一种新型连续蒸发镀膜生产线制造技术

本发明专利技术公开了一种新型连续蒸发镀膜生产线，包括移动公转托盘(1)、垂直插板阀Ⅰ(2)、进片真空腔(3)、垂直插板阀Ⅱ(4)、镀膜真空腔(5)、垂直插板阀Ⅲ(6)、出片真空腔(7)和垂直插板阀(8)依次组成，所述由人工周转或流水线周转实现移动公转托盘(1)的依次连续进出镀膜生产；本发明专利技术设计的镀膜真空腔优化解决了加热预处理、真空等离子清洁等工艺可以根据生产产品工艺需要进行任意组合安装，便利多种产品生产工艺；同时，由于进片真空腔和出片真空腔与镀膜真空腔隔离，可以对进片腔体和出片腔体进行独立的优化，而且还实现了镀膜的全自动化生产，减少了人员的参与状态，提高了产品的成品率。

A New Continuous Evaporative Coating Production Line

The invention discloses a new continuous evaporative film plating production line, which comprises a movable rotary pallet (1), a vertical plug valve I (2), an inlet vacuum chamber (3), a vertical plug valve II (4), a film plating vacuum chamber (5), a vertical plug valve III (6), an outlet vacuum chamber (7) and a vertical plug valve (8) in turn, and the movable rotary pallet (1) is successively entered and exited by manual turnover or pipeline turnover. Membrane production; The design of the coating vacuum chamber solves the problems of heating pretreatment, vacuum plasma cleaning and other processes, which can be assembled arbitrarily according to the needs of the production process to facilitate the production process of various products; At the same time, because the vacuum chamber in and out of the sheet is separated from the coating vacuum chamber, the inlet and outlet chambers can be optimized independently, and at the same time, the inlet and outlet chambers can be optimized independently. The automatic production of coating is realized, the participation of personnel is reduced, and the yield of product is improved.

【技术实现步骤摘要】
一种新型连续蒸发镀膜生产线
本专利技术涉及蒸发镀膜生产线
，具体为一种新型连续蒸发镀膜生产线。
