【技术实现步骤摘要】
一种靶材冷却装置
本技术属于溅射靶材领域,具体来说涉及一种靶材冷却装置。
技术介绍
在溅射靶材生产过程中会发出大量的热量,如果不及时进行冷却,容易造成局部烧焦或呈现晶粒化现象,而且当溅射靶材的功率增大后,温度也会随之升高,高温会使得溅射靶材的使用寿命减短,造成了大量的浪费,影响经济效益。例如中国专利号201410124974.0公开了一种阴极电弧靶冷却装置包括靶座、靶材、及设在靶座内部的多条冷却水道,靶材嵌在靶座表面上;所述靶材与所述冷却水道被铜板隔开,铜板使冷却水道与靶材分属不同的独立空间,靶材与铜板相接触;所述冷却水道内通过液体时,铜板受液体压力向靶材凸出。本专利技术的优点在于,利用铜片良好的传导性导热,同时利用铜片将靶材与冷却水道隔开,其设备的冷却效果好,又不影响真空设备及生产效率。但是该技术靶材与靶座为分体式并通过铜板导热,其传热效率较低。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种靶材冷却装置,能够对靶材直接进行冷却,提高传热效率。为实现上述专利技术目的,本技术的技术方案是这样实现的:一种靶材冷却装置,包括靶材、靶材余料,所述靶材与所述靶材余料为一整体,所述靶材余料上设置有若干冷媒通道。进一步的,所述靶材余料对称设置在所述靶材的端部。进一步的,所述冷媒通道对称设置。进一步的,所述冷媒通道两端分别为冷媒进口和冷媒出口。进一步的,相邻所述冷媒通道的冷媒进口和冷媒出口位置相反。进一步的,所述冷媒通道为圆形或矩形。进一步的,所述冷媒通道设置为多层。本技术的有益效果为:1.本技术能够直接对靶材进行冷却,大大降低靶材温度,提高传热效率。2.本技术能够更加均匀的冷却靶材, ...
【技术保护点】
1.一种靶材冷却装置,其特征在于:包括靶材、靶材余料,所述靶材与所述靶材余料为一整体,所述靶材余料上设置有若干冷媒通道,所述靶材余料对称设置在所述靶材的端部,所述冷媒通道对称设置,所述冷媒通道两端分别为冷媒进口和冷媒出口。
【技术特征摘要】
1.一种靶材冷却装置,其特征在于:包括靶材、靶材余料,所述靶材与所述靶材余料为一整体,所述靶材余料上设置有若干冷媒通道,所述靶材余料对称设置在所述靶材的端部,所述冷媒通道对称设置,所述冷媒通道两端分别为冷媒进口和冷媒出口。2.根据权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘文卿,严佐毅,张龙,张丽,
申请(专利权)人:安徽金美新材料科技有限公司,
类型:新型
国别省市:安徽,34
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