一种便于检修的独立式晶圆捡选机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种便于检修的独立式晶圆捡选机，包括传送带支架、捡选机主体、装料桶车以及传送带支架下侧的支撑机构，所述传送带支架侧面设置有防护机构，所述防护机构包括捡选口、挡板、凹槽、弹簧、托盘、海绵软体、魔术贴A面、魔术贴B面和海绵保护条，所述传送带支架安装固定在捡选机主体的侧面；该实用新型专利技术设置有防护机构，防止晶圆在捡选的过程中被碰坏，降低晶圆生产成本，且海绵保护条通过魔术贴A面与魔术贴B面粘合固定在挡板侧面，方便用户安装固定和拆卸更换，保证海绵保护条的防护功能，并提高用户的工作效率，海绵软体通过固定块和卡槽固定，方便海绵软体拆卸更换和检修，增加海绵软体的持续防护效果。

An Independent Wafer Selector for Easy Maintenance

The utility model discloses an independent wafer picker which is convenient for maintenance, including a conveyor belt bracket, the main body of the picker, a loading barrel truck and a supporting mechanism on the lower side of the conveyor belt bracket. The side of the conveyor belt bracket is provided with a protective mechanism. The protective mechanism comprises a pick-up port, a baffle, a groove, a spring, a tray, sponge software, a magic veneer, a magic veneer B surface and a sponge. The conveyor belt bracket is installed and fixed on the side of the main body of the sorter; the utility model is provided with a protective mechanism to prevent the wafer from being damaged in the process of sorting, reduce the production cost of the wafer, and the sponge protective strip is fixed on the side of the baffle through the adhesion of the magic veneer A and the magic veneer B, so as to facilitate the installation, fixation, disassembly and replacement of the user, and ensure the protective function of the sponge protective strip. It also improves the working efficiency of users. The sponge software is fixed by fixing block and chute, which facilitates the disassembly, replacement and maintenance of the sponge software, and increases the continuous protection effect of the sponge software.

【技术实现步骤摘要】
一种便于检修的独立式晶圆捡选机
本技术属于晶圆捡选机
，具体涉及一种便于检修的独立式晶圆捡选机。
技术介绍
晶圆便是硅元素加以纯化（99.999%），接着是将这些纯硅制成硅晶棒，成为制造集成电路的石英半导体的材料，经过照相制版，研磨，抛光，切片等程序，将多晶硅融解拉出单晶硅晶棒，然后切割成一片一片薄薄的不同尺寸的晶圆，如8英寸晶圆、12英寸晶圆等，晶圆捡选机是将随机的、不同尺寸的晶圆，按其要求进行分类（按产品类别或产品目的地不同分）的一种物料搬运设备。现有的晶圆捡选机在使用过程中，晶圆在捡选出口容易被碰伤，导致晶圆损坏，并浪费晶圆材料，或者晶圆使用人工捡选，浪费人力和财力，增加晶圆成本且捡选完成的晶圆运输不方便的问题，为此我们提出一种便于检修的独立式晶圆捡选机。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种便于检修的独立式晶圆捡选机，以解决上述
