一种汽车风窗玻璃真空连续磁控溅射镀膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种汽车风窗玻璃真空连续磁控溅射镀膜装置，包括：装载区、镀膜区和卸载区；所述装载区、所述镀膜区和所述卸载区均设置在真空腔内；所述装载区和所述卸载区关于所述镀膜区对称设置；在镀膜区采用多个磁控溅射阴极结构，并布置多个真空激光测距仪，与多个溅射阴极相对应，通过真空激光测距仪测出镀膜表面与磁控溅射阴极的距离反馈给溅射阴极，控制溅射功率，从而控制不同位置溅射离子的量，以保证一次镀膜就可以达到膜厚均匀性要求。本实用新型专利技术提供了一种汽车风窗玻璃真空连续磁控溅射镀膜装置，不仅简化了真空镀膜设备，同时能够自动调节磁控溅射功率，保证带有曲率的玻璃表面镀膜厚度的均匀性。

Vacuum continuous magnetron sputtering coating device for windscreen of automobile

The utility model discloses a vacuum continuous magnetron sputtering coating device for automobile windshield glass, which comprises a loading area, a coating area and an unloading area; the loading area, the coating area and the unloading area are all arranged in a vacuum chamber; the loading area and the unloading area are symmetrically arranged with respect to the coating area; and the coating area is adopted in the coating area. A plurality of magnetron sputtering cathode structures and a plurality of vacuum laser rangefinders are arranged to correspond to the plurality of sputtering cathodes. The distance between the coating surface and the magnetron sputtering cathode is measured by the vacuum laser rangefinder and fed back to the sputtering cathode to control the sputtering power, thus controlling the amount of ion sputtered at different positions, so as to ensure that the coating can be done at one time. To achieve uniformity of film thickness. The utility model provides a vacuum continuous magnetron sputtering coating device for automobile windshield glass, which not only simplifies the vacuum coating equipment, but also automatically adjusts the magnetron sputtering power to ensure the uniformity of the coating thickness on the glass surface with curvature.

【技术实现步骤摘要】
一种汽车风窗玻璃真空连续磁控溅射镀膜装置
本技术涉及真空磁控溅射镀膜
，更具体的说是涉及一种汽车风窗玻璃真空连续磁控溅射镀膜装置。
技术介绍
