【技术实现步骤摘要】
一种节能安全真空镀膜机
本专利技术涉及镀膜设备
,具体涉及一种节能安全真空镀膜机。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。目前在真空镀膜机镀膜时镀膜室中在蒸镀,镀膜室中残留部分未蒸镀到薄膜上的蒸气,该蒸气遇冷形成粉尘,粉尘在负压的作用下被真空泵抽走,该粉尘影响真空泵正常作业,增大真空泵的能耗,严重时甚至会损坏真空泵。真空镀膜设备扩散泵加热是用耗电量比较高的电阻丝通过烧红来烘烤真空锅炉(扩散泵)底部,从而加热里面的导热油来使真空泵里面的温度上升来达到设备的工作要求,导线接入区域温度过高会导致触电区域极易氧化虚接以及人身触电的的危险,安全性低。基于此,本专利技术设计了一种节能安全真空镀膜机,以解决上述问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种节能安全真空镀膜机,以解决上述
技术介绍
中提出的现有装置耗能且安全性低的问题。为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种节能安全真空镀膜机,包括真空镀膜机本体,所述真空镀膜机 ...
【技术保护点】
1.一种节能安全真空镀膜机,包括真空镀膜机本体(1),其特征在于:所述真空镀膜机本体(1)的底部中央贯穿设有真空沉降管(2),所述真空镀膜机本体(1)的底部设有底座(3),所述底座(3)的内腔底部设有沉降水箱(4),所述真空沉降管(2)的底部延伸至沉降水箱(4)的内腔,所述沉降水箱(4)的底部设有排污管(5),所述排污管(5)的底部延伸至底座(3)的底部,所述底座(3)的左侧中央设有冷凝器(6),所述冷凝器(6)的右侧设有连接管(7),所述连接管(7)贯穿底座(3)并延伸至真空沉降管(2)的内腔,所述连接管(7)的右侧设有螺旋冷却管(8),所述螺旋冷却管(8)的顶部延伸至真 ...
【技术特征摘要】
1.一种节能安全真空镀膜机,包括真空镀膜机本体(1),其特征在于:所述真空镀膜机本体(1)的底部中央贯穿设有真空沉降管(2),所述真空镀膜机本体(1)的底部设有底座(3),所述底座(3)的内腔底部设有沉降水箱(4),所述真空沉降管(2)的底部延伸至沉降水箱(4)的内腔,所述沉降水箱(4)的底部设有排污管(5),所述排污管(5)的底部延伸至底座(3)的底部,所述底座(3)的左侧中央设有冷凝器(6),所述冷凝器(6)的右侧设有连接管(7),所述连接管(7)贯穿底座(3)并延伸至真空沉降管(2)的内腔,所述连接管(7)的右侧设有螺旋冷却管(8),所述螺旋冷却管(8)的顶部延伸至真空镀膜机本体(1)的内腔底部,所述螺旋冷却管(8)的内腔中央设有沉降装置(9),所述底座(3)的底部左右两侧均设有支撑脚(10);所述真空镀膜机本体(1)的内腔顶部左侧设有真空炉(11),所述真空镀膜机本体(1)的内腔右侧设有裂解炉(12),所述裂解炉(12)的顶部中央通过管道与真空炉(11)的右侧中央连接,所述真空镀膜机本体(1)的内腔底部中央设有蒸发炉(13),所述裂解炉(12)的底部中央通过管道与蒸发炉(13)的右侧中央连接,所述真空镀膜机本体(1)的内壁设有防护层(14),所述防护层(14)的内壁设有隔热层(...
【专利技术属性】
技术研发人员:柳一民,王静辉,
申请(专利权)人:桑尼光电技术安徽有限公司,
类型:发明
国别省市:安徽,34
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