技术介绍
中提出现有的晶圆捡选机在使用过程中，晶圆在捡选出口容易被碰伤，导致晶圆损坏，并浪费晶圆材料，或者晶圆使用人工捡选，浪费人力和财力，增加晶圆成本且捡选完成的晶圆运输不方便的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种便于检修的独立式晶圆捡选机，包括传送带支架、捡选机主体、装料桶车以及传送带支架下侧的支撑机构，所述传送带支架侧面设置有防护机构，所述防护机构包括捡选口、挡板、凹槽、弹簧、托盘、海绵软体、魔术贴A面、魔术贴B面和海绵保护条，所述传送带支架安装固定在捡选机主体的侧面，所述装料桶车安装放置在传送带支架的一侧，所述装料桶车的侧面设置有把手，所述捡选口开设在传送带支架的侧面，所述挡板对称安装固定在捡选口的两侧，所述凹槽开设在装料桶车的内表面，所述弹簧的底端放置在凹槽的内部，所述托盘安装固定在弹簧的顶端并放置在装料桶车的内部，所述魔术贴A面安装固定在挡板的表面，所述魔术贴B面安装固定在魔术贴A面的侧面，所述海绵保护条安装固定在魔术贴B面的侧面，所述海绵保护条通过魔术贴A面与魔术贴B面粘合固定在挡板的侧面，所述传送带支架的上侧设置有固定机构。优选的，所述固定机构包括装料容器、观测口、固定凸起、和固定槽，所述装料容器安装固定在传送带支架的上侧，所述观测口对称开设在装料容器两侧，所述固定凸起对称固定在装料容器的下表面并放置在固定槽的内部，所述固定槽开设在传送带支架的上表面。优选的，所述支撑机构包括底板和支撑腿，所述底板安装固定在传送带支架的下表面，所述支撑腿安装固定在底板的下表面四角位置处，所述支撑腿的底端套设有防滑垫。优选的，所述传送带支架的一侧设置有传送带，所述传送带的一端连接一个传送带支架侧面另一端连接另一个传送带支架侧面，所述传送带的内部设置有转轴。优选的，所述装料桶车内表面设置有卡槽，所述海绵软体两侧对称设置有固定块，所述卡槽与固定块相匹配卡合，所述装料桶车的一面设置有把手另一面开设有开口。与现有技术相比，本技术的有益效果是：（1）该技术设置有防护机构，防止晶圆在捡选的过程中被碰坏，降低晶圆生产成本，且海绵保护条通过魔术贴A面与魔术贴B面粘合固定在挡板侧面，方便用户安装固定和拆卸更换，保证海绵保护条的防护功能，并提高用户的工作效率，海绵软体通过固定块和卡槽固定，方便海绵软体拆卸更换和检修，增加海绵软体的持续防护效果。（2）装料容器下表面的固定凸起与固定槽卡合固定，方便装料容器安装和拆卸，且装料容器设置有观测口，方便观测晶圆下降速度和方便用户把晶圆放置在装料容器内部，装料桶车内部设置有弹簧，使托盘慢慢的向下移动，防止晶圆损坏，且装料桶车侧面设置有开口，方便用户卸载装料桶车内部的晶圆，降低用户的劳动量。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为本技术的装料桶车侧视剖面结构示意图；图3为本技术的装料桶车俯视结构示意图；图4为本技术的挡板局部侧视结构示意图；图5为本技术的传送带支架局部侧视剖面结构示意图；图中：1、装料容器；2、观测口；3、传送带支架；4、底板；5、支撑腿；6、捡选机主体；7、捡选口；8、挡板；9、装料桶车；10、凹槽；11、弹簧；12、托盘；13、卡槽；14、固定块；15、海绵软体；16、魔术贴A面；17、魔术贴B面；18、海绵保护条；19、固定凸起；20、固定槽；21、传送带。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。实施例1请参阅图1、图2、图3、图4和图5，本技术提供一种技术方案：一种便于检修的独立式晶圆捡选机，包括传送带支架3、捡选机主体6、装料桶车9以及传送带支架3下侧的支撑机构，传送带支架3侧面设置有防护机构，防护机构包括捡选口7、挡板8、凹槽10、弹簧11、托盘12、海绵软体15、魔术贴A面16、魔术贴B面17和海绵保护条18，传送带支架3安装固定在捡选机主体6的侧面，装料桶车9安装放置在传送带支架3的一侧，装料桶车9的侧面设置有把手，捡选口7开设在传送带支架3的侧面，传送带支架3设置有三个不同尺寸的捡选口7，挡板8对称安装固定在捡选口7的两侧，凹槽10开设在装料桶车9的内表面，弹簧11的底端放置在凹槽10的内部，托盘12安装固定在弹簧11的顶端并放置在装料桶车9的内部，魔术贴A面16安装固定在挡板8的表面，魔术贴A面16侧面与挡板8的表面通过胶粘固定连接，魔术贴B面17安装固定在魔术贴A面16的侧面，海绵保护条18安装固定在魔术贴B面17的侧面，魔术贴B面17的侧面与海绵保护条18的侧面通过胶粘固定连接，海绵保护条18通过魔术贴A面16与魔术贴B面17粘合固定在挡板8的侧面，传送带支架3的上侧设置有固定机构。