技术介绍
装饰镀膜、光电功能膜和光学镀膜在日常消费领域，如家电、手机、智能家居和车载显示的广泛应用，尤其是电子束蒸发镀膜推动了装饰镀膜、光电功能膜和光学彩色膜广泛的在这些领域使用了。其中以深圳维达力、伯恩光学、信利半导体、蓝思科技和欧菲光学等国内大厂在手机领域的推动更加带动了这些产业的快速发展。目前装饰镀膜、光电功能膜和光学镀膜镀膜行业普遍存在采用单体蒸发镀膜机镀膜的问题。对于这样一个广泛的应用领域，单体机蒸发镀膜机有以下几个目前生产存在的问题：1、首先单体镀膜机的产能有限，就以简单的彩色膜镀膜为例，单体镀膜机的上下片时间为15-20分钟，镀膜时间为15-30分钟，整个一炉货的时间为30-50分钟，每天的产能也就只能做到6-10炉，非常有限；2、其次单体蒸发镀膜机的镀膜工艺的独立性很强，每台设备由于制作的工艺和调试人员的调试方法不一样，每台设备的镀膜工艺是不一样的；因此完成同样性能的产品，每台设备的操作方法和生产工艺由很大的差异，也造成镀膜的控制和生产成本上升；3、再者，由于单体蒸发镀膜机每一炉的生产都需要进行独立的进出镀膜真空腔体，将镀膜真空腔体暴露在大气和粉尘环境之下，造成了镀膜车间对环境的要求很高；尤其是比较高端的装饰镀膜和光学镀膜，在进出装片位置需要在百级无尘环境环境中进行。4、还有，在真空中对基片的前处理是非常重要的，但是在单体镀膜机上完成需要占用很宝贵的节拍时间，无法形成批量生产的优势。5、另外，在全自动化生产方面，也是由于产品的精度和要求非常高，需要尽量提高自动化程度，尽量减少人员对基片的干涉和污染。单体镀膜机的手动上片模式，无法避免人操作对基片的重新污染，也无法避免人为出现操作差异造成的质量不可控；
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种新型连续蒸发镀膜生产线，它能有效的解决
技术介绍
中存在的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种新型连续蒸发镀膜生产线，包括移动公转托盘(1)、垂直插板阀Ⅰ(2)、进片真空腔(3)、垂直插板阀Ⅱ(4)、镀膜真空腔(5)、垂直插板阀Ⅲ(6)、出片真空腔(7)和垂直插板阀(8)依次组成，所述由人工周转或流水线周转实现移动公转托盘(1)的依次连续进出镀膜生产；所述的移动公转托盘(1)，由安装板(1-1)、大齿轮盘(1-2)、挂载盘(1-3)、挂杆(1-4)、绝缘座(1-5)、导杆(1-6)、限位轮(1-7)和支撑轮(1-8)组成；所述导杆(1-6)通过绝缘座(1-5)紧固于安装板(1-1)上，且通过传送导杆(1-6)与进片真空腔(3)、镀膜真空腔(5)和出片真空腔(7)上的同步传送装置(3-3)、同步传送装置(5-3)配合，依靠摩擦传送；所述大齿轮盘(1-2)通过支撑轮(1-8)支撑于安装板(1-1)上，实现大齿轮盘(1-2)与安装板(1-1)的滚动运行；所述的挂杆(1-4)将与挂载盘(1-3)紧固连接在大齿轮盘(1-2)上，通过与镀膜真空腔(5)上的动力引入装置(5-8)上的单向齿轮(5-8-3)的齿啮合，且大齿轮盘(1-2)、挂杆(1-4)和挂载盘(1-3)的实现公转；所述的垂直插板阀Ⅰ(2)、垂直插板阀Ⅱ(4)、垂直插板阀Ⅲ(6)、垂直插板阀Ⅳ(8)是相同结构，分别安装于进片真空腔(3)和出片真空腔(7)间的隔离，且进片真空腔(3)和出片真空腔(7)与真空镀膜模块(5)之间的隔离；所述垂直插板阀Ⅰ(2)还包括阀腔(2-1)、阀体腔法兰板(2-2)、推动气缸(2-3)、密封板(2-4)、伞形支撑架(2-5)、支撑板(2-6)、限位块(2-7)、维修口(2-8)、移动