中的操作台框架，其中所述操作台的组件设在所述操作台框架之中；所述操作台包括对外接口单元，所述对外接口单元供所述操作台所含有之组件与所述光刻机进行连通。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：叶焱磊，霍志军，陈建民，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31