垂直型溅射系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种垂直型溅射系统，包括与地面垂直设置在第一溅射枪的第一垂直靶材组件；及设置在面对第一溅射枪的第二溅射枪，并设置为与第一垂直靶材组件相隔彼此面对的第二垂直靶材组件，第一及第二垂直靶材组件分别包括释放薄膜形成物质的靶材；将靶材固定在溅射枪的靶材夹具；覆盖靶材夹具，并与靶材连接相同电极的屏蔽部件。本实用新型专利技术优点如下：靶材夹具与屏蔽部件之间不会发生短路，可以对被溅镀物有效地进行溅射。本实用新型专利技术使被溅镀物可通过相互面对垂直设置的一对垂直靶材组件，具有可以减小安装面积的优点。而且，相互面对的2个垂直靶材组件分别向相互面对的2个被溅镀物进行溅镀，具有提高溅射生产率的优点。

【技术实现步骤摘要】
垂直型溅射系统
本技术涉及一种用于在工件的表面上形成薄膜的溅射装置，更具体来说，涉及设置2个溅射装置使其垂直彼此面对的垂直型溅射系统。
技术介绍
通常，溅射装置形成薄膜时具有高沉积速率和均匀性，可以快速形成薄膜，并获得高质量的薄膜，当需要在电子产品的外壳表面等产品的表面上形成薄膜时，被广泛使用。根据现有技术的溅射设备以需要形成薄膜的物质作为靶材使用。在图1中示出了将这种靶材固定到溅射枪的结构的示例。参考图1，现有技术溅射设备的靶材组件100包括通过溅射枪供电的靶材101、用于把靶材101固定到溅射枪的靶材夹具103、以及防止溅镀材料粘附到靶材夹具103的屏蔽部件105。靶材101为了能够向被溅镀物释放溅镀物质与阴极电极或阴极连接，屏蔽部件105与阳极电极或阳极连接。此时，靶材夹具103将靶材101固定在溅射枪的上表面，也成为与靶材101相同的阴极电极或阴极。因此，为了防止靶材夹具103和屏蔽部件105发生短路，屏蔽部件105与靶材夹具103被设置为相隔一定距离。然而，在传统的溅射装置中，靶材101被设置为处于水平状态，因此被溅镀物也被水平固定以面对靶材。但是，当这样把靶材设置为水平状态时，若被溅镀物的尺寸较大时，安装溅射装置需要较大的空间，存在为了溅镀移动被溅镀物时不方便的问题。因此，需要开发一种溅射装置，即使被溅镀物的尺寸较大，仍可以减少安装溅射装置的空间，可以提高溅镀生产率的溅射装置。
技术实现思路
本技术鉴于上述问题而提出，本技术的目的是提供可以对尺寸较大的被溅镀物进行溅镀，还可以减少安装空间并提高生产率的垂直型溅射装置。并且，本技术的另一个目的是，提供一种垂直型溅射装置，即当溅射作业时，可防止靶材与屏蔽部件之间发生短路的垂直型溅射装置。如上所述，本技术的目的可通过垂直型溅射系统来实现，它包括与地面垂直设置在第一溅射枪的第一垂直靶材组件；及设置在面对所述第一溅射枪的第二溅射枪，并设置为与所述第一垂直靶材组件相隔彼此面对的第二垂直靶材组件，所述第一及第二垂直靶材组件分别包括释放薄膜形成物质的靶材；将所述靶材固定在溅射枪的靶材夹具；覆盖所述靶材夹具，并与所述靶材连接相同电极的屏蔽部件。优选地，所述靶材和屏蔽部件可以是阴极电极。优选地，所述屏蔽部件可以被固定到所述靶材夹具的上表面。优选地，所述靶材是矩形平板的形状，所述靶材夹具内部形成可暴露所述靶材上表面的矩形形状的开口，并形成矩形框架形状用于把所述靶材的四周固定在所述溅射枪的上表面。优选地，垂直型溅射系统其内部包括把所述第一垂直靶材组件与所述第二垂直靶材组件设置为彼此面对的真空腔；及设置在所述第一垂直靶材组件与所述第二垂直靶材组件之间，支撑第一被溅镀物和第二被溅镀物，使第一被溅镀物面对所述第一垂直靶材组件的靶材，使第二被溅镀物面对所述第二垂直靶材组件的靶材的被溅镀物传送装置。与现有技术相比，本技术具有如下的有益效果：1、根据本技术的一个实施例，具有所述结构的垂直型溅射装置，靶材夹具与屏蔽部件之间不会发生短路，可以对被溅镀物有效地进行溅射。2、同时，根据本技术的一个实施例，所述垂直型溅射装置，使被溅镀物可通过相互面对垂直设置的一对垂直靶材组件，具有可以减小安装面积的优点。3、而且，相互面对的2个垂直靶材组件分别向相互面对的2个被溅镀物进行溅镀，具有可以提高溅射生产率的优点。附图说明图1是根据现有技术的溅射设备的靶材组件截面示意图。图2是根据本技术一个实施例，设置垂直型溅射设备的真空腔的截面示意图。图3是根据本技术一个实施例，垂直型溅射装置的溅射枪的透视示意图。图4是将图3中的溅射枪沿线4-4切割后的截面示意图。图5是将屏蔽部件从图3的溅射枪拆卸后的正面示意图。