蒸镀方法及蒸镀设备技术

本发明专利技术涉及一种蒸镀设备及蒸镀方法。所述蒸镀设备包括多个相互串联的蒸镀装置，每一所述蒸镀装置包括传送机构与蒸镀机构，所述传送机构采用所述蒸镀方法用于将所述玻璃基板投送于所述蒸镀机构中进行蒸镀。其中，所述蒸镀方法，用于蒸镀玻璃基板，包括如下步骤：根据所述玻璃基板的结构预设蒸镀路径信息；交替投送具有不同结构的所述玻璃基板；依次识别交替投送的所述玻璃基板；按照所述蒸镀路径信息分别对各所述玻璃基板进行蒸镀。所述蒸镀设备通过所述蒸镀方法实现同时蒸镀两种不同产品类型的玻璃基板。

【技术实现步骤摘要】
蒸镀方法及蒸镀设备
本专利技术涉及基板蒸镀
，特别是涉及一种蒸镀方法及蒸镀设备。
技术介绍
真空蒸镀技术是当前量产小尺寸OLED(OrganicLight-EmittingDiode，有机发光二极管)制程的核心技术之一，不同产品类型的玻璃OLED器件结构使用不同的蒸镀材料和工艺。有些不同产品类型的玻璃器件结构是相同的，即所用的蒸镀材料和蒸镀工艺都相同，只是OLED蒸镀制程过程所使用的MASK(掩膜板)不相同。当某一产品类型玻璃OLED配套的MASK较少时，若进行2in1(同时使用两个蒸镀腔完成对位和蒸镀)生产此型号玻璃，由于MASK清洗不及时或MASK出现异常因素等，容易导致MASK供应不上致使蒸镀空白时间增加甚至是产线停产，因此量产时只能1in1(只使用一个蒸镀子腔完成对位和蒸镀)生产。然而，使用1in1量产时，每个蒸镀腔只使用一个子腔，完成对位和蒸镀过程，设备稼动率较低，整体节拍较慢。并且蒸镀前对位大约需要15-30秒时间，玻璃传入和传出需要大约10-20秒，以及蒸镀腔蒸镀节拍不一致导致的蒸发源空白等待的时间，这些时间内蒸发源材料在空烧，造成蒸镀材料的浪费，降低了材料的利用率，增加了生产成本。而若重新开模制作MASK，无疑增大了投入成本。针对此，可加入器件结构相同的另一种产品类型玻璃转为2in1生产。然而由于目前蒸镀控制系统的局限性，若只使用一条蒸镀线是不能对两种不同产品类型基板进行同时蒸镀。现有技术中，有时依据生产供应要求，需要两种型号玻璃出货。因此只能优先生产其中一种产品类型玻璃，再对蒸镀腔体进行降温、更换挡板、清洁腔体和添加材料，这期间需要花费的时间大约为1-3天，之后重新升温量产另一个产品类型的玻璃。这个过程延长了生产周期，降低了生产效率。也就是说，由于当前蒸镀控制系统的局限性，量产时使用一条蒸镀线不能同时生产两种产品类型的玻璃，导致增加了生产时间，降低了生产效率。
技术实现思路
基于此，有必要针对现有技术中蒸镀方式的局限性，导致无法通过使用一条蒸镀线对两种不同产品类型的玻璃基板进行同时蒸镀的问题，提供一种可实现同时蒸镀两种不同产品类型的玻璃基板的蒸镀方法及蒸镀设备。一种蒸镀方法，用于蒸镀玻璃基板，包括如下步骤：根据所述玻璃基板的结构预设蒸镀路径信息；交替投送具有不同结构的所述玻璃基板；依次识别交替投送的所述玻璃基板；按照所述蒸镀路径信息分别对各所述玻璃基板进行蒸镀。在其中一个实施例中，根据所述玻璃基板的结构预设蒸镀路径信息的步骤之后还包括：存储所述蒸镀路径信息。在其中一个实施例中，存储所述蒸镀路径信息的步骤包括：按照所述玻璃基板的工艺程序ID进行存储。在其中一个实施例中，依次识别交替投送的所述玻璃基板的步骤包括：通过所述玻璃基板的工艺程序ID识别所述玻璃基板。在其中一个实施例中，存储所述蒸镀路径信息的步骤包括：将所述蒸镀路径信息存储于用于蒸镀所述玻璃基板的控制系统中。在其中一个实施例中，按照所述蒸镀路径信息分别对各所述玻璃基板进行蒸镀的步骤包括：采用所述控制系统调整所述玻璃基板的蒸镀时间与投送速度。在其中一个实施例中，按照所述蒸镀路径信息分别对各所述玻璃基板进行蒸镀的步骤包括：采用机械手将所述玻璃基板按照所述蒸镀路径分别投入或取出对应的蒸镀腔体。在其中一个实施例中，根据所述玻璃基板的结构预设蒸镀路径信息的步骤之后还包括：按照所述蒸镀路径信息在所述玻璃基板的蒸镀腔室内对应放置掩膜板。一种蒸镀设备，包括多个相互串联的蒸镀装置，每一所述蒸镀装置包括传送机构与蒸镀机构，所述传送机构采用所述蒸镀方法实现，用于将所述玻璃基板投送于所述蒸镀机构中进行蒸镀。在其中一个实施例中，每一所述蒸镀装置还包括控制总机，所述控制总机与传送机构通信连接。上述蒸镀方法以及应用所述蒸镀方法的蒸镀设备，通过对蒸镀控制系统的改造和投片物流方式的改变，实现在一条蒸镀线情况下，可同时蒸镀两种不同基板玻璃，以减少蒸镀时间，提升生产效率；且采用所述蒸镀方法可有效满足实现当某种类型的玻璃基板所配套的掩膜板供应不足时的可持续生产的情况，从而有利于提高蒸镀设备的稼动率和蒸镀设备使用的灵活性、提升蒸镀材料的利用率、节约掩膜板的开模成本，从而极大地降低蒸镀玻璃基板的生产成本。附图说明图1为一实施例的蒸镀设备的平面结构示意图。