真空镀膜技术在现代工业中应用较为广泛，包括电子、宇航、包装、装潢、烫金印刷等工业。真空镀膜是指在真空环境下，将某种金属或金属化合物以气相的形式沉积到材料表面，属于物理气相沉积工艺。目前，汽车风窗玻璃除霜、除雾、融化冰雪通常采用空调吹风或者电热丝加热的方式，速度比较慢，效果不理想。透明导电加热膜是一种半导体材料，具有高的导电率、高的可见光透过率、高的机械硬度和良好的化学稳定性。采用真空溅射镀膜技术在汽车风窗玻璃表面镀透明导电加热膜，可以使镀膜后的风窗玻璃通过导电加热快速除霜、除雾和融化冰雪，而且不影响车内视野，获得理想的效果。现有真空镀膜设备，通常需要多个真空室才能实现连续镀膜，设备庞大复杂。对于类似于风窗玻璃这种存在较大曲率的零件，由于零件镀膜表面距离溅射阴极的距离不同，一次镀膜膜厚的均匀性较差。要达到膜厚均匀性，应用现有镀膜技术进行溅射镀膜过程中，就需要反复的多次镀膜，或者遮挡住某些区域进行分次镀膜，以此来提高膜厚的均匀性。这种反复镀膜不仅加大了镀膜的成本，而且费时费力。因此，如何提供一种不仅小型，而且膜厚均匀性好的汽车风窗玻璃真空连续磁控溅射镀膜装置是本领域技术人员亟需解决的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供了一种汽车风窗玻璃真空连续磁控溅射镀膜装置，不仅简化了真空镀膜设备，同时自动调节磁控溅射功率保证带有曲率的玻璃表面沉积薄膜厚度的均匀性。为了实现上述目的，本技术采用如下技术方案：一种汽车风窗玻璃真空连续磁控溅射镀膜装置，包括：装载区、镀膜区和卸载区；所述装载区、所述镀膜区和所述卸载区均设置在真空腔内；所述装载区和所述卸载区通过所述镀膜区连接。本技术的技术效果：本技术采用单一真空室，实现连续镀膜，简化了真空镀膜设备。优选的，在上述的一种汽车风窗玻璃真空连续磁控溅射镀膜装置中，所述装载区和所述卸载区关于所述镀膜区对称布置。本技术的技术效果：本技术将装载区和卸载区关于镀膜区对称设置，使小载车从装载车进入卸载车上，实现了镀膜的自动化。优选的，在上述的一种汽车风窗玻璃真空连续磁控溅射镀膜装置中，所述装载区包括：装载车、小载车、导轨、装载区驱动电机、装载区半轮齿轮、装载区传动丝杆、装载区光电开关和装载区传动齿轮；所述导轨纵向铺设至少设置有2条，且所述装载车在所述导轨上纵向运动；所述小载车装载在所述装载车上；所述导轨之间纵向设置有至少3条所述装载区传动丝杆，所述装载区传动丝杆与所述装载区驱动电机连接；远离所述镀膜区的所述装载区传动丝杆上安装有所述装载区半轮齿轮，靠近所述镀膜区的所述装载区传动丝杆上安装有所述装载区传动齿轮；所述装载区光电开关安装在靠近所述镀膜区的一侧；所述装载区光电开关设置在所述装载区半轮齿轮和所述装载区传动齿轮之间，且靠近所述装载区传动齿轮的一侧。本技术的技术方案：利用半轮齿轮的传动方式，方便装载车和卸载车的运动，当小载车触发光电开关，通过半轮齿轮转动以及驱动电机的驱动自动将小载车快速送入镀膜区实现镀膜。优选的，在上述的一种汽车风窗玻璃真空连续磁控溅射镀膜装置中，所述镀膜区包括：磁控溅射阴极、真空激光测距仪、镀膜区驱动电机、镀膜区传动丝杆、镀膜区光电开关、和镀膜区传动齿轮；所述镀膜区横向设置有所述镀膜区光电开关至少2个；所述镀膜区光电开关之间安装有所述镀膜区传动齿轮；所述镀膜区传动齿轮通过所述镀膜区传动丝杆与所述镀膜区驱动电机连接；所述镀膜区的横轴一侧设置有多个所述磁控溅射阴极，另一侧设置有多个所述真空激光测距仪。本技术的技术效果：采用真空激光测距仪来测量风窗玻璃表面距离磁控溅射阴极的距离，自动调节磁控溅射功率，保证带有曲率的玻璃表面镀膜厚度的均匀性。优选的，在上述的一种汽车风窗玻璃真空连续磁控溅射镀膜装置中，所述装载驱动电机包括：第一装载区驱动电机、第二装载区驱动电机和第三装载区驱动电机；所述第一装载区驱动电机与远离所述镀膜区的具有所述装载区半轮齿轮的所述装载区传动丝杆进行连接；所述第三装载区驱动电机与靠近所述镀膜区的具有所述装载区传动齿轮的所述装载区传动丝杆进行连接；所述第二装载区驱动电机与中间所述装载区传动丝杆进行连接。优选的，在上述的一种汽车风窗玻璃真空连续磁控溅射镀膜装置中，所述镀膜区光电开关记为第一镀膜区光电开关和第二镀膜区光电开关；所述小载车沿运动方向分为小载车头部和小载车尾部；所述小载车头部触发所述第一镀膜区光电开关，所述小载车的运动速度开始转换为镀膜速度，同时给所述装载车发送延时信号，使小载车尾部完全离开装载车后，进一步触发所述第二装载区驱动电机，使所述装载车继续纵向运动，同时所述小载车以镀膜速度进入所述镀膜区开始镀膜，当所述小载车尾部离开所述第二镀膜区光电开关，镀膜结束。优选的，在上述的一种汽车风窗玻璃真空连续磁控溅射镀膜装置中，所述卸载区包括：卸载车、导轨、卸载区驱动电机、卸载区半轮齿轮、卸载区传动丝杆、卸载区光电开关和卸载区传动齿轮；所述导轨纵向铺设至少设置有2条，且所述卸载车在所述导轨上纵向运动；所述导轨之间纵向设置有至少3条所述卸载区传动丝杆，所述卸载区传动丝杆与所述卸载区驱动电机连接；远离所述镀膜区的所述卸载区传动丝杆上安装有所述卸载区半轮齿轮，靠近所述镀膜区的所述卸载区传动丝杆上安装有所述卸载区传动齿轮；所述卸载区光电开关安装在靠近所述镀膜区的一侧；所述卸载区光电开关设置在所述卸载区半轮齿轮和所述卸载区传动齿轮之间，且靠近所述卸载区传动齿轮的一侧。