【技术实现步骤摘要】
一种靶材冷却装置
本技术属于溅射靶材领域，具体来说涉及一种靶材冷却装置。
技术介绍
在溅射靶材生产过程中会发出大量的热量，如果不及时进行冷却，容易造成局部烧焦或呈现晶粒化现象，而且当溅射靶材的功率增大后，温度也会随之升高，高温会使得溅射靶材的使用寿命减短，造成了大量的浪费，影响经济效益。例如中国专利号201410124974.0公开了一种阴极电弧靶冷却装置包括靶座、靶材、及设在靶座内部的多条冷却水道，靶材嵌在靶座表面上；所述靶材与所述冷却水道被铜板隔开，铜板使冷却水道与靶材分属不同的独立空间，靶材与铜板相接触；所述冷却水道内通过液体时，铜板受液体压力向靶材凸出。本专利技术的优点在于，利用铜片良好的传导性导热，同时利用铜片将靶材与冷却水道隔开，其设备的冷却效果好，又不影响真空设备及生产效率。但是该技术靶材与靶座为分体式并通过铜板导热，其传热效率较低。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种靶材冷却装置，能够对靶材直接进行冷却，提高传热效率。为实现上述专利技术目的，本技术的技术方案是这样实现的：一种靶材冷却装置，包括靶材、靶材余料，所述靶材与所述靶材余料为一整体，所述靶材余料...
【技术保护点】
1.一种靶材冷却装置，其特征在于：包括靶材、靶材余料，所述靶材与所述靶材余料为一整体，所述靶材余料上设置有若干冷媒通道，所述靶材余料对称设置在所述靶材的端部，所述冷媒通道对称设置，所述冷媒通道两端分别为冷媒进口和冷媒出口。
【技术特征摘要】
1.一种靶材冷却装置，其特征在于：包括靶材、靶材余料，所述靶材与所述靶材余料为一整体，所述靶材余料上设置有若干冷媒通道，所述靶材余料对称设置在所述靶材的端部，所述冷媒通道对称设置，所述冷媒通道两端分别为冷媒进口和冷媒出口。2.根据权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘文卿，严佐毅，张龙，张丽，
申请(专利权)人：安徽金美新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34
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