一种防着板自动拆换溅镀机制造技术

本发明专利技术公开了一种防着板自动拆换溅镀机，包含机架，机架内设有溅镀源、输送台和工作台，输送台的两侧设有防着板自动拆换组件，输送台下部设有避让结构；防着板自动拆换组件包含升降板、升降机构、拆换板和横移机构；升降机构带动升降板升降，横移机构设置有移动座；拆换板具有安装部和拼接部，安装部安装固定在移动座上，拼接部用于与升降板拼接；由于飞溅出的靶材大多沉积在防着板的中下部，因此，长时间使用后，只需要通过升降机构和横移机构动作，使升降板和拆换板分离，并将拆换板移出更换即可，不需要对防着板整体进行拆换清理，减少了材料的使用，降低了成本，节省了人力。

An automatic anti splashing and splashing machine

The invention discloses an automatic anti-collision plate splashing machine, which comprises a rack, a splashing source, a conveyor platform and a workbench, two sides of the conveyor platform are equipped with anti-collision plate automatic disassembly components, and the lower part of the conveyor platform is equipped with a collision avoidance structure; the anti-collision plate automatic disassembly components include a lifting plate, a lifting mechanism, a disassembly plate and a transverse mechanism. The lifting mechanism drives the lifting plate to rise and fall, and the transverse movement mechanism has a movable seat; the removal plate has a mounting part and a splicing part, which is fixed on the movable seat, and the splicing part is used for splicing with the lifting plate; since most of the spattered targets are deposited in the middle and lower parts of the anti-landing plate, it only needs to pass through the lifting after a long time of use. The movement of the lifting mechanism and the transverse movement mechanism separates the lifting plate from the removal plate, and replaces the removal plate. It does not need to remove and clean the whole guard plate, which reduces the use of materials, reduces the cost and saves manpower.

【技术实现步骤摘要】
一种防着板自动拆换溅镀机
本专利技术涉及一种防着板自动拆换溅镀机。
技术介绍
真空溅镀是在真空环境下，使用物理的方式将材料源气化为气态分子、原子或离子，通过低压气体或离子体过程在基体表面沉积，使其具有某种特殊功能薄膜的技术；因溅镀过程中，溅镀源会随机方向溅射，除了在目标基体表面附着外，还有一部分会附着在周围其他部位的表面，为保护其他结构件避免附着、沉积膜层，需要使用防着板进行覆盖防护；现有的防着板大多为一体式结构，长时间使用后需要整体更换，并对换下的板材进行清理，增加了成本，并且降低了效率。
技术实现思路
针对上述存在的技术问题，本专利技术的目的是：提出了一种防着板自动拆换溅镀机。本专利技术的技术解决方案是这样实现的：一种防着板自动拆换溅镀机，包含机架，机架内设有溅镀源、输送台和工作台，工作台设置在输送台上，溅镀源设置在工作台的上方，输送台的两侧均设置有防着板自动拆换组件，输送台两侧的下部均设置有避让结构；所述防着板自动拆换组件包含升降板、升降机构、拆换板和横移机构；所述升降机构带动升降板升降，横移机构设置有移动座，横移机构带动移动座沿横向移动；所述拆换板具有安装部和拼接部，安装部安装固本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种防着板自动拆换溅镀机，其特征在于：包含机架，机架内设有溅镀源（1）、输送台（2）和工作台（3），工作台（3）设置在输送台（2）上，溅镀源（1）设置在工作台（3）的上方，输送台（2）的两侧均设置有防着板自动拆换组件，输送台（2）两侧的下部均设置有避让结构（4）；所述防着板自动拆换组件包含升降板（11）、升降机构（12）、拆换板和横移机构（13）；所述升降机构（12）带动升降板（11）升降，横移机构（13）设置有移动座（14），横移机构（13）带动移动座（14）沿横向移动；所述拆换板具有安装部（15）和拼接部（16），安装部（15）安装固定在移动座（14）上，拼接部（16）用于与升降板（1...

【技术特征摘要】
1.一种防着板自动拆换溅镀机，其特征在于：包含机架，机架内设有溅镀源（1）、输送台（2）和工作台（3），工作台（3）设置在输送台（2）上，溅镀源（1）设置在工作台（3）的上方，输送台（2）的两侧均设置有防着板自动拆换组件，输送台（2）两侧的下部均设置有避让结构（4）；所述防着板自动拆换组件包含升降板（11）、升降机构（12）、拆换板和横移机构（13）；所述升降机构（12）带动升降板（11）升降，横移机构（13）设置有移动座（14），横移机构（13）带动移动座（14）沿横向移动；所述拆换板具有安装部（15）和拼接部（16），安装部（15）安装固定在移动座（14）上，拼接部（1...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙建忠，
申请(专利权)人：苏州康普雷森精密机械有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32