为了方便装料容器1固定在传送带支架3上侧，本实施例中，优选的，固定机构包括装料容器1、观测口2、固定凸起19、和固定槽20，装料容器1安装固定在传送带支架3的上侧，观测口2对称开设在装料容器1两侧，固定凸起19对称固定在装料容器1的下表面并放置在固定槽20的内部，固定槽20开设在传送带支架3的上表面。为了方便底板4支撑传送带支架3，本实施例中，优选的，支撑机构包括底板4和支撑腿5，底板4安装固定在传送带支架3的下表面，支撑腿5安装固定在底板4的下表面四角位置处，支撑腿5的底端套设有防滑垫，支撑腿5顶端与底板4的下表面通过螺栓固定连接。为了方便传送带支架3与传送带21连接，本实施例中，优选的，传送带支架3的一侧设置有传送带21，传送带21的一端连接一个传送带支架3侧面另一端连接另一个传送带支架3侧面，传送带21的内部设置有转轴。为了海绵软体15固定在装料桶车9内表面，本实施例中，优选的，装料桶车9内表面设置有卡槽13，海绵软体15两侧对称设置有固定块14，卡槽13与固定块14相匹配卡合，装料桶车9的一面设置有把手另一面开设有开口。实施例2请参阅图1、图2、图3、图4和图5，本技术提供一种技术方案：一种便于检修的独立式晶圆捡选机，包括传送带支架3、捡选机主体6、装料桶车9以及传送带支架3下侧的支撑机构，传送带支架3侧本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种便于检修的独立式晶圆捡选机，包括传送带支架（3）、捡选机主体（6）、装料桶车（9）以及传送带支架（3）下侧的支撑机构，其特征在于：所述传送带支架（3）侧面设置有防护机构，所述防护机构包括捡选口（7）、挡板（8）、凹槽（10）、弹簧（11）、托盘（12）、海绵软体（15）、魔术贴A面（16）、魔术贴B面（17）和海绵保护条（18），所述传送带支架（3）安装固定在捡选机主体（6）的侧面，所述装料桶车（9）安装放置在传送带支架（3）的一侧，所述装料桶车（9）的侧面设置有把手，所述捡选口（7）开设在传送带支架（3）的侧面，所述挡板（8）对称安装固定在捡选口（7）的两侧，所述凹槽（10）开设在装料桶车（9）的内表面，所述弹簧（11）的底端放置在凹槽（10）的内部，所述托盘（12）安装固定在弹簧（11）的顶端并放置在装料桶车（9）的内部，所述魔术贴A面（16）安装固定在挡板（8）的表面，所述魔术贴B面（17）安装固定在魔术贴A面（16）的侧面，所述海绵保护条（18）安装固定在魔术贴B面（17）的侧面，所述海绵保护条（18）通过魔术贴A面（16）与魔术贴B面（17）粘合固定在挡板（8）的侧面，所述传送带支架（3）的上侧设置有固定机构。...

【技术特征摘要】
1.一种便于检修的独立式晶圆捡选机，包括传送带支架（3）、捡选机主体（6）、装料桶车（9）以及传送带支架（3）下侧的支撑机构，其特征在于：所述传送带支架（3）侧面设置有防护机构，所述防护机构包括捡选口（7）、挡板（8）、凹槽（10）、弹簧（11）、托盘（12）、海绵软体（15）、魔术贴A面（16）、魔术贴B面（17）和海绵保护条（18），所述传送带支架（3）安装固定在捡选机主体（6）的侧面，所述装料桶车（9）安装放置在传送带支架（3）的一侧，所述装料桶车（9）的侧面设置有把手，所述捡选口（7）开设在传送带支架（3）的侧面，所述挡板（8）对称安装固定在捡选口（7）的两侧，所述凹槽（10）开设在装料桶车（9）的内表面，所述弹簧（11）的底端放置在凹槽（10）的内部，所述托盘（12）安装固定在弹簧（11）的顶端并放置在装料桶车（9）的内部，所述魔术贴A面（16）安装固定在挡板（8）的表面，所述魔术贴B面（17）安装固定在魔术贴A面（16）的侧面，所述海绵保护条（18）安装固定在魔术贴B面（17）的侧面，所述海绵保护条（18）通过魔术贴A面（16）与魔术贴B面（17）粘合固定在挡板（8）的侧面，所述传送带支架（3）的上侧设置有固定机构。2.根据权利要求1所述的一种便于检修的独立式...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪文坚，李锋，王丽，刘少丽，
申请(专利权)人：江苏纳沛斯半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32