坩埚和蒸镀装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种坩埚和蒸镀装置，属于显示装置的制造技术领域，其可解决现有的坩埚本体受热后的整体温度均匀性差的问题。本发明专利技术的坩埚，包括具有容纳腔的坩埚本体，还包括设置在所述容纳腔中的导热组件，所述导热组件与所述坩埚本体的内壁连接，且贯穿所述容纳腔的中心区域，用于将所述坩埚本体的内壁上的热量传导至所述中心区域。

【技术实现步骤摘要】
坩埚和蒸镀装置
本专利技术属于显示装置的制备
，具体涉及一种坩埚和蒸镀装置。
技术介绍
通常情况下，显示装置的显示方式包括液晶显示(LiquidCrystalDisplay，LCD)、有机发光二极管显示(OrganicLight-EmittingDiode，OLED)和等离子显示等多种方式，其中，OLED显示具有轻薄、低功耗、高对比度、高色域以及柔性显示等优点，成为下一代显示器的发展趋势。OLED显示包括有源矩阵有机发光二极体面板(ActiveMatrixOrganicLightEmittingDiode，AMOLED)和无源矩阵有机发光二极体面板(PassiveMatrixOrganicLightEmittingDiode，AMOLED)。实现OLED显示时，使用低温多晶硅面板(LowTemperaturePoly-silicon，LTPS)+高精度金属掩膜板(FineMetalMask，FMM)的方式已初步成熟。FMM模式是通过蒸镀方式将有机材料蒸镀到LTPS背板上，并利用FMM上的图形形成红、绿、蓝三种OLED器件。其中，蒸镀是在真空腔体中使用线性坩埚进行蒸镀，应当注意的是，在蒸镀有机材料(OLED)的过程中，由于加热丝是对坩埚的外壁进行加热的，故距离坩埚外壁越远的位置，其温度会越低，这样使得坩埚本体受热后的整体温度均匀性较差，从而使得有机材料的受热均匀性也较差；同时，距离坩埚内壁越远的有机材料受热会越少，而直接与坩埚内壁相接触的有机材料受热最多，该种设置会导致部分有机材料因受热不足而没有融化，使得坩埚内的有机材料处于半熔融状态，进而使得在将半熔融状态的有机材料蒸镀到LTPS上时，堵塞坩埚盖上的喷嘴，且影响蒸镀效果。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种提高蒸镀均一性的坩埚和蒸镀装置。解决本专利技术技术问题所采用的技术方案是一种坩埚，包括具有容纳腔的坩埚本体，还包括设置在所述容纳腔中的导热组件，所述导热组件与所述坩埚本体的内壁连接，且贯穿所述容纳腔的中心区域，用于将所述坩埚本体的内壁上的热量传导至所述中心区域。优选的是，所述导热组件包括沿第一方向间隔设置的多个第一导热条，每个所述第一导热条均与所述坩埚本体的内壁连接。优选的是，所述容纳腔具有中心区域，以及围绕所述中心区域的周边区域；贯穿所述中心区域的第一导热条的密度，大于位于所述周边区域的第一导热条的密度。优选的是，所述第一导热条的轮廓包括：波纹形。优选的是，所述导热组件包括沿第一方向均匀设置的多个第一导热条，沿第二方向均匀设置的多个第二导热条，以及沿第三方向均匀设置的多个第三导热条；所述第一导热条、第二导热条、第三导热条均与所述坩埚本体的内壁连接；其中，所述第一方向、第二方向、第三方向两两相交，构成网格状导热组件。优选的是，所述第一方向、第二方向、第三方向两两垂直。优选的是，所述第一导热条、所述第二导热条、所述第三导热条这三者之间的连接方式包括焊接。优选的是，所述第一导热条、第二导热条、第三导热条的轮廓均包括：波纹形。优选的是，所述第一导热条、第二导热条、第三导热条均包括空心结构。优选的是，所述第一导热条、所述第二导热条、所述第三导热条的横截面包括三角形、正方形、圆形中的任意一种。优选的是，所述第一导热条、所述第二导热条、所述第三导热条的横截面均为圆形，所述第一导热条、所述第二导热条、所述第三导热条的直径均包括0.3～0.5cm。优选的是，所述导热组件与所述坩埚本体的内壁可拆卸连接。优选的是，所述导热组件的材料包括：铜、铜合金、奥氏体不锈钢、钛合金中的任意一种或多种。解决本专利技术技术问题所采用的技术方案是一种蒸镀装置，包括上述的坩埚。附图说明图1为本专利技术的实施例1的坩埚的结构示意图；图2为本专利技术的实施例1的一个镂空区域的结构示意图；其中附图标记为：1、坩埚本体；2、第一导热条；3、第二导热条；4、第三导热条。具体实施方式为使本领域技术人员更好地理解本专利技术的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作进一步详细描述。除非另外定义，本专利技术使用的技术术语或者科学术语应当为本专利技术所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本专利技术中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。