轮(2-9)、导杆(2-10)和锁紧弹簧(2-11)组成；所述阀门开启时，推动气缸(2-3)收缩将通过浮动接头连接与其轴上的伞形支撑架(2-5)拉起至阀腔法兰板(2-2)侧，由所经弹簧(2-11)将支撑板(2-6)和密封板(2-4)拉紧至最小间距，阀门开启；所述推动气缸(2-3)伸长将伞形支撑架(2-5)推至阀腔(1-1)底部，直到移动轮(2-9)与阀腔(1-1)底部接触，并由气缸继续推动推动气缸(2-3)将伞形支撑架(2-5)加力撑开，支撑板(2-8)与限位块(2-7)接触并停止滑动，将密封板(2-4)向阀腔(2-1)前板内壁推动，直到与阀腔(2-1)内壁通过密封胶条紧密密封，并保持气缸压力，阀门关闭；所述的进片真空腔(3)和出片真空腔(7)结相同，且进片真空腔(3)和出片真空腔(7)分别由腔体支架(3-1)、真空腔体(3-2)、同步传送装置(3-3)、粗抽挡板阀(3-4)、粗抽罗茨泵(3-5)、粗抽机械泵(3-6)、高真空阀(3-7)、高真空泵(3-8)、前级泵(3-9)和前级阀(3-10)组成，所述的进片真空腔(3)和出片真空腔(7)可以将真空腔体(3-2)反复实现从大气状态抽气到工艺真空管度(3*10-4Pa)；所述的同步传送装置(3-3)安装在真空腔体(3-2)内部，所述真空腔体(3-2)底部还安装有高真空阀(3-7)，且高真空阀(3-7)、的另一端安装有高真空泵(3-8)；所述的镀膜真空腔(5)由真空腔支架(5-1)、镀膜真空腔体(5-2)、同步传送装置(5-3)、高真空泵(5-4)、前级阀(5-5)、前级罗茨泵(5-6)、前级机械泵(5-7)、动力引入装置(5-8)、自动加料装置(5-9)、膜厚监控装置(5-10)、辅助加热装置(5-11)、膜厚修正装置(5-12)、离子源辅助沉积装置(5-13)、电子束蒸发装置(5-14)和多穴电阻蒸发装置(5-15)组成；所述的同步传送装置(3-3)安装在镀膜真空腔体(5-2)内，所述同步传送装置(3-3)前端还安装有动力引入装置(5-8)，且同步传送装置(3-3)的底部还安装有膜厚监控装置(5-10)和膜厚修正装置(5-12)。进一步，所述的进片真空腔(3)根据工艺需求设计一个或多个，并且每个进片真空腔(3)之间需要垂直插板阀Ⅰ(2)真空隔离。进一步，所述的动力引入装置(5-8)由电机(5-8-1)、磁流体(5-8-2)和单向齿轮(5-8-3)组成；且电机轴和磁流体轴用绝缘联轴器紧固连接。进一步，所述的同步传送装置(3-3)包括同步轮(3-3-1)、磁流体(3-3-2)、联轴器(3-3-3)、安装座(3-3-4)、和导轮(3-3-5)组成；所述同步传送装置(5-3)包括同步轮(5-3-1)、磁流体(5-3-2)、联轴器(5-3-3)、安装座(5-3-4)、和导轮(5-3-5)组成；所述同步传送装置(3-3)和同步传送装置(5-3)为相同结构；所述同步带同步轮(3-3-1)将动力通过磁流体(3-3-2)、安装在安装座(3-3-4)的上联轴器(3-3-3)导入到导轮(3-3-5)上，用摩擦导向的方式将推入的移动公转托盘(1)送入真空腔体(3-2)中；所述同步带同步轮(5-3-1)将动力通过磁流体(5-3-2)、安装在安装座(5-3-4)的上联轴器(5-3-3)导入到导轮(5-3-5)上，用摩擦导向的方式将推入的的移动公转托盘(1)送入真空腔体(5-2)中。