一种高真空卷绕式电容镀膜机的使用方法技术

技术编号:18908968 阅读:51 留言:0更新日期:2018-09-12 01:20
本发明专利技术公开了一种高真空卷绕式电容镀膜机的使用方法,包括电容镀膜机,电容镀膜机包括工艺界面、真空界面、数据预设界面I、数据预设界面II、制冷设备界面和铝蒸发界面,镀膜机使用方法的步骤如下:当真空室关闭后并按下“抽空”按钮后,自动程序启动,抽空过程开始,真空室被抽空,当到达真空压力值5E‑4mbar时蒸发舟开始加热。本发明专利技术这种操作方式适合于设备正常的连续的生产操作,这种方式的特点是设备会自动按顺序循环工作,系统在操作过程中仍然可以进行人工干预,系统接受在镀膜过程中输入修正的参数值,并且此参数可作为下一卷镀膜的预设值,每个功能图分别有不同的任务,以帮助操作工或技术人员更有效地操作和维护设备。

A method of using high vacuum winding capacitive coating machine

The invention discloses a method for using a high vacuum winding capacitor coating machine, including a capacitor coating machine, a capacitor coating machine including a process interface, a vacuum interface, a data preset interface I, a data preset interface II, a refrigeration equipment interface and an aluminum evaporation interface. The operation method of the coating machine is as follows: when the vacuum chamber is closed, and After pressing the \evacuation\ button, the automatic program starts, the evacuation process begins, the vacuum chamber is evacuated, and the evaporation boat begins heating when the vacuum pressure reaches 5E_4mbar. The operation mode of the present invention is suitable for normal and continuous production operation of the equipment. The characteristic of this mode is that the equipment will work in sequence automatically, the system can still carry out manual intervention during operation, and the system accepts the corrected parameters input during the coating process, and this parameter can be used as the pre-coating of the next roll. Setting values, each function diagram has a different task to help operators or technicians operate and maintain equipment more effectively.

