基板成膜机台及使用方法技术

本申请实施例公开了一种基板成膜机台及使用方法。该基板成膜机台，包括：第一基板承载进出腔；第二基板承载进出腔；成膜腔室；中间腔室；第一泵组，第一泵组与第一基板承载进出腔相连；第二泵，第二泵与中间腔室相连；第三泵，第三泵与成膜腔室以及第二基板承载进出腔相连；至少一个备用泵，备用泵与成膜腔室以及第二基板承载进出腔相连，以在第三泵损坏的情况下，抽出成膜腔室以及第二基板承载进出腔内的空气；或者，备用泵与中间腔室相连，以在第二泵损坏的情况下，抽出中间腔室内的空气。本申请实施例提供的基板成膜机台，可以实现提高基板成膜机台的生产效率的目的。

Substrate film forming machine and its using method

The application embodiment discloses a substrate film forming machine and a method for using the same. The substrate film forming machine comprises a first substrate loading in and out cavity, a second substrate loading in and out cavity, a film forming chamber, an intermediate chamber, a first pump group, a first pump group connected with the first substrate loading in and out cavity, a second pump connected with the intermediate chamber, a third pump, a third pump connected with the film forming chamber and a second substrate loading in and out cavity. At least one spare pump is connected to the film forming chamber and the second substrate load-in and out chamber to extract the film forming chamber and the second substrate load-in and out air in the cavity in case of damage to the third pump; or the spare pump is connected to the intermediate chamber to extract the middle chamber in case of damage to the second pump. The air in the chamber. The substrate film forming machine set provided by the embodiment of the present application can realize the purpose of improving the production efficiency of the substrate film forming machine set.

