【技术实现步骤摘要】
一种具有导向加热功能的蒸发舟
本技术涉及真空镀膜
,具体涉及一种具有导向加热功能的蒸发舟。
技术介绍
真空镀膜机是指在较高真空度下对工件进行镀膜加工的设备。真空镀膜机包括蒸发源,现有的蒸发型真空镀膜机通常采用在蒸发舟两端接入电极作为蒸发源。现有的蒸发舟一般采用在蒸发舟中部设有凹槽,待蒸发的镀膜材料位于所述凹槽中,蒸发舟两端被夹具夹持并通电形成两极,在现有蒸发过程中,一方面,经常会出现蒸发材料凝结堆积在蒸发舟周边或者电极连接处等低温区域,造成材料的损失,另一方面由于蒸发舟完全敞开,蒸发材料蒸发产生的镀膜材料蒸汽会向各个方向扩散,也会造成材料损失。
技术实现思路
本技术的主要目的是提供一种用于真空镀膜机的蒸发舟,已解决现有技术蒸发舟蒸发镀膜材料时材料损失严重,利用率低的技术问题。针对上述技术问题,本技术提供了一种具有导向加热功能的蒸发舟,包括由导电材料制成的舟体和两个分别位于所述舟体两端的电极,所述舟体具有用于放置镀膜材料的容置部,所述蒸发舟还包括导向加热装置,所述导向加热装置的底部与所述舟体相连并环绕包围所述容置部,所述导向加热装置由导电材料制成。可选的,所述导电加热 ...
【技术保护点】
1.一种具有导向加热功能的蒸发舟,包括由导电材料制成的舟体和两个分别位于所述舟体两端的电极,所述舟体具有用于放置镀膜材料的容置部,其特征在于,所述蒸发舟还包括导向加热装置,所述导向加热装置的底部与所述舟体相连并环绕包围所述容置部,所述导向加热装置由导电材料制成。
【技术特征摘要】
1.一种具有导向加热功能的蒸发舟,包括由导电材料制成的舟体和两个分别位于所述舟体两端的电极,所述舟体具有用于放置镀膜材料的容置部,其特征在于,所述蒸发舟还包括导向加热装置,所述导向加热装置的底部与所述舟体相连并环绕包围所述容置部,所述导向加热装置由导电材料制成。2.根据权利要求1所述的一种具有导向加热功能的蒸发舟,其特征在于,所述导电加热管呈两端开口的中空圆台形状,所述导向加热装置的底部截面小于其顶部截面。3.根据权利要求2所述的一种具有导向加热功能的蒸发舟,其特征在于,所述导向加热装置底部通过螺纹连接结构或者卡扣连接结构可拆卸的连接于所述舟体上。4.根据权利要求2所述的一种具有导向加热功能的...
【专利技术属性】
技术研发人员:严佐毅,刘文卿,张龙,张丽,
申请(专利权)人:安徽金美新材料科技有限公司,
类型:新型
国别省市:安徽,34
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