一种真空多区磁控阴极溅射头，它包含有框、靶材，磁场密封盒帽盖，磁场组合体等主要元件。其中，框的内缘，留有凹槽，以套合靶材后，以螺丝固定于磁场密封盒帽盖上，而其固定螺丝孔，制成向外开口的双凹马蹄型螺丝槽，以方便于拆换靶材时的螺孔定位吊挂。可将溅射头内的磁场，排列组合成多区域，使其有更多的溅射面积，以充分利用靶材，达到提高效益的目的。（*该技术在2000年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本技术涉及一种真空多区磁控阴极溅射头。一般常用的真空磁控阴极溅射头，是采用单一全区域的溅射方式，即在溅射头上，除周围的磁极外，中间只留上独立磁极，使用时其溅射面积不佳，且靶材的利用率极低，约只有25％－27％，且框无开口双凹马蹄型槽无法迅速套合靶材，及吊挂作业，更换靶材时，费时费工及靶材使用率不经济。本技术的目的在于克服上述缺点，提供一种真空多区磁控阴极溅射头及简易定位靶材固定框。本技术提出的真空多区磁控阴极溅射头及简易靶材固定框，利用将溅射头的磁场排列组合或许多小区域的设计，如所附的分解立体图4的磁场形状，使用时可增加其区域面积，改善其溅射面积，其溅射情形极佳，且其靶材的利用率高达40％－45％，并能节省材料。该固定框的四端各设有开口双凹马碲型螺丝槽，其开口槽的设计利于螺丝快速嵌入定位于固定螺丝孔中，双凹设计即在第一凹陷槽面再设一稍低的凹面，但不成全开口状，以容纳定位螺丝的螺丝头吊挂于其上，不至滑落。拆换靶材时，其中四颗定位螺丝只需留下下方单边二颗，使框吊挂在此二颗定位螺丝上，即可迅速套合新靶材及旋入卸下的其它螺丝，简易省时并提高经济利益。以下结合附图和最佳实施例对本技术进行详细说明附图说明图1是本技术的分解立体图。图2是本技术整体外观图。图3是本技术工作示意图。本技术的主要结构包含框1，靶材2，磁场密封盒帽3和磁场4，磁场4整体称为溅射头。其中框1为一中空框架，其内缘留有凹槽11，供靶材易迅速套合，框四端有开口双凹马碲型螺丝槽121、122、123、124，于拆换靶材时只须旋入螺丝131、132、133、134，即可将其余螺孔定位，且卸下时无需拆下四个定位螺丝，可留一边的二个在磁场封闭盒帽盖上吊挂，能节省更换靶材的时间。靶材2为一中有材料平板，以框的凹槽11套合后，固定于磁场密封盒帽盖上，溅射后耗损为多区的凹陷。磁场密封盒帽盖3，为一不导磁方箱型上盖，以隔真空固定在磁场4的底座上，其上方表面留有螺孔301、302、303、304等，可供框1上相对位置的定位螺丝及固定螺丝旋入，以固定靶材并于表面建立磁场，其二侧并有开孔31、32，供冷却水流循环以达散热目的。磁场4为一平板上排列组合多区的永久磁铁(极性如图3所示)，以之于靶材面产生安排的磁场，其底座平板的作用是承接、固定磁场密封盒帽盖。本技术的整体组合情形，以磁场密封盒帽盖3套盖住磁场4，并固定于磁场的底座上，以隔离、冷却磁组合体于真空工作，其二端的开孔31、32可供冷却水流通，以冷却整体溅射头产生的高温，而其上方表面留有定位螺孔301、302、303、304及其它固定螺孔。当框1套合靶材2后，先旋入螺丝131、132至螺孔301、302，再将框与靶材的组合体上框的马碲型螺丝槽121、122塞入螺丝131、132中，再将螺丝133、134穿越马碲型螺丝槽123、123旋入磁场密封盒帽盖上的定位螺丝303、304，即可迅速定位其它螺孔，靶材更换程序亦然，只是框无需卸下，直接吊挂在定位螺丝上即可。综合上述，本技术不但省时省工，节省材料，还可提高经济效益，非常实用。权利要求1.一种真空多区磁控阴极溅射头，其特征在于将溅射头的磁场排列组合成多个区域，使用时可增加其区域面积，改善其溅射面积，提高靶材使用率至40-45%。2.如权利要求1所述的真空多区磁控阴极溅射头，其特征在于框的四端各设有开口双凹马碲型螺丝槽，其开口槽的设计利于螺丝的快速嵌入定位于其它的固定螺丝孔中；双凹设计即在第一凹陷槽面再设一稍低的凹面，但不成全开口状，以容纳定位螺丝的螺丝头吊挂于其上，不至滑落。专利摘要一种真空多区磁控阴极溅射头，它包含有框、靶材，磁场密封盒帽盖，磁场组合体等主要元件。其中，框的内缘，留有凹槽，以套合靶材后，以螺丝固定于磁场密封盒帽盖上，而其固定螺丝孔，制成向外开口的双凹马蹄型螺丝槽，以方便于拆换靶材时的螺孔定位吊挂。可将溅射头内的磁场，排列组合成多区域，使其有更多的溅射面积，以充分利用靶材，达到提高效益的目的。文档编号C23C14/35GK2077869SQ9020963公开日1991年5月29日 申请日期1990年6月29日 优先权日1990年6月29日专利技术者黄恬静 申请人:黄恬静本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种真空多区磁控阴极溅射头，其特征在于：将溅射头的磁场排列组合成多个区域，使用时可增加其区域面积，改善其溅射面积，提高靶材使用率至４０－４５％。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
【专利技术属性】
技术研发人员：黄恬静，
申请(专利权)人：黄恬静，
类型：实用新型
国别省市：71[中国|台湾]
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