图2为另一实施例的蒸镀设备的平面结构示意图。图3为一实施例的蒸镀方法的步骤流程图。具体实施方式为了便于理解本专利技术，下面将参照相关附图对本专利技术进行更全面的描述。附图中给出了本专利技术的较佳实施方式。但是，本专利技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施方式。相反地，提供这些实施方式的目的是使对本专利技术的公开内容理解的更加透彻全面。需要说明的是，当元件被称为“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”、“顶部”、“底部”、“底端”、“顶端”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本专利技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本专利技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本专利技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。一个例子是，一种蒸镀方法，用于蒸镀玻璃基板，包括如下步骤：根据所述玻璃基板的结构预设蒸镀路径信息；交替投送具有不同结构的所述玻璃基板；依次识别交替投送的所述玻璃基板；按照所述蒸镀路径信息分别对各所述玻璃基板进行蒸镀。另一个例子是，一种蒸镀设备，包括多个相互串联的蒸镀装置，每一所述蒸镀装置包括传送机构与蒸镀机构，所述传送机构采用上述蒸镀方法实现，用于将所述玻璃基板投送于所述蒸镀机构中进行蒸镀。其中，所述传送机构采用所述蒸镀方法依次实现投送所述玻璃基板至对应的所述蒸镀机构中，并识别对应的所述玻璃基板按照预设蒸镀路径信息依次投入或取出对应的所述蒸镀机构，从而完成整个蒸镀过程。请参考图1，在一实施例中，一种蒸镀设备10，包括多个相互串联的蒸镀装置100，多个相互串联的所述蒸镀装置100形成一条蒸镀线。例如，每一所述蒸镀装置100包括传送机构110与蒸镀机构120，所述传送机构110采用上述实施例中的所述蒸镀方法实现，用于将所述玻璃基板投送于所述蒸镀机构120中进行蒸镀。即所述蒸镀设备10通过依次执行上述实施例中的所述蒸镀方法的步骤，以实现采用一条所述蒸镀线完成对不同结构类型的所述玻璃基板的蒸镀工作。具体地，请参阅图1和图2，所述传送机构110包括中转腔体111、传送腔体112以及控制系统113，所述中转腔体111与所述传送腔体112之间设置有挡设板114，所述控制系统113与所述挡设板114电连接用于控制所述挡设板114启闭，。所述中转腔体111具体容置腔，所述容置腔内设置有机械手115，且所述控制系统113控制所述机械手115投送所述玻璃基板；所述传送腔体112具有传送腔，当所述控制系统113控制开启挡设于所述中转腔体111与所述传送腔体112之间的所述挡设板114时，则所述传送腔与所述容置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀方法，用于蒸镀玻璃基板，其特征在于，包括如下步骤：根据所述玻璃基板的结构预设蒸镀路径信息；交替投送具有不同结构的所述玻璃基板；依次识别交替投送的所述玻璃基板；按照所述蒸镀路径信息分别对各所述玻璃基板进行蒸镀。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀方法，用于蒸镀玻璃基板，其特征在于，包括如下步骤：根据所述玻璃基板的结构预设蒸镀路径信息；交替投送具有不同结构的所述玻璃基板；依次识别交替投送的所述玻璃基板；按照所述蒸镀路径信息分别对各所述玻璃基板进行蒸镀。2.根据权利要求1所述的蒸镀方法，其特征在于，根据所述玻璃基板的结构预设蒸镀路径信息的步骤之后还包括：存储所述蒸镀路径信息。3.根据权利要求2所述的蒸镀方法，其特征在于，存储所述蒸镀路径信息的步骤包括：按照所述玻璃基板的工艺程序ID进行存储。4.根据权利要求3所述的蒸镀方法，其特征在于，依次识别交替投送的所述玻璃基板的步骤包括：通过所述玻璃基板的工艺程序ID识别所述玻璃基板。5.根据权利要求2所述的蒸镀方法，其特征在于，存储所述蒸镀路径信息的步骤包括：将所述蒸镀路径信息存储于用于蒸镀所述玻璃基板的控制系统中。6.根据权利要求5所述的蒸镀方法，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖冯俊树，李椿光，蔡晓义，柯贤军，苏君海，李建华，
申请(专利权)人：信利惠州智能显示有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44