进一步，所述动力引入装置(5-8)，将电机动力通过磁流体(3-3-2)经过磁本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型连续蒸发镀膜生产线，其特征在于：包括移动公转托盘(1)、垂直插板阀Ⅰ(2)、进片真空腔(3)、垂直插板阀Ⅱ(4)、镀膜真空腔(5)、垂直插板阀Ⅲ(6)、出片真空腔(7)和垂直插板阀(8)依次组成，所述由人工周转或流水线周转实现移动公转托盘(1)的依次连续进出镀膜生产；所述移动公转托盘(1)，由安装板(1‑1)、大齿轮盘(1‑2)、挂载盘(1‑3)、挂杆(1‑4)、绝缘座(1‑5)、导杆(1‑6)、限位轮(1‑7)和支撑轮(1‑8)组成；所述导杆(1‑6)通过绝缘座(1‑5)紧固于安装板(1‑1)上，且通过传送导杆(1‑6)与进片真空腔(3)、镀膜真空腔(5)和出片真空腔(7)上的同步传送装置(3‑3)、同步传送装置(5‑3)配合，依靠摩擦传送；所述大齿轮盘(1‑2)通过支撑轮(1‑8)支撑于安装板(1‑1)上，实现大齿轮盘(1‑2)与安装板(1‑1)的滚动运行；所述挂杆(1‑4)将与挂载盘(1‑3)紧固连接在大齿轮盘(1‑2)上，通过与镀膜真空腔(5)上的动力引入装置(5‑8)上的单向齿轮(5‑8‑3)的齿啮合，且大齿轮盘(1‑2)、挂杆(1‑4)和挂载盘(1‑3)的实现公转；所述垂直插板阀Ⅰ(2)、垂直插板阀Ⅱ(4)、垂直插板阀Ⅲ(6)、垂直插板阀Ⅳ(8)是相同结构，分别安装于进片真空腔(3)和出片真空腔(7)间的隔离，且进片真空腔(3)和出片真空腔(7)与真空镀膜模块(5)之间的隔离；所述垂直插板阀Ⅰ(2)还包括阀腔(2‑1)、阀体腔法兰板(2‑2)、推动气缸(2‑3)、密封板(2‑4)、伞形支撑架(2‑5)、支撑板(2‑6)、限位块(2‑7)、维修口(2‑8)、移动轮(2‑9)、导杆(2‑10)和锁紧弹簧(2‑11)组成；所述阀门开启时，推动气缸(2‑3)收缩将通过浮动接头连接与其轴上的伞形支撑架(2‑5)拉起至阀腔法兰板(2‑2)侧，由所经弹簧(2‑11)将支撑板(2‑6)和密封板(2‑4)拉紧至最小间距，阀门开启；所述推动气缸(2‑3)伸长将伞形支撑架(2‑5)推至阀腔(1‑1)底部，直到移动轮(2‑9)与阀腔(1‑1)底部接触，并由气缸继续推动推动气缸(2‑3)将伞形支撑架(2‑5)加力撑开，支撑板(2‑8)与限位块(2‑7)接触并停止滑动，将密封板(2‑4)向阀腔(2‑1)前板内壁推动，直到与阀腔(2‑1)内壁通过密封胶条紧密密封，并保持气缸压力，阀门关闭；所述的进片真空腔(3)和出片真空腔(7)结相同，且进片真空腔(3)和出片真空腔(7)分别由腔体支架(3‑1)、真空腔体(3‑2)、同步传送装置(3‑3)、粗抽挡板阀(3‑4)、粗抽罗茨泵(3‑5)、粗抽机械泵(3‑6)、高真空阀(3‑7)、高真空泵(3‑8)、前级泵(3‑9)和前级阀(3‑10)组成，所述进片真空腔(3)和出片真空腔(7)可以将真空腔体(3‑2)反复实现从大气状态抽气到工艺真空管度(3*10‑4Pa)；所述同步传送装置(3‑3)安装在真空腔体(3‑2)内部，所述真空腔体(3‑2)底部还安装有高真空阀(3‑7)，且高真空阀(3‑7)、的另一端安装有高真空泵(3‑8)；所述镀膜真空腔(5)由真空腔支架(5‑1)、镀膜真空腔体(5‑2)、同步传送装置(5‑3)、高真空泵(5‑4)、前级阀(5‑5)、前级罗茨泵(5‑6)、前级机械泵(5‑7)、动力引入装置(5‑8)、自动加料装置(5‑9)、膜厚监控装置(5‑10)、辅助加热装置(5‑11)、膜厚修正装置(5‑12)、离子源辅助沉积装置(5‑13)、电子束蒸发装置(5‑14)和多穴电阻蒸发装置(5‑15)组成；所述同步传送装置(3‑3)安装在镀膜真空腔体(5‑2)内，所述同步传送装置(3‑3)前端还安装有动力引入装置(5‑8)，且同步传送装置(3‑3)的底部还安装有膜厚监控装置(5‑10)和膜厚修正装置(5‑12)。...

