【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种生产石英坩埚过程中使用到的石英坩埚模具成型装置。
技术介绍
随着太阳能发电行业的发展,石英坩埚行业竞争也越来越激烈,这就要求我们在保证坩埚质量的基础上降低生产成本。石英坩埚主材为石英砂,辅材主要以电极和成型装置等为主,目前使用的成型装置内部模具为石墨模具,石墨模具与外部水套之间为真空腔,真空腔外部为冷却水腔,经过长时间使用发现其存在如下问题:1、石墨模具在长时间高温状态下使用老化比较快,一般在熔制200只坩埚以后模具就会老化;2、同时模具密封完全靠模具压盖将其压紧,但由于熔制过程中模具压盖也会氧化,则随着模具使用炉次的增加,密封效果也越来越差,严重影响了真空效果,增加了坩埚生产成本。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种能够一次熔制石英坩埚在3000只以上、无需模具压盖、保证坩埚真空压力、减少真空层气泡的石英坩埚模具成型装置。本技术的技术方案是:一种石英坩埚模具成型装置,包括水冷模具,其特征在于:所述水冷模具内设有钢制保温模具,所述钢制保温模具上沿搭设于所述水冷模具的上端口上并焊接固定,所述钢制保温模具的圆周侧壁上和底部均匀钻设有多个真空孔,所述钢制保温模具的下方另设有真空腔,所述钢制保温模具的圆周侧壁外部均匀设有多个连通真空孔和真空腔的真空管,所述水冷模具与钢制保温模具之间形成水冷腔,所述水冷腔底部引出上水管和回水管,所述上水管的内口所在平面靠近水冷腔底面,所述回水管的内口所在平面靠近水冷腔顶面,所述水冷模具底部设有法兰盘,所述法兰盘中部设有延伸至真空腔的抽真空管路。上述的石英坩埚模具成型装置,所述法兰盘与水冷模具底部之间均匀设有多 ...
【技术保护点】
一种石英坩埚模具成型装置,包括水冷模具,其特征在于:所述水冷模具内设有钢制保温模具,所述钢制保温模具上沿搭设于所述水冷模具的上端口上并焊接固定,所述钢制保温模具的圆周侧壁上和底部均匀钻设有多个真空孔,所述钢制保温模具的下方另设有真空腔,所述钢制保温模具的圆周侧壁外部均匀设有多个连通真空孔和真空腔的真空管,所述水冷模具与钢制保温模具之间形成水冷腔,所述水冷腔底部引出上水管和回水管,所述上水管的内口所在平面靠近水冷腔底面,所述回水管的内口所在平面靠近水冷腔顶面,所述水冷模具底部设有法兰盘,所述法兰盘中部设有延伸至真空腔的抽真空管路。
【技术特征摘要】
1.一种石英坩埚模具成型装置,包括水冷模具,其特征在于:所述水冷模具内设有钢制保温模具,所述钢制保温模具上沿搭设于所述水冷模具的上端口上并焊接固定,所述钢制保温模具的圆周侧壁上和底部均匀钻设有多个真空孔,所述钢制保温模具的下方另设有真空腔,所述钢制保温模具的圆周侧壁外部均匀设有多个连通真空孔和真空腔的真空管,所述水冷模具与钢制保温模具之间形成水冷腔,所述水冷腔底部引出上水管和回水管,所述上水管的内口所在平面靠近水冷腔底面,所述回水管的内口所在平面靠近水冷腔顶面,所述水冷模具底部设有法兰盘,所述法兰盘中部设有延...
【专利技术属性】
技术研发人员:王震,孙兴旺,
申请(专利权)人:锦州佑鑫电子材料有限公司,
类型:新型
国别省市:辽宁;21
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