下载用于晶圆级可靠性测试的探针安装结构的技术资料

文档序号:43299912

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本申请涉及探针测试机领域,尤其是涉及一种用于晶圆级可靠性测试的探针安装结构,包括安装架和布置在安装架上的束针组件,束针组件包括两个关于安装架竖直中心线对称分布的卷线部,探针同轴于安装架的竖直中心线;卷线部包括转块和绞线臂,转块背向探针的一侧...
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