【技术特征摘要】
1.一种新型连续蒸发镀膜生产线，其特征在于：包括移动公转托盘(1)、垂直插板阀Ⅰ(2)、进片真空腔(3)、垂直插板阀Ⅱ(4)、镀膜真空腔(5)、垂直插板阀Ⅲ(6)、出片真空腔(7)和垂直插板阀(8)依次组成，所述由人工周转或流水线周转实现移动公转托盘(1)的依次连续进出镀膜生产；所述移动公转托盘(1)，由安装板(1-1)、大齿轮盘(1-2)、挂载盘(1-3)、挂杆(1-4)、绝缘座(1-5)、导杆(1-6)、限位轮(1-7)和支撑轮(1-8)组成；所述导杆(1-6)通过绝缘座(1-5)紧固于安装板(1-1)上，且通过传送导杆(1-6)与进片真空腔(3)、镀膜真空腔(5)和出片真空腔(7)上的同步传送装置(3-3)、同步传送装置(5-3)配合，依靠摩擦传送；所述大齿轮盘(1-2)通过支撑轮(1-8)支撑于安装板(1-1)上，实现大齿轮盘(1-2)与安装板(1-1)的滚动运行；所述挂杆(1-4)将与挂载盘(1-3)紧固连接在大齿轮盘(1-2)上，通过与镀膜真空腔(5)上的动力引入装置(5-8)上的单向齿轮(5-8-3)的齿啮合，且大齿轮盘(1-2)、挂杆(1-4)和挂载盘(1-3)的实现公转；所述垂直插板阀Ⅰ(2)、垂直插板阀Ⅱ(4)、垂直插板阀Ⅲ(6)、垂直插板阀Ⅳ(8)是相同结构，分别安装于进片真空腔(3)和出片真空腔(7)间的隔离，且进片真空腔(3)和出片真空腔(7)与真空镀膜模块(5)之间的隔离；所述垂直插板阀Ⅰ(2)还包括阀腔(2-1)、阀体腔法兰板(2-2)、推动气缸(2-3)、密封板(2-4)、伞形支撑架(2-5)、支撑板(2-6)、限位块(2-7)、维修口(2-8)、移动轮(2-9)、导杆(2-10)和锁紧弹簧(2-11)组成；所述阀门开启时，推动气缸(2-3)收缩将通过浮动接头连接与其轴上的伞形支撑架(2-5)拉起至阀腔法兰板(2-2)侧，由所经弹簧(2-11)将支撑板(2-6)和密封板(2-4)拉紧至最小间距，阀门开启；所述推动气缸(2-3)伸长将伞形支撑架(2-5)推至阀腔(1-1)底部，直到移动轮(2-9)与阀腔(1-1)底部接触，并由气缸继续推动推动气缸(2-3)将伞形支撑架(2-5)加力撑开，支撑板(2-8)与限位块(2-7)接触并停止滑动，将密封板(2-4)向阀腔(2-1)前板内壁推动，直到与阀腔(2-1)内壁通过密封胶条紧密密封，并保持气缸压力，阀门关闭；所述的进片真空腔(3)和出片真空腔(7)结相同，且进片真空腔(3)和出片真空腔(7)分别由腔体支架(3-1)、真空腔体(3-2)、同步传送装置(3-3)、粗抽挡板阀(3-4)、粗抽罗茨泵(3-5)、粗抽机械泵(3-6)、高真空阀(3-7)、高真空泵(3-8)、前级泵(3-9)和前级阀(3-10)组成，所述进片真空腔(3)和出片真空腔(7)可以将真空腔体(3-2)反复实现从大气状态抽气到工艺真空管度(3*10-4Pa)；所述同步传送装置(3-3)安装在真空腔体(3-2)内部，所述真空腔体(3-2)底部还安装有高真空阀(3-7)，且高真空阀(3-7)、的另一端安装有高真空泵(3-8)；所述镀膜真空腔(5)由真空腔支架(5-1)、镀膜真空腔体(5-2)、同步传送装置(5-3)、高真空泵(5-4)、前级阀(5-5...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱选敏，郭爱云，
申请(专利权)人：武汉科瑞达真空科技有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42