【技术实现步骤摘要】
一种高真空卷绕式电容镀膜机的使用方法
本专利技术涉及一种镀膜机,特别涉及一种高真空卷绕式电容镀膜机的使用方法。
技术介绍
众所周知,真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种,需要镀膜的被称为基片,镀的材料被称为靶材,基片与靶材同在真空腔中,蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且最终沉积在基片表面,经历成膜过程,最终形成薄膜。现有技术中的镀膜机多为手动操作式,需要浪费大量的工作劳动力,不方便对镀膜机进行操作控制,维护极为不便,降低工作效率,镀膜机使用时的各个参数不方便进行查看控制,导致镀膜机的使用受到局限性,十分不便。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷,提供一种高真空卷绕式电容镀膜机的使用方法,这种操作方式适合于设备正常的连续的生产操作,这种方式的特点是设备会自动按顺序循环工作,特别是在开始时自动开始镀膜及结束时自动关闭的过程可以减少操作工额外的操作步骤,系统在操作过程中仍然可以进行人工干预,系统接受在镀膜过程中输入修正的参数值,并且此参数可作为下一卷镀膜的预设值,每个功能图分别有不同的任务,以帮助操作工或技术人员更有效地操作和维护设备。为了解决上述技术问题,本专利技术提供了如下的技术方案:本专利技术一种高真空卷绕式电容镀膜机的使用方法,包括电容镀膜机,所述电容镀膜机包括工艺界面、真空界面、数据预设界面I、数据预设界面II、制冷设备界面和铝蒸发界面,电容镀膜机使用方法的步骤如下:a.当真空室关闭后并按下“抽空”按钮后,自动程序启动,真空室开始抽空,抽空过程开始,根据泵组自动控制过程,真空室被抽空,当到达真空压力值5E-4mbar时蒸发舟开始加热;b.蒸发舟开始升温,加热时间根据预设“old”与“new”的不同而改变,频闪观察器打开工作,达到设定温度;c.开始输送铝丝,按设定的送丝速度进行输送铝丝,当到达设定的输送铝丝速度时,卷绕系统启动,系统加速到预设的速度,当镀鼓速度小于60m/min时,plc开始计算卷径,预设的卷绕速度到达时,挡板打开,自动厚度控制过程开始;d.当放卷的停止卷绕直径到达时,预设的停止卷径到达,关闭程序开始,卷绕系统停止,挡板关闭,送铝丝停止,蒸发舟20秒后停止加热,制冷机转换到加热状态是镀鼓温度升高,制冷机预设的加热温度到达时,放气阀打开,冷进转换到除霜工作状态,当压力达到大气压值时,可打开真空室进行重新装膜。作为本专利技术的一种优选技术方案,所述工艺界面包括放卷参数、放卷摆动开关、收卷参数、镀层厚度控制、红外线加热、偏压、张力辊参数、保护层蒸发器温度、锌蒸发器的状态和位置、温度设定以及指示、镀鼓参数、铝蒸发器、挡板和送丝状况、送铝丝速度提示、三分钟镀膜室高真空曲线图、冷井状态和油蒸发参数及数据。作为本专利技术的一种优选技术方案,所述真空界面包括卷绕室高真空压力、镀膜室高真空压力、阀状态指示、POLYCOLD状态、抽真空总时间、扩散泵温度、泵的状态、三分钟镀膜室高真空曲线图、三分钟卷绕室真空曲线图、扩散泵前级真空压力显示。作为本专利技术的一种优选技术方案,所述数据预设界面I包括总参数、卷绕参数1、卷绕参数2、基膜参数、制冷/加热机温度设定、厚度参数。作为本专利技术的一种优选技术方案,所述数据预设界面II包括断膜保护开关、压臂开关、偏压测试开关、油蒸发器升降自动/手动开关、真空到达后蒸发舟自动加热开关、张力PID控制开关、锌挡板摆动开关/单铝、偏压极性、新舟/旧舟切换、按钮灯测试、总服务开关、偏压开关、抽真空时主鼓爬行开关、偏压接地选项。作为本专利技术的一种优选技术方案,所述制冷设备界面包括镀鼓温度、制冷设备状态及开关、参数设定、手动控制制冷机切换开关、制冷/加热按钮、加热器工作状态指示、循环泵状态、阀工作状态、压缩机过温指示、压缩机工作指示、高低压指示、阀工作状态、制冷供液阀、主鼓温度历史曲线图、循环泵出口压力。作为本专利技术的一种优选技术方案,所述铝蒸发界面包括舟1-8加热开关、舟加热电流、电压微调复位、功率主设定/实际值、送丝设定/实际设定值、送丝电机1-8开关、送丝微调复位、电压微调指示、送丝微调指示。与现有技术相比,本专利技术的有益效果如下:本专利技术这种操作方式适合于设备正常的连续的生产操作,这种方式的特点是设备会自动按顺序循环工作,特别是在开始时自动开始镀膜及结束时自动关闭的过程可以减少操作工额外的操作步骤,系统在操作过程中仍然可以进行人工干预,系统接受在镀膜过程中输入修正的参数值,并且此参数可作为下一卷镀膜的预设值,每个功能图分别有不同的任务,以帮助操作工或技术人员更有效地操作和维护设备。具体实施方式以下对本专利技术的优选实施例进行说明,应当理解,此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本专利技术,并不用于限定本专利技术。实施例1本专利技术提供一种高真空卷绕式电容镀膜机的使用方法,包括电容镀膜机,电容镀膜机包括工艺界面、真空界面、数据预设界面I、数据预设界面II、制冷设备界面和铝蒸发界面,电容镀膜机使用方法的步骤如下:a.当真空室关闭后并按下“抽空”按钮后,自动程序启动,真空室开始抽空,抽空过程开始,根据泵组自动控制过程,真空室被抽空,当到达真空压力值5E-4mbar时蒸发舟开始加热;b.蒸发舟开始升温,加热时间根据预设“old”与“new”的不同而改变,频闪观察器打开工作,达到设定温度;c.开始输送铝丝,按设定的送丝速度进行输送铝丝,当到达设定的输送铝丝速度时,卷绕系统启动,系统加速到预设的速度,当镀鼓速度小于60m/min时,plc开始计算卷径,预设的卷绕速度到达时,挡板打开,自动厚度控制过程开始;d.当放卷的停止卷绕直径到达时,预设的停止卷径到达,关闭程序开始,卷绕系统停止,挡板关闭,送铝丝停止,蒸发舟20秒后停止加热,制冷机转换到加热状态是镀鼓温度升高,制冷机预设的加热温度到达时,放气阀打开,冷进转换到除霜工作状态,当压力达到大气压值时,可打开真空室进行重新装膜。工艺界面包括放卷参数、放卷摆动开关、收卷参数、镀层厚度控制、红外线加热、偏压、张力辊参数、保护层蒸发器温度、锌蒸发器的状态和位置、温度设定以及指示、镀鼓参数、铝蒸发器、挡板和送丝状况、送铝丝速度提示、三分钟镀膜室高真空曲线图、冷井状态和油蒸发参数及数据,用于显示镀膜过程中所有必需的工工艺参数,帮助操作工进行正确的操作,此图主要用于显示不用改变的参数。真空界面包括卷绕室高真空压力、镀膜室高真空压力、阀状态指示、POLYCOLD状态、抽真空总时间、扩散泵温度、泵的状态、三分钟镀膜室高真空曲线图、三分钟卷绕室真空曲线图、扩散泵前级真空压力显示,用于显示抽真空及镀膜过程中所有必需的真空参数,包括有关压力、泵及阀状态均可在屏上显示。数据预设界面I包括总参数、卷绕参数1、卷绕参数2、基膜参数、制冷/加热机温度设定、厚度参数,用于输入及预设设备之所需数据及参数。数据预设界面II包括断膜保护开关、压臂开关、偏压测本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高真空卷绕式电容镀膜机的使用方法,包括电容镀膜机,所述电容镀膜机包括工艺界面、真空界面、数据预设界面I、数据预设界面II、制冷设备界面和铝蒸发界面,其特征在于,电容镀膜机使用方法的步骤如下:a.当真空室关闭后并按下“抽空”按钮后,自动程序启动,真空室开始抽空,抽空过程开始,根据泵组自动控制过程,真空室被抽空,当到达真空压力值5E‑4mbar时蒸发舟开始加热;b.蒸发舟开始升温,加热时间根据预设“old”与“new”的不同而改变,频闪观察器打开工作,达到设定温度;c.开始输送铝丝,按设定的送丝速度进行输送铝丝,当到达设定的输送铝丝速度时,卷绕系统启动,系统加速到预设的速度,当镀鼓速度小于60m/min时,plc开始计算卷径,预设的卷绕速度到达时,挡板打开,自动厚度控制过程开始;d.当放卷的停止卷绕直径到达时,预设的停止卷径到达,关闭程序开始,卷绕系统停止,挡板关闭,送铝丝停止,蒸发舟20秒后停止加热,制冷机转换到加热状态是镀鼓温度升高,制冷机预设的加热温度到达时,放气阀打开,冷进转换到除霜工作状态,当压力达到大气压值时,可打开真空室进行重新装膜。

