一种溅镀夹具以及具有溅镀夹具的溅镀装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种溅镀夹具以及具有溅镀夹具的溅镀装置，包括角度夹具、盖子以及固定部件，其中：所述角度夹具具有特定的倾向性，折弯成任意角度并形成相对的2个面，所述的2个面上分别具有用于放置被溅镀物的夹具槽；所述盖子盖住所述夹具槽，用于开关所述夹具槽，不让所述被溅镀物的上端暴露在溅镀环境中；所述固定部件设置于所述角度夹具上端，使所述盖子吸附并固定在角度夹具上。本实用新型专利技术不仅能在被溅镀物的表面上一次形成均匀薄膜，还能利用为具有特定倾向性而折弯成任意角度的2个相对的面的夹具，形成具有特定倾向的薄膜。本实用新型专利技术能够使被溅镀物的电极部分免被溅镀物涂布，无需在被溅镀物上另设罩子。

【技术实现步骤摘要】
一种溅镀夹具以及具有溅镀夹具的溅镀装置
本技术涉及溅镀领域，具体地，涉及一种溅镀夹具以及具有溅镀夹具的溅镀装置。更详细地，涉及一种用以制造硅基液晶面板的溅镀装置及用以控制预倾角的溅镀夹具。
技术介绍
真空溅镀是利用持续高温的蒸发源和持续低温的被溅镀物表面之间的饱和蒸汽压之差，使金属或化合物在高真空下蒸发，该蒸汽在被溅镀物表面释放后形成薄膜的一种表面处理法，因具有任何物质都可进行溅镀的优势，故广为运用于众多领域。一般真空溅镀所具有的结构是，为了同时对多个被溅镀物进行溅镀，在真空溅镀机的真空腔内设有溅镀源，在其上部安装用来固定被溅镀物的夹具，用电阻或激光束照射使所述蒸发源发热，蒸汽散发后沉积于被溅镀物上。因此，为了在多个被溅镀物的表面均匀地形成薄膜以及为了形成满足特定目的的薄膜，各式各样的夹具正在开发并供应，并且为了制造更有效的夹具，正在进行更多的研究和开发。
技术实现思路
针对现有技术中的缺陷，本技术的目的是提供一种溅镀夹具以及具有溅镀夹具的溅镀装置。根据本技术提供的一种溅镀夹具，包括角度夹具、盖子以及固定部件，其中：所述角度夹具具有特定的倾向性，折弯成任意角度并形成相对的2个面，所述的2个面本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种溅镀夹具，其特征在于，包括角度夹具、盖子以及固定部件，其中：所述角度夹具具有特定的倾向性，折弯成任意角度并形成相对的2个面，所述的2个面上分别具有用于放置被溅镀物的夹具槽；所述盖子盖住所述夹具槽，用于开关所述夹具槽，不让所述被溅镀物的上端暴露在溅镀环境中；所述固定部件设置于所述角度夹具上端，使所述盖子吸附并固定在角度夹具上。

【技术特征摘要】
1.一种溅镀夹具，其特征在于，包括角度夹具、盖子以及固定部件，其中：所述角度夹具具有特定的倾向性，折弯成任意角度并形成相对的2个面，所述的2个面上分别具有用于放置被溅镀物的夹具槽；所述盖子盖住所述夹具槽，用于开关所述夹具槽，不让所述被溅镀物的上端暴露在溅镀环境中；所述固定部件设置于所述角度夹具上端，使所述盖子吸附并固定在角度夹具上。2.根据权利要求1所述的溅镀夹具，其特征在于，所述角度夹具包括从所述上端往内侧凹陷一定的深度，以插入并放置被溅镀物而形成的被溅镀物放置部，以及所述被溅镀物放置部延长线上的一定的位置上从所述上端向内凹陷后形成的把手端。3.根据权利要求2所述的溅镀夹具，其特征在于，所述角度夹具的被溅镀物放置部形成时，未形成把手端的两侧端部上为保护被溅镀物避免溅镀物而形成的保护区域有互不相同的宽度。4.一种溅镀装置，其特征在于，包括：真空溅镀机；设置于真空溅镀机的真空腔内，能够同时对多个被溅镀物进行溅镀蒸发源；蒸发源上部设置用来固定被溅镀物的如权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：白雨成，全义九，李相文，张昌泳，丁钟国，边娜恩，
申请(专利权)人：株式会社SELCOS，胜显上海商贸有限公司，
类型：新型
国别省市：韩国,KR