【技术实现步骤摘要】
改进蒸发舟
本专利技术涉及蒸发器皿的改进,尤其涉及一种改进蒸发舟。
技术介绍
蒸发舟为所有蒸发器皿的统称。蒸发舟为所有蒸发器皿的统称。根据使用用途的不同,其成分配方也不一样。所涉及到的材料有氮化硼,二硼化钛,氮化铝,氧化铝,氧化锆,碳化硅,氮化硅等多种金属非金属化合物。目前,真空蒸镀经常采用钼舟或钨舟,在镀高熔点金属时,存在着如下缺点:送丝时,金属溶液滴落对冲击钼舟或钨舟底部,造成变形或形成凹坑。
技术实现思路
本专利技术提出一种改进蒸发舟,解决了现有技术中的问题。本专利技术的技术方案是这样实现的:改进蒸发舟,所述蒸发舟包括容置槽,所述蒸发舟为钼舟或钨舟中的一种,所述蒸发舟包括本体,所述本体下部涂有防护层,所述本体上部涂有复合层,所述复合层由若干材料按顺序叠加而成。作为本专利技术的优选方案,所述容置槽左右两端对称连接有连接板。作为本专利技术的优选方案,所述连接板外侧连接有延伸支架板。作为本专利技术的优选方案,所述复合层厚度为A,其中100μm≤A≤1mm。作为本专利技术的优选方案,所述复合层包括N层叠加,其中2≤N≤4,所述复合层中的每一层为氮化硼、氧化锆、WB2、T ...
【技术保护点】
1.改进蒸发舟,其特征在于,所述蒸发舟包括容置槽(1),所述蒸发舟为钼舟或钨舟中的一种,所述蒸发舟包括本体(12),所述本体(12)下部涂有防护层(11),所述本体(12)上部涂有复合层(13),所述复合层(13)由若干材料按顺序叠加而成。
【技术特征摘要】
1.改进蒸发舟,其特征在于,所述蒸发舟包括容置槽(1),所述蒸发舟为钼舟或钨舟中的一种,所述蒸发舟包括本体(12),所述本体(12)下部涂有防护层(11),所述本体(12)上部涂有复合层(13),所述复合层(13)由若干材料按顺序叠加而成。2.根据权利要求1所述的改进蒸发舟,其特征在于,所述容置槽(1)左右两端对称连接有连接板(2)。3.根据权利要求2所述的改进蒸发舟,其特征在于,所述连接板(2)外侧连接有延伸支架板(3)...
【专利技术属性】
技术研发人员:严佐毅,刘文卿,张龙,张丽,
申请(专利权)人:安徽金美新材料科技有限公司,
类型:新型
国别省市:安徽,34
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