The utility model provides a mixed-band scanning light source system for an exposure machine, which comprises a light source that can be slipped with an exposure table. The light source includes a number of ultraviolet LED lamp sets arranged by arrays. The ultraviolet LED lamp sets include a lamp bead A, a lamp bead B, a lamp bead C and a lamp bead D. The wavelength of the lamp bead A, a lamp bead B, a lamp bead C and a lamp bead D are different, and the purple is the same. The outer LED lamp group is arranged by ABCD in the first row, BCDA in the second row, CDAB in the third row, DABC in the fourth row, and each row is arranged in its own way. The outer LED lamp group is arranged by ABCD in the first row, and each row is arranged by DABC in its own way. The outer LED lamp group is composed of any lamp beads with the same number of beads A, B, C and D in its circumferential distribution. The proportion of light source is basically the same, so that the light source of different bands can produce the most uniform light source when moving, so that the exposure requirements of different bands of the same light source can be realized.
【技术实现步骤摘要】
一种用于曝光机的混合波段扫描光源系统
本技术涉及光学领域,具体涉及一种用于曝光机的混合波段扫描光源系统。
技术介绍
紫外光线的光出射角度的平行度与曝光均匀度是紫外曝光机的两个重要技术指标。已有的紫外曝光机因其用途不同,或者是曝光分辨率高而其结构复杂,光能效利用率低,能耗高及使用维护成本高使得其在倡导节能环保的今日,日益成为亟须替代或改良的设备。由于光学曝光照明系统辐照度不均匀,导致线条粗细不均匀,整块板上的分辨率不一致,生整块板上的分辨率不一致等曝光不良现象出现.这在PCB或液晶显示器的生产过程中是不允许的。传统的曝光机的光学曝光照明光源多采用金属卤化物(如溴化汞)作为受激电离发光材料,属于高强度气体放电灯,内部均含有高压、高温和有毒物质,高压汞灯从长波紫外到可见光都有很强的辐射,但只有一部分UVA-UVB段的光波长是可作用于紫外曝光用途的,其他光波长波段的辐射均会以光能及辐射能的方式散发至空间其他物体上,造成环境温度升高;高压汞灯的发光角度为360度,需要相当大面积的反射罩及较远的距离来进行光束整形以满足应用需求,但会使得曝光系统的光强度损失50-70%。综上所述,传统的曝光机的光学曝光照明系统存在光效能低下,且能耗高,所使用材料不利于环保等缺点。而本技术中的光学曝光照明系统所具备的特征是:使用LED作为发光体,辅以准直透镜及矩阵排布器实现发光光波长单一,光能量利用率高,可达到95%以上,所组成的使用材料为玻璃,GaN类半导体,铜铝合金等金属;具有对环境友好,减少电力消耗,节约能源等优点。而现有的光源大多采用单一波长的LED组成,而不同的PCB板的曝光对 ...
【技术保护点】
1.一种用于曝光机的混合波段扫描光源系统,其特征在于:其包括可与曝光台面构成滑移配合的光源,所述光源包括若干阵列设置的紫外LED灯组,其中紫外LED灯组包括灯珠A、灯珠B、灯珠C以及灯珠D,所述灯珠A、灯珠B、灯珠C以及灯珠D的波长均不相同,且所述紫外LED灯组以首行ABCD排列,第二行以BCDA排列,第三行以CDAB排列,第四行以DABC排列,每行以各自的排列方式循环设置,其构成以任意一灯珠为中心,其周向分布数量一致的灯珠A、灯珠B、灯珠C以及灯珠D。
【技术特征摘要】
1.一种用于曝光机的混合波段扫描光源系统,其特征在于:其包括可与曝光台面构成滑移配合的光源,所述光源包括若干阵列设置的紫外LED灯组,其中紫外LED灯组包括灯珠A、灯珠B、灯珠C以及灯珠D,所述灯珠A、灯珠B、灯珠C以及灯珠D的波长均不相同,且所述紫外LED灯组以首行ABCD排列,第二行以BCDA排列,第三行以CDAB排列,第四行以DABC排列,每行以各自的排列方式循环设置,其构成以任意一灯珠为中心,其周向分布数量一致的灯珠A、灯珠B、灯珠C以及灯珠D。2.根据权利要求1所述的一种用于曝光机的混合波段扫描光源系统,其特征在于,相邻两行同一列的灯珠的中心距离等于每行相邻两颗灯珠的中心之间的距离/行数,相邻两颗灯珠之间等距排列。3.根据权利要求1或2所述的一种用于曝光机的混合波段扫描光源系统,其特征在于,多个紫外LED灯组的首行首颗...
【专利技术属性】
技术研发人员:张方德,钟靖,邬惠锋,谢桂平,
申请(专利权)人:浙江欧珑电气有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江,33
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。