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本实用新型属于溅射靶材领域，具体来说涉及一种靶材冷却装置，包括靶材、靶材余料，所述靶材与所述靶材余料为一整体，所述靶材余料上设置有若干冷媒通道；本实用新型简易方便，能够在不增加成本的基础上直接对靶材进行冷却，大大降低靶材温度，提高传热效率，...
该专利属于安徽金美新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽金美新材料科技有限公司授权不得商用。

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