【技术实现步骤摘要】
本申请涉及探针测试机领域，尤其是涉及一种用于晶圆级可靠性测试的探针安装结构。
技术介绍
1、随着半导体行业的发展，晶圆级可靠性测试变得越来越重要。探针作为测试中的重要组件，其安装结构的稳定性和精确性直接影响到测试结果的准确性。
2、目前，常见的探针安装结构多采用夹持或粘接的方式，这种方式虽简单易行，但在长时间测试或复杂环境下，容易出现探针松动、偏移等问题，存在明显不足。
技术实现思路
1、为了提高探针安装的稳固性，本申请提供一种用于晶圆级可靠性测试的探针安装结构。
2、本申请提供的一种用于晶圆级可靠性测试的探针安装结构采用如下的技术方案：
3、一种用于晶圆级可靠性测试的探针安装结构，包括安装架和布置在安装架上的束针组件，所述束针组件包括两个关于安装架竖直中心线对称分布的卷线部，探针同轴于安装架的竖直中心线；所述卷线部包括转块和绞线臂，所述转块背向探针的一侧向靠近探针的方向开有安装盲槽，所述安装盲槽内放置有安装片，所述安装片上布置有转动穿过安装架且连接于绞...
【技术保护点】
1.一种用于晶圆级可靠性测试的探针安装结构，其特征在于：包括安装架(2)和布置在安装架(2)上的束针组件，所述束针组件包括两个关于安装架(2)竖直中心线对称分布的卷线部，探针(1)同轴于安装架(2)的竖直中心线；
2.根据权利要求1所述的用于晶圆级可靠性测试的探针安装结构，其特征在于：所述卷线部在支撑架上沿着从上往下的方向两两布置有多组，所述转块(31)上通过键槽和平键滑动套设有联动齿轮(13)，位于探针(1)同一侧竖向相邻两个转块(31)上的联动齿轮(13)啮合。
3.根据权利要求1所述的用于晶圆级可靠性测试的探针安装结构，其特征在于：所述安...
【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆级可靠性测试的探针安装结构，其特征在于：包括安装架(2)和布置在安装架(2)上的束针组件，所述束针组件包括两个关于安装架(2)竖直中心线对称分布的卷线部，探针(1)同轴于安装架(2)的竖直中心线；
2.根据权利要求1所述的用于晶圆级可靠性测试的探针安装结构，其特征在于：所述卷线部在支撑架上沿着从上往下的方向两两布置有多组，所述转块(31)上通过键槽和平键滑动套设有联动齿轮(13)，位于探针(1)同一侧竖向相邻两个转块(31)上的联动齿轮(13)啮合。
3.根据权利要求1所述的用于晶圆级可靠性测试的探针安装结构，其特征在于：所述安装盲槽(310)内相对安装片(33)朝向探针(1)的一侧布置有弹性弧片(14)，所述弹性弧片(14)的两端均抵触安装盲槽(310)的封闭端，所述转杆(34)滑动且转动穿过弹性弧片(14)。
4.根据权利要求1所述的用于晶圆级可靠性测试的探针安装结构，其特征在于：所述限位...
【专利技术属性】
技术研发人员：季建松，
申请(专利权)人：江阴佳泰电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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