磁控溅射卷绕镀膜机制造技术

本实用新型专利技术涉及一种磁控溅射卷绕镀膜机，配合轨道车使用，其包括：真空箱、安装于真空箱内的卷绕装置及两个镀膜装置、安装于真空箱外的若干抽气装置。卷绕装置包括滑动安装于真空箱上的支撑框架、安装于支撑框架上的放卷辊、第一张力测量辊、第二张力测量辊、跟踪机构、收卷辊、若干导向辊及展平辊，第一张力测量辊与放卷辊相对设置，第二张力测量辊位于跟踪机构的一侧，收卷辊位于跟踪机构的另一侧。镀膜装置包括主框体、局部位于主框体内的镀膜鼓、设于主框体内且与镀膜鼓相对设置的若干镀膜腔室、夹设于相邻镀膜腔室之间的若干隔离组件、安装于镀膜腔室内的溅射靶。该磁控溅射卷绕镀膜机的空间占用小、镀膜质量高、便于使用及维护。

【技术实现步骤摘要】
磁控溅射卷绕镀膜机
本技术涉及柔性卷绕真空镀膜设备领域，特别是涉及一种磁控溅射卷绕镀膜机。
技术介绍
磁控溅射是真空镀膜的重要方法之一，其具有膜层控制精度高，镀膜均匀性好，成膜温度低等优点，尤其适用受温升限制的金属产品和非金属如塑料、纸张等产品的表面改性镀膜。磁控溅射卷绕镀膜是采用磁控溅射镀膜工艺，以卷对卷的生产方式，对柔性基材如纸张、PET、PI、BOPP等材料进行表面改性的镀膜方法，其制造的产品涉及光学、电子学、电磁学等多个领域，现有产品如建筑及汽车窗膜、防伪包装膜、电磁屏蔽膜、透明导电膜等已经得到广泛的应用。进年来随着产品和技术的进步，柔性基材表面镀膜的膜系结构更加复杂，要求磁控溅射卷绕设备需要配置更多的溅射靶来满足复杂膜系工艺的需求。溅射靶一般布置在镀膜鼓的周围。通常一个镀膜鼓配置溅射靶位在六个以下，更多的溅射靶就需要镀膜机配置二个镀膜鼓。现有磁控溅射卷绕镀膜机的设计通常采用多真空室单元的串联方式。如装有放卷基材的真空室为放卷室单元，装有镀膜鼓及周围布置溅射靶的为镀膜室单元，装有收卷基材的为收卷室单元。如双镀膜鼓的磁控溅射卷绕镀膜机由放卷室单元、第一镀膜室单元、第二镀膜室单元本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种磁控溅射卷绕镀膜机，配合轨道车使用，其特征在于，所述磁控溅射卷绕镀膜机包括：真空箱、安装于所述真空箱内的卷绕装置及两个镀膜装置、安装于所述真空箱外的若干抽气装置；所述卷绕装置包括滑动安装于所述真空箱上的支撑框架、安装于所述支撑框架上的放卷辊、第一张力测量辊、第二张力测量辊、跟踪机构、收卷辊、若干导向辊及展平辊，所述第一张力测量辊与所述放卷辊相对设置，所述第二张力测量辊位于所述跟踪机构的一侧，所述收卷辊位于所述跟踪机构的另一侧；所述镀膜装置包括主框体、局部位于所述主框体内的镀膜鼓、设于所述主框体内且与所述镀膜鼓相对设置的若干镀膜腔室、夹设于相邻所述镀膜腔室之间的若干隔离组件、安装于所述镀...

【技术特征摘要】
1.一种磁控溅射卷绕镀膜机，配合轨道车使用，其特征在于，所述磁控溅射卷绕镀膜机包括：真空箱、安装于所述真空箱内的卷绕装置及两个镀膜装置、安装于所述真空箱外的若干抽气装置；所述卷绕装置包括滑动安装于所述真空箱上的支撑框架、安装于所述支撑框架上的放卷辊、第一张力测量辊、第二张力测量辊、跟踪机构、收卷辊、若干导向辊及展平辊，所述第一张力测量辊与所述放卷辊相对设置，所述第二张力测量辊位于所述跟踪机构的一侧，所述收卷辊位于所述跟踪机构的另一侧；所述镀膜装置包括主框体、局部位于所述主框体内的镀膜鼓、设于所述主框体内且与所述镀膜鼓相对设置的若干镀膜腔室、夹设于相邻所述镀膜腔室之间的若干隔离组件、安装于所述镀膜腔室内的溅射靶。2.根据权利要求1所述的磁控溅射卷绕镀膜机，其特征在于，所述卷绕装置位于所述镀膜装置的上方，两个所述镀膜装置并排设置。3.根据权利要求2所述的磁控溅射卷绕镀膜机，其特征在于，所述主框体之间形成中央抽气通道。4.根据权利要求1所述的磁控溅射卷绕镀膜机，其特征在于，所述卷绕装置还包括安装于所述支撑框架上的在线监测组件及辅助动力辊，所述在线监...

【专利技术属性】
技术研发人员：王军生，
申请(专利权)人：广东中钛节能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44