【技术实现步骤摘要】
基板成膜机台及使用方法
本申请实施例涉及显示面板制作技术，尤其涉及一种基板成膜机台及使用方法。
技术介绍
随着科学技术的不断发展，电视、手机以及电脑等各种显示设备不断普及，并被广泛应用于住宅、商场、办公楼等各种需要进行信息显示的场所，为人们的生产和生活带来了便利。现有的显示设备在制作过程中，为了使得显示面板具有较好的显示效果，阵列基板的成膜工艺往往需要在真空的环境中进行。而在实际制作过程中，用于完成阵列基板的成膜工艺的基板成膜机台往往包括多个与之匹配的泵，若某一个泵损坏，该基板成膜机台将无法正常工作，需要停机整修。无疑这将影响基板成膜机台的生产效率。
技术实现思路
本申请提供一种基板成膜机台及使用方法，以实现提高基板成膜机台的生产效率的目的。第一方面，本申请实施例提供了一种基板成膜机台，该基板成膜机台包括：第一基板承载进出腔；第二基板承载进出腔，所述第二基板承载进出腔与所述第一基板承载进出腔相连；成膜腔室，所述成膜腔室与所述第二基板承载进出腔相连；中间腔室，所述中间腔室与所述成膜腔室相连；第一泵组，所述第一泵组与所述第一基板承载进出腔相连，以抽出所述第一基板承载进出腔内的空气；第二泵，所述第二泵与所述中间腔室相连，以抽出所述中间腔室内的空气；第三泵，所述第三泵与所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔相连，以抽出所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔内的空气；至少一个备用泵，所述备用泵与所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔相连，以在所述第三泵损坏的情况下，抽出所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔内的空气；或者，所述备用泵与所述中间腔室相连，以在所述第二泵损坏的情况下，抽出所述中间腔室内的空气。在另一个实施例中，该基板成膜机台中，所述备用泵与所述中间腔室、所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔均相连，以在所述第三泵损坏的情况下，抽出所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔内的空气；或者，在所述第二泵损坏的情况下，抽出所述中间腔室内的空气。在又一个实施例中，该基板成膜机台还包括：至少一个第一控制开关、至少一个第二控制开关、至少一个第三控制开关、和至少一个第四控制开关；所述第一控制开关一端与所述第二泵连接，另一端与所述中间腔室连接；所述第二控制开关一端与所述第三泵连接，另一端与所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔连接；所述第三控制开关一端与所述备用泵连接，另一端与所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔连接；所述第四控制开关一端与所述备用泵连接，另一端与所述中间腔室连接。在又一个实施例中，该基板成膜机台中，所述第一泵组包括M个第一泵；各所述第一泵均与所述第一基板承载进出腔相连，以抽出所述第一基板承载进出腔内的空气；所述第一泵组中N个所述第一泵复用为备用泵；其中，M为大于或等于2的正整数，N为大于或等于1的正整数，且N＜M。在又一个实施例中，该基板成膜机台还包括：至少一个第五控制开关；所述第五控制开关一端与复用为备用泵的所述第一泵连接，另一端与所述第一基板承载进出腔相连。在又一个实施例中，该基板成膜机台还包括：至少一个第六控制开关；所述第六控制开关一端与所述第三泵连接，另一端与所述第一基板承载进出腔相连。第二方面，本申请实施例还提供了一种基板成膜机台，该基板成膜机台包括：第一基板承载进出腔；第二基板承载进出腔，所述第二基板承载进出腔与所述第一基板承载进出腔相连；成膜腔室，所述成膜腔室与所述第二基板承载进出腔相连；中间腔室，所述中间腔室与所述成膜腔室相连；第一泵组，所述第一泵组与所述第一基板承载进出腔相连，以抽出所述第一基板承载进出腔内的空气；第二泵，所述第二泵与所述中间腔室相连，以抽出所述中间腔室内的空气；第三泵，所述第三泵与所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔相连，以抽出所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔内的空气；至少一个备用泵，所述备用泵与所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔相连，以在所述第三泵损坏的情况下，抽出所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔内的空气；或者，所述备用泵与所述中间腔室相连，以在所述第二泵损坏的情况下，抽出所述中间腔室内的空气；所述备用泵与所述中间腔室、所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔均相连，以在所述第三泵损坏的情况下，抽出所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔内的空气；或者，在所述第二泵损坏的情况下，抽出所述中间腔室内的空气；所述第一泵组包括M个第一泵；各所述第一泵均与所述第一基板承载进出腔相连，以抽出所述第一基板承载进出腔内的空气；所述第一泵组中N个所述第一泵复用为备用泵；其中，M为大于或等于2的正整数，N为大于或等于1的正整数，且N＜M。第三方面，本申请实施例还提供了一种基板成膜机台的使用方法，所述基板成膜机台的使用方法适用于本申请任意实施例提供的基板成膜机台；所述基板成膜机台的使用方法包括：判断所述第二泵和所述第三泵是否损坏；若所述第二泵损坏，控制与所述第二泵连接于同一所述中间腔室的备用泵开启；若所述第三泵损坏，控制与所述第三泵连接于同一所述成膜腔室以及同一所述第二基板承载进出腔的备用泵开启。在另一个实施例中，该基板成膜机台的使用方法中，所述判断所述第二泵和所述第三泵是否损坏之后，还包括：若所述第二泵或所述第三泵损坏，发出报警信号。在另一个实施例中，该基板成膜机台的使用方法中，所述若所述第二泵或所述第三泵损坏，发出报警信号，包括；若所述第二泵损坏，发出第一报警信号，若所述第三泵损坏，发出第二报警信号，所述第一报警信号和所述第二报警信号相异。本申请实施例通过增设至少一个备用泵，并设置所述备用泵与所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔相连，以在所述第三泵损坏的情况下，抽出所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔内的空气；或者，所述备用泵与所述中间腔室相连，以在所述第二泵损坏的情况下，抽出所述中间腔室内的空气，解决了现有的基板成膜机台中，若某一个泵损坏，该基板成膜机台将无法正常工作，需要停机整修，影响基板成膜机台的生产效率的问题，实现了提高基板成膜机台的生产效率的目的。附图说明图1为范例性的一种基板成膜机台的结构示意图。；图2为本申请实施例提供的一种基板成膜机台的结构示意图；图3为本申请实施例提供的另一种基板成膜机台的结构示意图；图4为本申请实施例提供的又一种基板成膜机台的结构示意图；图5为本申请实施例提供的又一种基板成膜机台的结构示意图；图6为本申请实施例提供的又一种基板成膜机台的结构示意图；图7为本申请实施例提供的又一种基板成膜机台的结构示意图；图8为本申请实施例提供的又一种基板成膜机台的结构示意图；图9为本申请实施例提供的一种基板成膜机台的使用方法流程图。具体实施方式下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本申请，而非对本申请的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本申请相关的部分而非全部结构。图1为现有的一种基板成膜机台的结构示意图。参见图1，该基板成膜机台包括：第一基板承载进出腔11、第二基板承载进出腔12、成膜腔室13、中间腔室14、第一泵组21、第二泵22以及第三泵23。第二基板承载进出腔12与第一基板承载进出腔11相连，成膜腔室13与第二基板承载进出腔12相连，中间腔室14本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板成膜机台，包括：第一基板承载进出腔；第二基板承载进出腔，所述第二基板承载进出腔与所述第一基板承载进出腔相连；成膜腔室，所述成膜腔室与所述第二基板承载进出腔相连；中间腔室，所述中间腔室与所述成膜腔室相连；第一泵组，所述第一泵组与所述第一基板承载进出腔相连，以抽出所述第一基板承载进出腔内的空气；第二泵，所述第二泵与所述中间腔室相连，以抽出所述中间腔室内的空气；第三泵，所述第三泵与所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔相连，以抽出所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔内的空气；至少一个备用泵，所述备用泵与所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔相连，以在所述第三泵损坏的情况下，抽出所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔内的空气；或者，所述备用泵与所述中间腔室相连，以在所述第二泵损坏的情况下，抽出所述中间腔室内的空气。

