下载一种预吹洗式晶圆探针台的技术资料

文档序号:20902602

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本发明涉及晶圆探针台,公开了一种预吹洗式晶圆探针台,其技术方案要点是包括检测台和设置在检测台一侧的机箱,机箱背离检测台的一侧连通有密封的吹洗仓,吹洗仓的底部设有滑移轨道,滑移轨道的一端转动连接有从动带轮,一端转动连接有主动带轮,主动带轮和从...
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