实施例1：如图1所示，本实施例提供一种坩埚，包括：具有容纳腔的坩埚本体1，以及设置在容纳腔中的导热组件；其中，导热组件与坩埚本体1的内壁连接，且贯穿容纳腔的中心区域，用于将坩埚本体1的内壁上的热量传导至中心区域。由于本实施例的坩埚中设置有导热组件，且导热组件能够将坩埚本体1内壁上的热量传导至容纳腔的中心区域，因此当使用加热条对本实施例中的坩埚本体1进行加热时，坩埚本体1受热后的整体温度均匀性较佳。特别的是，在将本实施例中的坩埚用于蒸镀工艺中时，位于中心区域的蒸镀材料所接收到的热量，和直接与坩埚本体1内壁相接触的蒸镀材料所接收到的热量相同，提高了蒸镀材料的受热均匀性，提高蒸镀效果。当然，坩埚的加热方式并不局限于上述的使用加热条进行加热，在此不再一一列举。以下以在LTPS基板上蒸镀OLED发光材料为例进行说明。其中，作为本实施例的第一种优选方式，导热组件包括沿第一方向间隔设置的多个第一导热条2，每个第一导热条2均与坩埚本体1的内壁连接。具体的，假设第一方向为容纳腔的长度方向，则多个第一导热条2将按照一定间距竖直插设在容纳腔中，以将容纳腔划分为多个竖直的镂空区域。这样一来，在采用本实施例中的坩埚对OLED发光材料进行蒸镀时，OLED发光材料分别分布在各个镂空区域中，此时，OLED发光材料不仅能够受到坩埚内壁的加热作用，其还会受到多个第一导热条2的加热作用，从而提高OLED发光材料的受热均匀性，进而使得容纳腔中的OLED发光材料能够充分融化，避免OLED发光材料因受热不均而处于半熔融状态，以在后续OLED发光材料蒸镀至LTPS基板上，以形成OLED器件时，半熔融状态的OLED发光材料堵塞坩埚盖上的喷嘴，影响蒸镀效果。当然，本实施例仅是以第一方向为容纳腔的长度方向为例进行说明，该第一方向并不局限于容纳腔的长度方向，还可以是容纳腔的高度方向、容纳腔的宽度方向等等。其中，上述的一定间距是指两相邻第一导热条2之间的距离，该距离可根据实际情况进行调整，以此来保证装载OLED发光材料的均匀性，以及各个第一导热条2的导热效果。应当注意的是，若将容纳腔划分为中心区域和围绕中心区域的周边区域，那么，在对坩埚本体1的外壁进行加热时，周边区域不仅会有多个第一导热条2的导热作用，还会接收到坩埚本体1的四个侧壁所散发的余热，而中心区域的温度却只能依靠多个第一导热条2所传导的热量来保持维系。由此可以看出，虽然在容纳腔中增设多个第一导热条2能够改善现有技术中，位于容纳腔中的OLED发光材料受热不均的问题，但是为了进一步提高蒸镀均一性，优选的，贯穿中心区域的第一导热条2的密度，大于位于周边区域的第一导热条2的密度，也即插设在中心区域中的第一导热条2的个数，大于插设在周边区域的第一导热条2的个本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种坩埚，包括具有容纳腔的坩埚本体，其特征在于，还包括设置在所述容纳腔中的导热组件，所述导热组件与所述坩埚本体的内壁连接，且贯穿所述容纳腔的中心区域，用于将所述坩埚本体的内壁上的热量传导至所述中心区域。

【技术特征摘要】
1.一种坩埚，包括具有容纳腔的坩埚本体，其特征在于，还包括设置在所述容纳腔中的导热组件，所述导热组件与所述坩埚本体的内壁连接，且贯穿所述容纳腔的中心区域，用于将所述坩埚本体的内壁上的热量传导至所述中心区域。2.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述导热组件包括沿第一方向间隔设置的多个第一导热条，每个所述第一导热条均与所述坩埚本体的内壁连接。3.根据权利要求2所述的坩埚，其特征在于，所述容纳腔具有中心区域，以及围绕所述中心区域的周边区域；贯穿所述中心区域的第一导热条的密度，大于位于所述周边区域的第一导热条的密度。4.根据权利要求2所述的坩埚，其特征在于，所述第一导热条的轮廓包括：波纹形。5.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述导热组件包括沿第一方向均匀设置的多个第一导热条，沿第二方向均匀设置的多个第二导热条，以及沿第三方向均匀设置的多个第三导热条；所述第一导热条、第二导热条、第三导热条均与所述坩埚本体的内壁连接；其中，所述第一方向、第二方向、第三方向两两相交，构成网格状导热组件。6.根据权利要求5所述的坩埚，其特征在于，所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：王磊磊，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，成都京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11