一种溅镀装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种溅镀装置，包括：引入了载体的第一负载锁定室组件；可与所述第一负载锁定室组件选择性连通的工艺室组件；以及可与所述工艺室组件选择性连通的，所述载体被引出的第二负载锁定室组件，所述第一负载锁定室组件或所述第二负载锁定室组件与所述工艺室组件相邻并连接，由真空度逐渐变高的至少3个以上的真空室组成。本实用新型专利技术使用压力逐渐降低的多个真空室将载体引入高真空室，缩短建立真空的时间，从而缩短生产一个产品所需的节拍时间。通过连接管连接多个真空室，进入事先设定的压力状态，增加气泵排放空气的有效时间。气泵使相互连通的真空室保持事先设定的真空度状态，减少气泵的电力消耗，还防止气泵损坏。

【技术实现步骤摘要】
一种溅镀装置
本技术涉及一种溅镀装置，具体来说涉及一种能提高生产效率的溅镀装置。
技术介绍
负载锁定室是在显示屏的生产过程中，将经过产品的载体引入和引出高真空室以进行大面积等离子处理工艺的预处理装置。具体来说，在大面积等离子处理工艺中使用了约为1.0E-08Torr以下的高真空室。此时，为了将载体从外部引入高真空室，必须历经脱离真空状态进入大气压状态后再排出空气进入高真空状态的过程，而这一过程需要较长的时间。为解决上述难题，近来在载体被引入高真空室前，依次通过高真空室的真空压和大气压之间的真空压之间的压力状态的负载锁定室后被引入高真空室。同时，载体从高真空室被引出的过程和被引入的过程相似。此时，负载锁定室的真空压约维持在大气压和5.0E-02Torr之间，借助处于这一真空压状态的负载锁定室，高真空室可丝毫无损地引入载体。只是，以往在高真空室之前只用了一个负载锁定室，就这一个负载锁定室要经历在大气压状态下引入载体的阶段，用真空气泵将真空压建立在所需的约为5.0E-02Torr的阶段，和高真空室连通后传送载体的阶段，以及再次注入空气转换为大气压状态的阶段。这样将载体引入高真空室需要消耗的时间使得生产一个产品所需的节拍时间加长，因此缩短节拍时间、提高产品生产能效的必要性成为了一种需求。
技术实现思路
为解决上述问题，本技术的目的在于提供一种在生产一个产品时可缩短所需的总的节拍时间的溅镀装置。本技术的另一目的是提供一种可事先控制多个真空室的压力状态、减少所需的气泵个数、延长使用寿命、降低产品生产成本的溅镀装置。为达到上述目的，本技术提供一种溅镀装置，由引入载体的第一负载锁定室组件；载体被引入的第一负载锁定室组件；和所述第一负载锁定室组件可选择性连通的工艺室组件；以及可与所述工艺室组件选择性连通的，所述载体被引出的第二负载锁定室组件。所述第一负载锁定室组件或所述第二负载锁定室组件分别与所述工艺室组件相邻并连接，由真空度依次变高的3个以上的腔室组成。优选地，所述第一负载锁定室组件或所述第二负载锁定室组件可具备：可与外部选择性连通且具有介于大气压和第一真空压之间真空度的第一真空室；可与所述第一真空室选择性连接，具备第一气泵且具有介于所述第一真空压和低于所述第一真空压的第二真空压之间真空度的第二真空室；以及可与所述第二真空室选择性连接，具备第二气泵且具有介于所述第二真空压和低于所述第二真空压的第三真空压之间真空度的第三真空室。优选地，所述第一真空室和所述第二真空室可通过2条不同的途径相连。优选地，所述不同的2条途径有着不同的连通面积。优选地，在处于所述第一真空压状态的所述第一真空室和处于所述第二真空室状态的第二真空室连通时，所述第一真空压可防止由所述第一真空室和所述第二真空室之间的压力差引起的所述第二真空室的损坏，在处于所述第二真空压状态的所述第二真空室与处于所述第三真空压状态的所述第三真空室连通时，所述第二真空压可防止由所述第二真空室和所述第三真空室之间的压力差引起的第三真空室的损坏。优选地，所述第三真空压可以是能进行溅镀工艺的压力。根据本技术提供的一种可达到上述目的溅镀装置，包括：引入载体的第一负载锁定室组件；可与所述第一负载锁定室组件选择性连通的工艺室组件；以及可与所述工艺室组件选择性连通的，引出所述载体的第二负载锁定室组件。所述第一负载锁定室组件具备可以与外部选择性连通且具有大气压和第一真空压之间真空度的第一真空室，可以与所述第一真空室选择性连接，具备第一气泵且具有介于所述第一真空压和低于所述第一真空压的第二真空压之间真空度的第二真空室，以及可与所述第二真空室选择性连接，具备第二气泵且具有介于所述第二真空压和低于所述第二真空压的第三真空压之间真空度的第三真空室，所述第二负载锁定室组件具备可以与所述工艺室组件选择性连通，具备第三气泵且具有介于所述第二真空压和所述第三真空压之间真空度的第四真空室，可与所述第四真空室选择性连接，具备第四气泵且具有介于所述第一真空压和所述第二真空压之间的真空度的第五真空室，以及可与所述第五真空室选择性连接，具有介于所述大气压和所述第一真空压之间真空度的第六真空室。