一种双面往返连续真空镀膜设备制造技术

本发明专利技术公开了一种双面往返连续真空镀膜设备，包括真空腔体，所述真空腔体内设置有上收放卷机构、上传送机构、下传送机构及下收放卷机构；所述下收放卷机构及下传送机构分别位于上收放卷机构及上传送机构的下方，待镀膜材料从上或下收放卷机构开始依次经过上或下传送机构、下或上传送机构后回到下或上收放卷机构；与所述上传送机构及下传送机构处的待镀膜材料对应的位置处均设置有一套镀膜装置。本发明专利技术通过设置上下两个收放卷机构以及上下两个镀膜装置，能够在真空腔体内实现连续往返镀膜，极大地提高了工作效率。

A double sided continuous vacuum coating equipment

The invention discloses a double-sided round-trip continuous vacuum coating equipment, including a vacuum chamber, in which an up-take-up mechanism, an up-transfer mechanism, a down-transfer mechanism and a down-take-up and unwinding mechanism are arranged; the down-take-up and unwinding mechanism and the down-transfer mechanism are respectively located below the up-take-up and unwinding mechanism and the up-transfer mechanism, to be waiting for. A coating device is arranged at the position corresponding to the coating material at the upper conveying mechanism and the lower conveying mechanism. The invention can realize continuous back-and-forth coating in the vacuum chamber by setting the upper and lower winding mechanisms and the upper and lower two coating devices, and greatly improves the working efficiency.

【技术实现步骤摘要】
一种双面往返连续真空镀膜设备
本专利技术属于镀膜设备
，尤其涉及一种双面往返连续真空镀膜设备。
技术介绍
出于柔性导电材料的应用需要，为了能够对很薄的薄膜镀较厚的金属导电层，需要开发一种特殊的设备机构。所谓很薄的薄膜一般厚度为2～12μm，材料一般为PP、PE、PET、PI等；所谓较厚的金属层从200～2000nm不等，金属层材料一般为导电材料，如镍、铝、铜、铅、银、金以及合金材料等。要想在薄膜表面获得对应厚度的金属导电层，其最大的难度是沉积效率，一般情况下，受薄膜耐热性能的影响，金属在薄膜表面的单次沉积厚度一般为5～100nm，要想获得200～2000nm厚度的金属导电层，就需要使用多次沉积的方法实现。而薄膜导电层的沉积一般是在真空条件下进行，如果真空设备不能往返镀膜，则每次沉积一层金属层之后都需要开仓，将需要沉积金属层的薄膜卷料进行收放卷换卷，这样操作每次都需要抽放真空，真空设备运行效率很低，如果能够在真空环境中实现往返连续镀膜，则真空镀膜的效率将大大提高。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种双面往返连续真空镀膜设备，解决现有技术中的真空镀膜设备无法往返连续镀膜、效率较低本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种双面往返连续真空镀膜设备，其特征在于，包括真空腔体，所述真空腔体内设置有上收放卷机构、上传送机构、下传送机构及下收放卷机构；所述下收放卷机构及下传送机构分别位于上收放卷机构及上传送机构的下方，待镀膜材料从上或下收放卷机构开始依次经过上或下传送机构、下或上传送机构后回到下或上收放卷机构；与所述上传送机构及下传送机构处的待镀膜材料对应的位置处均设置有一套镀膜装置。

【技术特征摘要】
1.一种双面往返连续真空镀膜设备，其特征在于，包括真空腔体，所述真空腔体内设置有上收放卷机构、上传送机构、下传送机构及下收放卷机构；所述下收放卷机构及下传送机构分别位于上收放卷机构及上传送机构的下方，待镀膜材料从上或下收放卷机构开始依次经过上或下传送机构、下或上传送机构后回到下或上收放卷机构；与所述上传送机构及下传送机构处的待镀膜材料对应的位置处均设置有一套镀膜装置。2.根据权利要求1所述的一种双面往返连续真空镀膜设备，其特征在于，所述上传送机构及下传送机构均包括一套皮带轮组件，所述皮带轮组件包括主动皮带轮、传动皮带以及分别设置在所述主动皮带轮两侧的两个棘轮传动件，所述主动皮带轮与两个棘轮传动件通过传动皮带连接。3.根据权利要求2所述的一种双面往返连续真空镀膜设备，其特征在于，所述棘轮传动件包括棘轮、棘爪及压缩弹簧，所述棘爪的自由端一...

【专利技术属性】
技术研发人员：严佐毅，刘文卿，
申请(专利权)人：安徽金美新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34