温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

提供了一种用于光刻机的操作台，其包括可取下地集成入所述光刻机中的操作台框架，其中所述操作台的组件设在所述操作台框架之中。所述操作台包括对外接口单元，所述对外接口单元供所述操作台所含有之组件与所述光刻机进行连通。本实用新型的操作台采用模块化设...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。