图中示出：1：垂直型溅射系统3：真空腔7：被溅镀物传送装置9-1，9-2：被溅镀物10，20：垂直型溅射装置11，11’：溅射枪40，40’：垂直靶材组件41，101：靶材43，103：靶材夹具44：夹具部件45：锁定部件47，105：屏蔽部件具体实施方式下面将参照示意图，详细说明本技术的垂直型溅射装置的实施例。下面说明的实施例，是为了帮助理解本技术的示例性说明，本技术应被理解为，可以用与所述实施例不同的方式，进行各种变化来实施。但，以下在说明本技术时，技术者认为相关的已知功能或构成要素的具体说明会使本技术的主旨模糊，这些详细说明及具体图示将被省略。同时，在附后的示意图上，为了帮助理解本技术，未按照各构成要素的真实比例缩小，部分构成要素的尺寸可能被夸大显示。图2是根据本技术的一个实施例，设置垂直型溅射设备的真空腔的截面示意图。图3是根据本技术的一个实施例，垂直型溅射装置的溅射枪的透视示意图，图4是将图3中的溅射枪沿线4-4切割后的截面示意图。图5是将屏蔽部件从图3的溅射枪拆卸后的正面示意图。参照图2，根据本技术的一个实施例，垂直型溅射装置10和垂直型溅射装置20被设置在真空腔3。根据本技术的一个实施例，为了提高垂直型溅射系统1的生产率，被安装在2个垂直型溅射装置10和20的溅射枪11上的靶材41相互间隔一定距离，并与地面5垂直。因此，本技术的垂直型溅射系统1采用2个垂直型溅射装置10和20形成一对的形式。图2仅图示出一对垂直型溅射装置10和20被设置在真空腔的情况，但根据需要，垂直于图2的纸面方向可设置排成一列的多对垂直型溅射装置。下面将对垂直型溅射装置10和20的详细结构进行说明。一对垂直型溅射装置10和20之间，可设置移动溅射对象(以下简称被溅镀物)9-1和9-2即需在表面进行溅射处理而形成薄膜的对象的被溅镀物传送装置7。此时，被溅镀物传送装置7被设置为可移动被溅镀物9-1和9-2，并将其与被安装在垂直型溅射装置10和20的溅射枪11上的靶材41彼此面对。在图2的实施例中，图示出被溅镀物传送装置7使用传送吊架的情况。但传送吊架只是一个示例，被溅镀物传送装置7可使用任何装置，只要可以使被溅镀物9-1和9-2面对垂直型溅射装置10和20的靶材41并将其传送的结构即可。如本技术，因通过被设置为一对垂直型溅射装置10和20彼此面对的垂直型溅射系统1来进行溅镀，适合的被溅镀物9-1和9-2可以是长度和宽度较大但厚度较薄的产品。例如，液晶电视、LED电视等平板电视的前面的边框，此类产品可利用垂直型溅射装置10和20组成的垂直型溅射系统1来进行溅射。真空腔3内部设置有用于使腔内部真空的泵(未图示)。另外，为了在真空腔3内形成溅射环境，它与供应氩气(Ar)、氮气(N)等气体的气体供给装置(未图示)连接。安装在真空腔3上的真空泵和气体供给装置可与现有技术中的溅射装置相同或类似，因此省略详细说明。设置一对垂直型溅射装置10和20，使2个垂直靶材组件40和40’彼此面对。具体来说，一对垂直型溅射装置10和20包括第一垂直靶材组件40和第二垂直靶材组件40’。第二垂直靶材组件40’被设置为与第一垂直靶材组件40相隔一定距离，并与第一垂直靶材组件40彼此面对。第一垂直靶材组件40被安装在第一垂直型溅射装置10的第一溅射枪11上，第二垂直靶材组件40被安装在与第一溅射枪11相隔一定距离的、第二垂直型溅射装置20的第二本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种垂直型溅射系统，其特征在于，包括：与地面垂直设置在第一溅射枪的第一垂直靶材组件；及设置在面对所述第一溅射枪的第二溅射枪，并设置为与所述第一垂直靶材组件相隔彼此面对的第二垂直靶材组件，所述第一垂直靶材组件及第二垂直靶材组件分别包括释放薄膜形成物质的靶材；将所述靶材固定在溅射枪的靶材夹具；覆盖所述靶材夹具，并与所述靶材连接相同电极的屏蔽部件。

【技术特征摘要】
1.一种垂直型溅射系统，其特征在于，包括：与地面垂直设置在第一溅射枪的第一垂直靶材组件；及设置在面对所述第一溅射枪的第二溅射枪，并设置为与所述第一垂直靶材组件相隔彼此面对的第二垂直靶材组件，所述第一垂直靶材组件及第二垂直靶材组件分别包括释放薄膜形成物质的靶材；将所述靶材固定在溅射枪的靶材夹具；覆盖所述靶材夹具，并与所述靶材连接相同电极的屏蔽部件。2.根据权利要求1所述的垂直型溅射系统，其特征在于：所述靶材和屏蔽部件是阴极电极。3.根据权利要求1所述的垂直型溅射系统，其特征在于：所述屏蔽部件被固定到所述靶材夹具的上表面。...

【专利技术属性】
技术研发人员：白雨成，全义九，李相文，张昌泳，丁钟国，边娜恩，
申请(专利权)人：株式会社SELCOS，胜显上海商贸有限公司，
类型：新型
国别省市：韩国,KR