【技术实现步骤摘要】
一种预吹洗式晶圆探针台
本专利技术涉及晶圆探针台，特别涉及一种预吹洗式晶圆探针台。
技术介绍
探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及元器件的质量测试。随着科技的发展，元器件的体积越来越小，通常将多个元器件集成于晶圆上以形成待测件，方便后续进行检测。检测方式通常为：用带电的探针来导通待检测元器件的正负极，再根据元器件的工作情况来判断被检测的元器件是否合格。目前，公告号为CN208239572U的中国专利公开了一种带有同轴光源的探针台，包括探针台主体、开设在探针台主体上的放置槽和设置在放置槽槽口处的探针卡放置台，所述探针卡放置台上设有探针卡放置口，所述探针卡放置口处设有用于对探针卡进行限位的限位板，还包括光载板和带有照明灯的灯具，所述光载板可拆卸的连接于探针卡放置台，所述光载板上设有通光孔，所述灯具设置在光载板上，所述灯具的一端穿过通光孔，所述灯具的光源穿过探针板上的孔照射进放置槽内。这种带有同轴光源的探针台在实际使用过程中，工作人员需要将待检测的晶圆运输至探针台主体内，现有技术中，晶圆的运输方式通常是工作人员利用晶圆盒装载晶圆进行运输，而现有技术中的晶圆...
【技术保护点】
1.一种预吹洗式晶圆探针台，包括检测台(1)和设置在检测台(1)一侧的机箱(2)，其特征在于：所述机箱(2)背离检测台(1)的一侧连通有密封的吹洗仓(3)，所述吹洗仓(3)的底部设有滑移轨道(31)，所述滑移轨道(31)朝向机箱(2)的一端转动连接有从动带轮，所述滑移轨道(31)远离机箱(2)的一端转动连接有主动带轮，所述主动带轮和从动带轮之间连接有传送皮带，所述主动带轮连接有驱动电机(32)，所述滑移轨道(31)上滑移连接有支撑板(33)，所述支撑板(33)下方经过螺栓连接于传送皮带，所述支撑板(33)上设有推进气缸(4)，所述推进气缸(4)的伸缩杆朝向机箱(2)，所述吹...
【技术特征摘要】
1.一种预吹洗式晶圆探针台，包括检测台(1)和设置在检测台(1)一侧的机箱(2)，其特征在于：所述机箱(2)背离检测台(1)的一侧连通有密封的吹洗仓(3)，所述吹洗仓(3)的底部设有滑移轨道(31)，所述滑移轨道(31)朝向机箱(2)的一端转动连接有从动带轮，所述滑移轨道(31)远离机箱(2)的一端转动连接有主动带轮，所述主动带轮和从动带轮之间连接有传送皮带，所述主动带轮连接有驱动电机(32)，所述滑移轨道(31)上滑移连接有支撑板(33)，所述支撑板(33)下方经过螺栓连接于传送皮带，所述支撑板(33)上设有推进气缸(4)，所述推进气缸(4)的伸缩杆朝向机箱(2)，所述吹洗仓(3)远离机箱(2)的一端开有放料口(34)，所述放料口(34)上铰接有封闭门(341)，所述吹洗仓(3)远离机箱(2)的腔室内设有喷淋环组(6)，所述喷淋环组(6)固定连接在吹洗仓(3)内侧壁的顶部，在地面上设有用于存储晶圆清洗气体的高压存储罐(7)，所述高压存储罐(7)与喷淋环组(6)之间连通有输送管道(71)，所述输送管道(71)上连接有启闭阀。2.根据权利要求1所述的一种预吹洗式晶圆探针台，其特征在于：所述喷淋环组(6)包括沿着吹洗仓(3)长度方向依次设置的第一喷淋环管(61)、第二喷淋环管(62)和第三喷淋环管(63)，所述高压存储罐(7)设置有三个，三个高压存储罐(7)内分别储存有固体二氧化碳气胶微粒气体、Ar固体气胶微粒气体和甲醇液滴气胶微粒气体。3.根据权利要求1所述的一种预吹洗式晶圆探针台，其特征在于：所述吹洗仓(3)位于喷淋环组(6)和机箱(2)之间的腔室设有换热管(8)，所述换热管(8)沿着吹洗仓(3)的长度方向设置有...
【专利技术属性】
技术研发人员：季建松，
申请(专利权)人：江阴佳泰电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32
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