【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种坩埚，特别是涉及一种盛放石英坩埚用法碳碳坩埚。
技术介绍
单晶硅是半导体和太阳能电池的关键材料，石英坩埚的用途是拉硅单晶用的，目前盛放石英坩埚的一般用石墨坩埚，石墨坩埚具有良好的热导性和耐高温性，在高温使用过程中，热膨胀系数小，对急热急冷具有一定的应变性，对酸碱性溶液的抗腐蚀性较强，具有优良的化学稳定性。但是石英坩埚在高温状态下会软化，由于软化石英坩埚在拆卸时会与石墨坩埚粘连，不好拆卸，严重时得破坏石墨坩埚，造成不必要的浪费。
技术实现思路
本技术的目的是提供方便拆卸的承托坩埚结构，减少石墨用量，降低成本，具体是一种两瓣式结构的碳碳坩埚，底座也分为两部分。为了实现上述目的，本技术所采取的技术手段是：盛放石英坩埚用的碳碳坩埚，包括石墨底座和碳碳坩埚,碳碳坩埚放在底座上，还包括上盖，上盖与碳碳坩埚扣合，碳碳坩埚为左右两瓣式结构，碳碳坩埚的下端为底口卡槽，底座包括底口和底托，底托上端有梯形凹槽，底口的下端嵌入底托的梯形凹槽中，底口上端嵌入底口卡槽，底口与碳碳坩埚组合成一体式坩埚形状。所述的底口下端与底座连接处是中空的，空隙高度为5mm。所述的底托上部两端与碳碳坩埚连接处留有1-3mm的间隙。所述的上盖与碳碳坩埚的接合处为凹凸结构，上盖的外侧为凸台，凸台的高度为10-20mm。本技术的有益效果是：坩埚壁采用碳碳材料，减少了石墨的用量，设计成两瓣式结构，方便拆卸，盖上上盖后避免了石英坩埚放入后，碳碳坩埚向两边倾斜。底座分成底口与底托两部分，可以更好的拆卸石英坩埚，底口与底托结合处留有间隙，即使石英坩埚与石墨底口粘连在一起需要破坏取出石英坩埚时，也只需破坏石墨...
【技术保护点】
盛放石英坩埚用的碳碳坩埚，包括石墨底座和碳碳坩埚(2),碳碳坩埚(2)放在底座上，其特征在于：还包括上盖(1)，上盖(1)与碳碳坩埚(2)扣合，碳碳坩埚(2)为左右两瓣式结构，碳碳坩埚(2)的下端为底口卡槽，底座包括底口(3)和底托(4)，底托(4)上端有梯形凹槽，底口(3)的下端嵌入底托(4)的梯形凹槽中，底口(3)上端嵌入底口卡槽，底口(3)与碳碳坩埚(2)组合成一体式坩埚形状。
【技术特征摘要】
1.盛放石英坩埚用的碳碳坩埚，包括石墨底座和碳碳坩埚(2),碳碳坩埚(2)放在底座上，其特征在于：还包括上盖(1)，上盖(1)与碳碳坩埚(2)扣合，碳碳坩埚(2)为左右两瓣式结构，碳碳坩埚(2)的下端为底口卡槽，底座包括底口(3)和底托(4)，底托(4)上端有梯形凹槽，底口(3)的下端嵌入底托(4)的梯形凹槽中，底口(3)上端嵌入底口卡槽，底口(3)与碳碳坩埚(2)组合成一体式坩埚形状。2.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵会刚，李德建，张晓朋，李朝阳，
申请(专利权)人：河北宁通电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13
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