一种无机配向膜制备装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种无机配向膜制备装置，所公开的无机配向膜装置包括：含有内部形成真空条件的真空腔；将稳定沉积了被溅射物的托盘引入真空腔内或引出真空腔外的移送部；以及位于真空腔内的将溅射粒子按事先设定的角度喷射到被溅射物的一个面的溅射部件。本实用新型专利技术因无机配向膜制备装置使用溅射装置而具有较高的溅镀率，可提高原始资源使用的效率，与电子束无机配向膜制备装置相比，可缩短原始资源和被溅镀物的间距，不用改变被溅镀物位置也能使被溅镀物水平移动，可形成厚度均匀的无机配向膜，从而容易形成大面积的无机配向膜。

【技术实现步骤摘要】
一种无机配向膜制备装置
本技术涉及一种无机配向膜制备装置，是一种包括按事先设定的角度将溅射粒子喷射至被溅镀物一个面的溅射部件的无机配向膜制备装置。
技术介绍
一般来说液晶显示装置的显示像素比其他平面显示装置更为突出，在实现动态画像时反应速度快，因此不仅是高画质的电视机，而且在手提电脑、显示屏、手机显示屏、电光板、汽车仪表盘等各种领域被运用并使用。为实现高画质的液晶显示装置，均匀而规则地初步排列液晶是十分重要的，液晶的初步排列由基板上形成的配向膜决定。作为配向方法而被广泛商业化的典型方法是摩擦法。摩擦法是将由高分子薄膜形成的配向膜用丝绒等摩擦布朝一定的方向揉擦而形成配向模式的方法。这种摩擦法因配向处理容易，故比较适合于批量生产，具有配向稳定的优点。但是，配向膜的配向是通过与摩擦布的摩擦形成的，故存在配向膜被灰尘污染的顾虑，还存在因发生静电而引起显示器件内晶体管损伤或大面积使用时难以均匀配向等问题。为了克服摩擦法的这一短处，提出了使用电子束蒸发机形成无机配向膜的方法。但基于蒸发机的特性，距原始资源较远的区域溅镀会比较薄，而距原始资源较近的区域溅镀会比较厚，所以为了使溅镀膜均匀地溅镀，在溅本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种无机配向膜制备装置，其特征在于，包括：内部形成真空条件的真空腔；将被溅镀物所附着的托盘引入所述真空腔内部或者向往所述真空腔外部引出的移送部；以及位于所述真空腔内部的，将溅射粒子按照事先设定的角度喷射至被溅镀物一个面的溅射部件。

【技术特征摘要】
1.一种无机配向膜制备装置，其特征在于，包括：内部形成真空条件的真空腔；将被溅镀物所附着的托盘引入所述真空腔内部或者向往所述真空腔外部引出的移送部；以及位于所述真空腔内部的，将溅射粒子按照事先设定的角度喷射至被溅镀物一个面的溅射部件。2.根据权利要求1所述的一种无机配向膜制备装置，其特征在于，还包括：调整所述溅射部件倾斜角度的角度调整部，用来调整所述溅射粒子的喷射角度。3.根据权利要求2所述的一种无机配向膜制备装置，其特征在于，所述角度调整部包括：设置于所述溅射部件下侧的底座部；下端部与所述底座部相连接的，可旋转，前表面可支撑所述溅射部件后面的支承部；设置在所述底座部上可前进或后退，前表面可支撑所述支承部滑动的移动部；以及使所述移动部前进和后退的制动部，且所述溅射部件随着所述移动部的前进和后退，可凭借自重设定倾斜角度。4.根据权利要求3所述的一种无机配向膜制备装置，其特征在于，所述移动部的前表面向下倾斜形成，所述支承部的上...

【专利技术属性】
技术研发人员：白雨成，全义九，李相文，张昌泳，丁钟国，边娜恩，
申请(专利权)人：株式会社SELCOS，胜显上海商贸有限公司，
类型：新型
国别省市：韩国,KR