本技术的技术效果：在镀膜完成后，小载车通过驱动电机及半轮齿轮的传动进入卸载车上，实现了卸载的自动化。优选的，在上述的一种汽车风窗玻璃真空连续磁控溅射镀膜装置中，所述小载车部分或全部遮挡所述装载区光电开关、所述卸载区光电开关和所述镀膜区光电开关便可触发所述装载区光电开关、所述卸载区光电开关和所述镀膜区光电开关。优选的，在上述的一种汽车风窗玻璃真空连续磁控溅射镀膜装置中，所述卸载区驱动电机包括：第一卸载区驱动电机、第二卸载区驱动电机和第三卸载区驱动电机；所述第一卸载区驱动电机与远离所述镀膜区的具有所述卸载区半轮齿轮的所述卸载区传动丝杆进行连接；所述第三卸载区驱动电机与靠近所述镀膜区的具有所述卸载区传动齿轮的所述卸载区传动丝杆进行连接；所述第二卸载区驱动电机与中间所述卸载区传动丝杆进行连接。优选的，在上述的一种汽车风窗玻璃真空连续磁控溅射镀膜装置中，所述卸载车底部设置有与所述导轨相匹配的凹槽。本技术的技术效果：导轨与凹槽相匹配，实现了装载车和卸载车的纵向运动，进一步为连续溅射镀膜做准备。优选的，在上述的一种汽车风窗玻璃真空连续磁控溅射镀膜装置中，所述装载区半轮齿轮、所述装载区传动齿轮、所述镀膜区传动齿轮、所述卸载区传动齿轮、所述卸载区半轮齿轮均共线。优选的，在上述的一种汽车风窗玻璃真空连续磁控溅射镀膜装置中，所述小载车底部设置有齿条，且所述齿条分别与所述装载区半轮齿轮、所述装载区传动齿轮、所述卸载区半轮齿轮、所述卸载区传动齿轮和所述镀膜区传动齿轮啮合进行传动。本技术的技术效果：齿条与装载区半轮齿轮及装载区传本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种汽车风窗玻璃真空连续磁控溅射镀膜装置，其特征在于，包括：装载区(1)、镀膜区(2)和卸载区(3)；所述装载区(1)、所述镀膜区(2)和所述卸载区(3)均设置在真空腔内；所述装载区(1)和所述卸载区(3)通过所述镀膜区(2)的连接位于同一真空腔内。

【技术特征摘要】
1.一种汽车风窗玻璃真空连续磁控溅射镀膜装置，其特征在于，包括：装载区(1)、镀膜区(2)和卸载区(3)；所述装载区(1)、所述镀膜区(2)和所述卸载区(3)均设置在真空腔内；所述装载区(1)和所述卸载区(3)通过所述镀膜区(2)的连接位于同一真空腔内。2.根据权利要求1所述的一种汽车风窗玻璃真空连续磁控溅射镀膜装置，其特征在于，所述装载区(1)和所述卸载区(3)关于所述镀膜区(2)对称布置。3.根据权利要求2所述的一种汽车风窗玻璃真空连续磁控溅射镀膜装置，其特征在于，所述装载区(1)包括：装载车(11)、小载车(12)、导轨(13)、装载区驱动电机、装载区半轮齿轮(15)、装载区传动丝杆(16)、装载区光电开关(17)和装载区传动齿轮(18)；所述导轨(13)沿所述装载车(11)的纵向至少铺设有2条，且所述装载车(11)在所述导轨(13)上纵向运动；所述小载车(12)装载在所述装载车(11)上；所述导轨(13)之间纵向设置有至少3条所述装载区传动丝杆(16)，所述装载区传动丝杆(16)与所述装载区驱动电机连接；远离所述镀膜区(2)的所述装载区传动丝杆(16)上安装有所述装载区半轮齿轮(15)，靠近所述镀膜区(2)的所述装载区传动丝杆(16)上安装有所述装载区传动齿轮(18)；所述装载区光电开关(17)安装在靠近所述镀膜区(2)的一侧；所述装载区光电开关(17)设置在所述装载区半轮齿轮(15)和所述装载区传动齿轮(18)之间，且靠近所述装载区传动齿轮(18)的一侧。4.根据权利要求3所述的一种汽车风窗玻璃真空连续磁控溅射镀膜装置，其特征在于，所述镀膜区(2)包括：磁控溅射阴极(21)、真空激光测距仪(22)、镀膜区驱动电机(23)、镀膜区传动丝杆(24)、镀膜区光电开关、和镀膜区传动齿轮(26)；所述镀膜区(2)横向至少设置有2个所述镀膜区光电开关；每两个所述镀膜区光电开关之间安装有所述镀膜区传动齿轮(26)；所述镀膜区传动齿轮(26)通过所述镀膜区传动丝杆(24)与所述镀膜区驱动电机连接；所述镀膜区(2)横轴一侧设置有多个...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔岸，孙文龙，刘芳芳，张睿，程普，郝裕兴，陈宠，
申请(专利权)人：吉林大学，
类型：新型
国别省市：吉林,22