【技术特征摘要】
1.一种基板成膜机台，包括：第一基板承载进出腔；第二基板承载进出腔，所述第二基板承载进出腔与所述第一基板承载进出腔相连；成膜腔室，所述成膜腔室与所述第二基板承载进出腔相连；中间腔室，所述中间腔室与所述成膜腔室相连；第一泵组，所述第一泵组与所述第一基板承载进出腔相连，以抽出所述第一基板承载进出腔内的空气；第二泵，所述第二泵与所述中间腔室相连，以抽出所述中间腔室内的空气；第三泵，所述第三泵与所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔相连，以抽出所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔内的空气；至少一个备用泵，所述备用泵与所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔相连，以在所述第三泵损坏的情况下，抽出所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔内的空气；或者，所述备用泵与所述中间腔室相连，以在所述第二泵损坏的情况下，抽出所述中间腔室内的空气。2.根据权利要求1所述的基板成膜机台，所述备用泵与所述中间腔室、所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔均相连，以在所述第三泵损坏的情况下，抽出所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔内的空气；或者，在所述第二泵损坏的情况下，抽出所述中间腔室内的空气。3.根据权利要求2所述的基板成膜机台，还包括：至少一个第一控制开关、至少一个第二控制开关、至少一个第三控制开关、和至少一个第四控制开关；所述第一控制开关一端与所述第二泵连接，另一端与所述中间腔室连接；所述第二控制开关一端与所述第三泵连接，另一端与所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔连接；所述第三控制开关一端与所述备用泵连接，另一端与所述成膜腔室以及所述第二基板承载进出腔连接；所述第四控制开关一端与所述备用泵连接，另一端与所述中间腔室连接。4.根据权利要求1所述的基板成膜机台，所述第一泵组包括M个第一泵；各所述第一泵均与所述第一基板承载进出腔相连，以抽出所述第一基板承载进出腔内的空气；所述第一泵组中N个所述第一泵复用为备用泵；其中，M为大于或等于2的正整数，N为大于或等于1的正整数，且N＜M。5.根据权利要求4所述的基板成膜机台，还包括：至少一个第五控制开关；所述第五控制开关一端与复用为备用泵的所述第一泵连接，另一端与所述第一基板承载进出腔相连。6.根据权利要求1所述的基板成膜机台，还包括：至少一个第六控制开关；所述第六控制开关...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱正良，
申请(专利权)人：惠科股份有限公司，重庆惠科金渝光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44