优选地，本技术提供一种可达到上述目的的在溅镀装置中引入和引出产品的方法，包括将载体引入第一真空室的引入阶段；使所述第一真空室处于第一真空压状态的第一真空形成阶段；将所述载体移送至第二真空室的第一移送阶段；通过气泵使第二真空室处于第二真空压状态的第二真空形成阶段；将所述载体移送至第三真空室的第二移送阶段；通过气泵使第三真空室处于第三真空压状态的第三真空形成阶段；以及将所述载体移送至工艺室组件后进入溅镀工艺的溅镀阶段，在所述第一真空形成阶段，所述第一真空室和所述第二真空室通过连接管连通，使所述第一真空室处于所述第一真空压状态。这里还包括使所述第四真空室处于第三真空压状态的第四真空形成阶段；将完成溅镀工艺的所述载体从所述工艺室组件中移送至第四真空室的第三移送阶段；使第五真空室处于第二真空压状态的第五真空形成阶段；将所述载体移送至第五真空室的阶段；使第六真空室处于第一真空压状态的第六真空形成阶段；以及将所述载体移送至第六真空室组件的阶段。同时，在所述第五真空形成阶段，所述第五真空室通过气泵使所述第五真空室处于所述第二真空压状态，在所述第六真空形成阶段，通过所述第五真空室和所述第六真空室的连通，使所述第六真空室处于所述第一真空压状态。如上所述，本技术使用压力逐渐降低的多个真空室将载体引入高真空室，可缩短建立真空的时间，从而缩短生产一个产品所需的节拍时间。另外，本技术通过连接管连接多个真空室，进入事先设定的压力状态，与传统的负载锁定室方式相比，增加了气泵排放空气的有效时间，不用增加气泵也能降低生产成本。另外，本技术中气泵使相互连通的真空室保持事先设定的真空度状态，真空室从初期的大气压状态开始启动，与传统由于消耗过多电力而可能发生损伤相比，可减少气泵的电力消耗，还可防止气泵损坏。附图说明图1是本技术的一个实施例涉及的溅镀装置的概略示意图。图2至图10是依次显示本技术的一个实施例涉及的溅镀装置中，载体通过第一负载锁定室组件引入工艺室组件的过程的概略图。图11至图15依次显示本技术的一个实施例涉及的溅镀装置中，载体通过第二负载锁定室组件往外引出过程的概略图。图中示出：100：第一负载锁定室组件110:第一真空室120：第二真空室130：第三真空室300：第二负载锁定室组件310:第四真空室320：第五真空室330：第六真空室具体实施方式以下将参照附图，对本技术涉及的溅镀装置1的一个实施例进行说明。只是在以下对本技术的说明中，考虑到对有关的公开功能或构成要素进行具体说明可能会无谓地使本技术的要旨变得模糊，因此将省略详细的说明和具体的图示。另外，为了帮助理解本技术，附图并未按照实际比例进行图示，部分构成要素的图示尺寸可能会有所夸大。同时，以下所举例子中记录的数值是第二真空室120中使用7升的气泵形成不会导致第三真空室130损坏的压力情况下的数值，这些数值可随气泵的容量和大小以及第一负载锁定室组件100的环境等而变化。参照图1，本技术涉及的溅镀装置1包括第一负载锁定室本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种溅镀装置，其特征在于，包括：引入了载体的第一负载锁定室组件；可与所述第一负载锁定室组件选择性连通的工艺室组件；以及可与所述工艺室组件选择性连通的，所述载体被引出的第二负载锁定室组件；所述第一负载锁定室组件或所述第二负载锁定室组件与所述工艺室组件相邻并连接，由真空度逐渐变高的至少3个真空室组成。

【技术特征摘要】
1.一种溅镀装置，其特征在于，包括：引入了载体的第一负载锁定室组件；可与所述第一负载锁定室组件选择性连通的工艺室组件；以及可与所述工艺室组件选择性连通的，所述载体被引出的第二负载锁定室组件；所述第一负载锁定室组件或所述第二负载锁定室组件与所述工艺室组件相邻并连接，由真空度逐渐变高的至少3个真空室组成。2.根据权利要求1所述的一种溅镀装置，其特征在于：所述第一负载锁定室组件或所述第二负载锁定室组件包括：可与外部选择性连接，具有介于大气压和第一真空压之间真空度的第一真空室；可与所述第一真空室选择性连接，具备第一气泵且具有介于所述第一真空压和低于所述第一真空压的第二真空压之间的真空度的第二真空室；以及可与所述第二真空室选择性连接，具备第二气泵且具有介于所述第二真空压和低于所述第二真空压的第三真空压之间的真空度的第三真空室。3.根据权利要求2所述的一种溅镀装置，其特征在于：所述第一真空室和所述第二真空室通过两种不同的途径连通。4.根据权利要求3所述的一种溅镀装置，其特征在于：所述不同的两条途径有着不同的连通面积。5.根据权利要求2所述的一种溅镀装置，其特征在于：处于所述第一真空压状态的所述第一真空室和处于所述第二真空压状态的所述第二真空室相互连通时，所述第一真空压可防止由所述第一真空室和所述第二真空室之间的压力差引起所述第二真空室的损坏；处于所述第二真空压状态的所述第二真空室和处于所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：白雨成，全义九，李相文，张昌泳，丁钟国，边娜恩，
申请(专利权)人：株式会社SELCOS，胜显上海商贸有限公司，
类型：新型
国别省市：韩国,KR