【技术特征摘要】
1.一种高真空卷绕式电容镀膜机的使用方法,包括电容镀膜机,所述电容镀膜机包括工艺界面、真空界面、数据预设界面I、数据预设界面II、制冷设备界面和铝蒸发界面,其特征在于,电容镀膜机使用方法的步骤如下:a.当真空室关闭后并按下“抽空”按钮后,自动程序启动,真空室开始抽空,抽空过程开始,根据泵组自动控制过程,真空室被抽空,当到达真空压力值5E-4mbar时蒸发舟开始加热;b.蒸发舟开始升温,加热时间根据预设“old”与“new”的不同而改变,频闪观察器打开工作,达到设定温度;c.开始输送铝丝,按设定的送丝速度进行输送铝丝,当到达设定的输送铝丝速度时,卷绕系统启动,系统加速到预设的速度,当镀鼓速度小于60m/min时,plc开始计算卷径,预设的卷绕速度到达时,挡板打开,自动厚度控制过程开始;d.当放卷的停止卷绕直径到达时,预设的停止卷径到达,关闭程序开始,卷绕系统停止,挡板关闭,送铝丝停止,蒸发舟20秒后停止加热,制冷机转换到加热状态是镀鼓温度升高,制冷机预设的加热温度到达时,放气阀打开,冷进转换到除霜工作状态,当压力达到大气压值时,可打开真空室进行重新装膜。2.根据权利要求1所述的一种高真空卷绕式电容镀膜机的使用方法,其特征在于,所述工艺界面包括放卷参数、放卷摆动开关、收卷参数、镀层厚度控制、红外线加热、偏压、张力辊参数、保护层蒸发器温度、锌蒸发器的状态和位置、温度设定以及指示、镀鼓参数、铝蒸发器、挡板和送丝状况、送铝丝速度提示、三分钟镀膜室高真空曲线图、冷井状态和油蒸发参数及数据。3.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员:包中敢
申请(专利权)人:广州市邦图机电科技有限公司
类型:发明
国别省市:广东,44

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